ISO10110簡介ppt課件

ISO10110簡介 ISO10110系列標準包含內(nèi)容 ISO10110 1 概述ISO10110 2 光學材料缺陷 應力雙折射ISO10110 3 光學材料缺陷 氣泡與雜質(zhì)ISO10110 4 光學材料缺陷 非均勻性與條紋ISO10110 5 面形偏差ISO10110 6 中心偏差ISO10110 7 表面缺陷偏差ISO10110 8 表面微觀輪廓ISO10110 9 表面處理和鍍膜ISO10110 10 元件技術要求的格式ISO10110 11 非公差數(shù)據(jù)ISO10110 12 非球面ISO10110 13 激光輻射破壞閾值 表面缺陷的標注方法 一般表面缺陷用5 N A表示 編號 5 是表面缺陷的代碼 允許缺陷程度用N A N為允許最大缺陷的數(shù)量 A為最大允許缺陷面積的平方根 鍍膜污點 可以從一般表面缺陷中分出 用CN A 表示 C是鍍膜污點的代碼 長劃痕 與鍍膜污點相似 可以從一般表面缺陷中分出 用LN A 表示 L是長劃痕的代碼 N 是允許長劃痕的數(shù)量 A 說明了劃痕的最大允許寬度 崩邊用EA 表示 E是邊緣崩邊的代號 A 表示元件表面的邊緣延伸的最大崩邊量注意 鍍膜污點和長劃痕如果圖紙未專門給出 則所有缺陷都必須計算到一般缺陷中 ISO10110 7表面缺陷偏差 ISO10110 7表面缺陷偏差 對于劃痕 A為對于點子 A為R如 要求5 3 0 063缺陷全部為點子時允許最大尺寸點子為R 0 063 0 063 1 77 0 036則點子直徑為0 072我們實際作業(yè)中可以讓 2則點子直徑直接為0 063如果缺陷是劃痕假如我們觀察到的劃痕寬度為0 04 則允許的長度為L 0 063 0 063 0 04 0 0992mm如果我們觀察到劃痕長度為0 5mm 則允許劃痕寬度為 0 063 0 063 0 5 0 0079mm ISO10110 7表面缺陷偏差 ISO10110 7表面缺陷偏差 換算 換算系指較大級數(shù)的表面缺陷允許用若干個較小級數(shù)的表面缺陷來代替 其面積之和不超過原級數(shù)的表面缺陷面積 注意換算后結(jié)果應化為整數(shù) 表面缺陷級數(shù)與缺陷個數(shù)換算系數(shù)表 ISO10110 7表面缺陷偏差 ISO10110 7表面缺陷偏差 指標要求5 3 0 063 也就是要求級數(shù)為0 063 缺陷面積的平方根為0 063 的缺陷3個 全部換算 若用換算系數(shù)1 則3 1 3 允許3個表面缺陷 它們的級數(shù)A 0 063 若用換算系數(shù)2 5 則3 2 5 7 5 取整數(shù)為7 允許7個表面缺陷 從表中可查出相應級數(shù)A 0 04 即可換算為級數(shù)A 0 04的7個表面缺陷 部分換算 如將其中一個表面缺陷進行換算 其余兩個缺陷保留原級數(shù) 若用換算系數(shù)6 3 則1 6 3 6 3 取整數(shù)為6 允許6個表面缺陷 從表中可查出相應級數(shù)A 0 025 即可換算為級數(shù)A 0 025的6個表面缺陷和級數(shù)為A 0 063的2個表面缺陷 密集 密集的表面缺陷是不允許的 密集就是發(fā)現(xiàn)任意5 的測試區(qū)域有超過20 的允許的缺陷存在 如果總的表面缺陷數(shù)是小于10 有2個或更多的表面缺陷落在5 的分區(qū)內(nèi) 則稱為密集缺陷 ISO10110 7表面缺陷偏差 產(chǎn)品單面為直徑為20mm的園則在任意直徑為1mm的園不允許 不計算 當決定允許表面缺陷的數(shù)量時 不應計算等級為0 16A或更小的缺陷 有長劃痕要求時 劃痕寬度小于0 3A 的不應計算 ISO10110 7表面缺陷偏差 如指標要求5 3 0 063則不應計算等級為0 16 0 063 0 010或比0 010級數(shù)更小的缺陷 面形偏差 面形精度 光學表面幾何形狀的準確程度面形偏差 是光學零件的被檢測光學表面與參考表面的偏差 參考表面可以是樣板 也可以是干涉參考表面 或者其他有足夠精度的測量裝置 光學零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量 形狀 顏色及其變化來確定 光學零件的拋光質(zhì)量包括 光學表面疵病和表面幾何形狀 面形偏差 光學樣板檢驗原理 當光學零件的被檢表面和樣板的工作表面 參考表面 相接觸時 由于兩者的面形不一致 產(chǎn)生一定的空氣隙 當波長為 的光射到空氣隙上 便形成等厚干涉條紋 從等厚干涉知道 相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為 2 即通常所說的一個干涉條紋 光圈 相當于空氣隙厚度變化為 2 因此光圈數(shù)為N部位所對應的空氣隙厚度變化為N 2 面形偏差 因為曲率半徑偏差的方向不同 樣板與被檢表面的接觸部位也不同 由此而產(chǎn)生的光圈分為兩大類 低光圈 表示樣板與被檢表面在邊緣部位接觸 對于凸球面 則表示曲率半徑大于樣板 對于凹球面 則表示曲率半徑小于樣板 對于平面 則表示平面變?yōu)榘记蛎?高光圈 表示樣板與被檢表面在中間部位接觸 對于凸球面 則表示曲率半徑小于樣板 對于凹球面 則表示曲率半徑大于樣板 對于平面 則表示平面變?yōu)橥骨蛎?面形偏差 高低光圈的判斷11 周邊加壓法 低光圈 當空氣隙減小時 即壓緊被測產(chǎn)品和樣板 條紋從邊緣向中心移動 邊緣先有光圈高光圈 當空氣隙減小時 即壓緊被測產(chǎn)品和樣板 條紋從中心向邊緣移動 中心先有光圈 面形偏差 高低光圈的判斷22 色序法當光圈數(shù)N 1時 白光照明 低光圈 從中心到邊緣光圈的顔色序列為 藍 紅 黃 高光圈 從中心到邊緣光圈的顔色序列為 黃 紅 藍 注意觀察紅條紋前面是藍還是黃 高光圈 低光圈 面形偏差 高低光圈的判斷32 一側(cè)加壓法當光圈數(shù)N 1 低光圈 條紋彎曲的凹向背著加壓點A 高光圈 條紋彎曲的凹向朝著加壓點A 面形偏差 光圈數(shù)N與光源波長 的關系國家標準規(guī)定光圈數(shù)N0的參考波長 0 546 1nm 生產(chǎn)中若采用其他波長 的單色光檢驗 得到非標準光圈數(shù)N 則標準光圈數(shù)N0和非標準光圈N 的關系如下 此式即為光圈數(shù)N與光源波長 的關系 面形偏差 局部偏差的判斷1 當一側(cè)加壓時 中心低 條紋中心部位的彎曲凹向背著加壓點A 中心高 條紋中心部位的彎曲凹向朝著加壓點A 面形偏差 局部偏差的判斷2 當一側(cè)加壓時 塌邊 條紋邊緣部位塌向加壓點A 翹邊 條紋邊緣部位翹離加壓點A 國家標準面形偏差包括三項 標注為 N 1N 2NN為光圈數(shù) 1N為象散偏差 2N為局部偏差 面形偏差 ISO10110 5面形偏差標注為如下所示的三種形式之一 3 A B C 或3 A B C RMSx D 此處x代表字母t i或a 或3 RMSx D 此處x代表字母t i或a 式中編號 3 是面形偏差的代碼 A為弧矢差 B為不規(guī)則度 C為旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則度RMSt均方根總偏差 RMSi均方根不規(guī)則度RMSa均方根不對稱性當檢測區(qū)域比全部有效通光面小時 檢測區(qū)域的直徑需要添加到公差標注中 如下所示 3 A B1C RMSx D 全部 短劃線 表示沒有明確給出該項偏差的要求如3 1 0 5 面形偏差 A為弧矢差 是被測光學表面的曲率半徑與參考表面曲率半徑之差 此指標對應Zygo設備測試中的SAG B為不規(guī)則度 是標稱球面 檢測面 偏離球面的量度 此指標對應Zygo設備測試中的IRR C為旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則度 表面是旋轉(zhuǎn)對稱的 但卻不是想要的形狀 即存在旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則度 此指標對應Zygo設備測試中的RSI RMSt均方根總偏差 為被測光學表面與標稱理論球面之間的均方根偏差 RMSi均方根不規(guī)則度 被測光學表面與擬合球面之間的均方根偏差 RMSa均方根不對稱性 為被測光學表面與擬合非球面之間的均方根偏差 光圈數(shù)N 被檢光學表面的曲率半徑對于參考光學表面曲率半徑的偏差稱半徑偏差 此偏差所對應的光圈數(shù)用N表示 象散偏差 1N 被檢光學表面與參考光學表面在二個相互垂直方向上產(chǎn)生的光圈數(shù)不等所對應的偏差 此偏差所對應的光圈數(shù)用 1N表示 局部偏差 2N 被檢光學表面與參考光學表面在任一方向上產(chǎn)生的干涉條紋的局部不規(guī)則度稱局部偏差 此偏差所對應的光圈數(shù)用 2N表示 面形偏差 光圈數(shù)N的計算當光圈數(shù)N 1時以有效檢驗范圍內(nèi)直徑方向最多條紋數(shù)的一半來度量 面形偏差 光圈數(shù)N的計算當光圈數(shù)N 1時單色光照明時 以通過直徑方向上干涉條紋的彎曲量h相對條紋的間距H的比值來度量N h H ad ae 面形偏差 象散偏差的度量象散偏差光圈數(shù) 1N是以兩個垂直方向上光圈數(shù)N的最大數(shù)差的絕對值來度量 橢圓形象散光圈數(shù) 被檢表面在X X和Y Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等 偏差方向相同 Nx 2 Ny 3 則 1N Nx Ny 1馬鞍形象散光圈數(shù) 被檢表面在X X和Y Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等 偏差方向相反 Nx 1 Ny 2 則 1N Nx Ny 3 面形偏差 N 1的象散光圈 面形偏差 局部偏差的度量局部偏差光圈數(shù) 2N以局部不規(guī)則干涉條紋對理想平滑干涉條紋的偏離量 e 與相鄰條紋間距 H 的比值來度量 面形偏差 如果中心和邊緣都有局部偏差的取最大值 ISO10110 5面形偏差 ISO10110 5面形偏差 弧矢差A計算需要樣板從兩個方向進行兩次的條紋觀察 如果兩次在兩種情況下 條紋都向條紋曲率中心移動或都遠離條紋曲率中心移動 則弧矢差大于不規(guī)則性 如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動而其他條紋圖遠離條紋曲率中心移動 那么不規(guī)則性大于弧矢差 弧矢差 弧矢差 ISO10110 5面形偏差 不規(guī)則度B計算 橢圓形條紋不規(guī)則度 m m 3 1 2 雙曲線形條紋不規(guī)則度 m m 2 5 1 5 4 ISO10110 5 面形偏差 不規(guī)則度B計算需要樣板從兩個方向進行兩次的條紋觀察 如果兩次在兩種情況下 條紋都向條紋曲率中心移動或都遠離條紋曲率中心移動 則弧矢差大于不規(guī)則性 如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動而其他條紋圖遠離條紋曲率中心移動 那么不規(guī)則性大于弧矢差 不規(guī)則度 m m 不規(guī)則度 m m ISO10110 5面形偏差 旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則度C計算等于通過直徑方向上干涉條紋的偏差量與條紋距之比 ISO10110 8表面微觀輪廓 表面微觀輪廓鏡面質(zhì)量有三種描述方式 1 均方根表面粗糙度Rq2 表面上存在的微小缺陷的密度3 功率譜密度 PSD 特性 ISO10110 8表面微觀輪廓 粗磨表面粗糙度的表達方式如圖所示 圖中G表示未經(jīng)拋光的表面 圖中Rq的單位為um 圖中例子所示指標要求為Rq 2um 取樣長度為5mm 圖中P是微小缺陷要求參見下表的 微小缺陷的拋光等級說明 圖中例子的指標要求為在10mm掃描范圍內(nèi)的微小缺陷數(shù)量 16 在0 002mm到1mm的取樣長度內(nèi)Rq需要 0 002 m 拋光表面 包括鍍膜面 粗糙度的表達方式如圖 ISO10110 8表面微觀輪廓 微小缺陷 鏡面上的較小的且無規(guī)律 一般尺寸小于1 m 的缺陷一般情況下 在經(jīng)過不完全拋光后會由于不當?shù)牟僮骱臀廴疚锒诒砻嫔蠚埩粝录毼⒌陌枷莶糠?