為離子注入劑量教學(xué)課件

為離子注入劑量46、寓形宇內(nèi)復(fù)幾時(shí)，曷不委心任去留。47、采菊東籬下，悠然見(jiàn)南山。48、嘯傲東軒下，聊復(fù)得此生。49、勤學(xué)如春起之苗，不見(jiàn)其增，日有所長(zhǎng)。50、環(huán)堵蕭然，不蔽風(fēng)日；短褐穿結(jié)，簞瓢屢空，晏如也。為離子注入劑量為離子注入劑量46、寓形宇內(nèi)復(fù)幾時(shí)，曷不委心任去留。47、采菊東籬下，悠然見(jiàn)南山。48、嘯傲東軒下，聊復(fù)得此生。49、勤學(xué)如春起之苗，不見(jiàn)其增，日有所長(zhǎng)。50、環(huán)堵蕭然，不蔽風(fēng)日；短褐穿結(jié)，簞瓢屢空，晏如也。INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)1/35集成電路工藝原理仇志軍邯鄲校區(qū)物理樓435室INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)大綱第一章前言第二章晶體生長(zhǎng)第三章實(shí)驗(yàn)室凈化及硅片清洗第四章光刻第五章熱氧化第六章熱擴(kuò)散第七章離子注入第八章薄膜淀積第九章刻蝕第十章后端工藝與集成第十一章未來(lái)趨勢(shì)與挑戰(zhàn)現(xiàn)代心理學(xué)家?jiàn)W蘇伯爾的有意義學(xué)習(xí)理論認(rèn)為：創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境，引發(fā)學(xué)生對(duì)知識(shí)本身發(fā)生興趣，產(chǎn)生認(rèn)知需要，產(chǎn)生一種要學(xué)習(xí)的心理傾向，才能使有意義的學(xué)習(xí)真正發(fā)生。創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境的實(shí)質(zhì)在于揭示事物的矛盾或引起主體內(nèi)心的沖突，動(dòng)搖主體已有的認(rèn)知結(jié)構(gòu)的平衡狀態(tài)，從而喚起思維，激發(fā)其內(nèi)驅(qū)力，使學(xué)生進(jìn)入問(wèn)題探索者的角色，真正參與到學(xué)習(xí)活動(dòng)之中，達(dá)到掌握知識(shí)，訓(xùn)練思維能力的目的。創(chuàng)設(shè)一個(gè)好的問(wèn)題情境能使教學(xué)重難點(diǎn)突破變得很輕松，使課堂節(jié)奏變得簡(jiǎn)潔緊湊，能大大提高課堂教學(xué)效率。一、創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境實(shí)踐中存在的問(wèn)題1、問(wèn)題情境創(chuàng)設(shè)的工具化和形式化。在多數(shù)情況下教師將情境作為引課工具，從課下向課堂的一個(gè)過(guò)渡?；谶@種認(rèn)識(shí)，引課成功以后，情境就完成了使命而退出課堂舞臺(tái)。因此常出現(xiàn)情境中展現(xiàn)的問(wèn)題，在授課結(jié)束時(shí)沒(méi)有呼應(yīng)，落個(gè)“有始無(wú)終的下場(chǎng)”。工具化的又一表現(xiàn)是情境創(chuàng)設(shè)缺乏深度與厚度，著眼點(diǎn)僅在情境的新奇有趣，以外在的“形似”代替了內(nèi)在的“神韻”。過(guò)于關(guān)注情境的現(xiàn)場(chǎng)效果，停留于情感和情趣的共鳴，缺乏引入深思的內(nèi)涵發(fā)掘，缺乏深層次上思維矛盾激發(fā)和高水平的思維參與的引導(dǎo)。2、問(wèn)題情境創(chuàng)設(shè)盲目化。在教學(xué)中并非所有的知識(shí)都要問(wèn)題化，都進(jìn)行情境設(shè)計(jì)，那樣會(huì)完不成教學(xué)任務(wù)，甚至?xí)e奪主，空擺花架子，沒(méi)有實(shí)效性。教師必須基于對(duì)學(xué)生已有知識(shí)經(jīng)驗(yàn)和教材內(nèi)容的全面科學(xué)分析，深入挖掘教材內(nèi)容中所蘊(yùn)含的知識(shí)能力價(jià)值和情感價(jià)值，抓住重點(diǎn)和難點(diǎn)。一般來(lái)說(shuō)，那些能建立起廣泛聯(lián)系、遷移性強(qiáng)、活化率高的知識(shí)點(diǎn)，那些在知識(shí)的發(fā)現(xiàn)和發(fā)展過(guò)程中體現(xiàn)出來(lái)的科學(xué)思想、方法、學(xué)習(xí)策略和分析解決問(wèn)題的思路，以及那些在生產(chǎn)生活實(shí)際中具有廣泛應(yīng)用的知識(shí)，對(duì)學(xué)生的能力發(fā)展和情感的培養(yǎng)具有較高的價(jià)值，在教學(xué)中可針對(duì)這些知識(shí)進(jìn)行有關(guān)的問(wèn)題設(shè)計(jì)。3、問(wèn)題情境素材處理簡(jiǎn)單化。對(duì)多數(shù)教師而言，創(chuàng)設(shè)有效的問(wèn)題情境是一項(xiàng)困難的任務(wù)，首先很難找到融合性、貫穿性的適宜的問(wèn)題情境素材。教師對(duì)情境素材的使用方法簡(jiǎn)單，大都以呈現(xiàn)式為主，也有發(fā)現(xiàn)式，但應(yīng)用式很少。對(duì)于問(wèn)題情境創(chuàng)設(shè)方法仍然缺乏研究，不知道如何選取情境素材并提煉出有教學(xué)價(jià)值的問(wèn)題，如何將復(fù)雜問(wèn)題分解為簡(jiǎn)單問(wèn)題等。二、有效問(wèn)題情境創(chuàng)設(shè)的要求1、問(wèn)題情境要有驅(qū)動(dòng)性。創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境其實(shí)是對(duì)教材進(jìn)行了心理化改造，使教材內(nèi)容符合學(xué)科邏輯的同時(shí)，更符合學(xué)生的心理認(rèn)知規(guī)律。學(xué)習(xí)是學(xué)生主動(dòng)地獲取知識(shí)的積極反應(yīng)，不應(yīng)是被動(dòng)行為，有效的學(xué)習(xí)應(yīng)該是在激發(fā)學(xué)生認(rèn)知需要的情境中進(jìn)行的。因而創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境時(shí)要求其能引起學(xué)生認(rèn)知結(jié)構(gòu)上的“不平衡”，造成學(xué)生心理上的懸念，從而喚起學(xué)生的求知欲望，激發(fā)起學(xué)習(xí)的興趣，把學(xué)生帶入一種與問(wèn)題有關(guān)的情境中去，使他們產(chǎn)生積極思考的欲望。2、問(wèn)題情境中的“問(wèn)題”要高效性。創(chuàng)設(shè)了恰當(dāng)?shù)膯?wèn)題情境并不一定就能激發(fā)學(xué)生的認(rèn)知沖突，關(guān)鍵是否能根據(jù)創(chuàng)設(shè)的情境設(shè)計(jì)出高質(zhì)量的問(wèn)題。衡量問(wèn)題質(zhì)量的因素主要有；問(wèn)題的難易程度、思維強(qiáng)度、思維量的大小、提出的時(shí)機(jī)及問(wèn)題的明確性等。能激發(fā)學(xué)生積極思維的問(wèn)題必須要有一定的思維容量和力度，在教學(xué)中，教師為了讓學(xué)生所謂“更懂”“更容易掌握”，易把一個(gè)具有一定深度的內(nèi)容分解得非常具體，設(shè)計(jì)成一系列十分細(xì)碎的問(wèn)題，使學(xué)生易獲得標(biāo)準(zhǔn)答案。3、問(wèn)題情境要有發(fā)展性。教學(xué)情境的設(shè)計(jì)不僅要針對(duì)學(xué)生發(fā)展的現(xiàn)有水平，更重要的是，還要針對(duì)學(xué)生的“最近發(fā)展區(qū)”：既便于提出當(dāng)前教學(xué)要解決的問(wèn)題，又蘊(yùn)涵著與當(dāng)前問(wèn)題有關(guān)、能引發(fā)進(jìn)一步回味、思考的問(wèn)題，形成新的情境；這樣的問(wèn)題情境營(yíng)造了一種“完而未完，意味無(wú)窮”的教學(xué)心理境界，利于學(xué)生自己去回味、思考、發(fā)散，積極主動(dòng)地繼續(xù)學(xué)習(xí)，達(dá)到新的水平。使課堂教學(xué)具有發(fā)展性，達(dá)到提高課堂教學(xué)效率的目的。三、問(wèn)題情境創(chuàng)設(shè)的途徑與策略1、運(yùn)用化學(xué)實(shí)驗(yàn)創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境。一個(gè)化學(xué)實(shí)驗(yàn)就是一個(gè)完整的化學(xué)問(wèn)題情境，通過(guò)實(shí)驗(yàn)創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境可以模擬或再現(xiàn)知識(shí)的形成過(guò)程，使學(xué)生加深對(duì)知識(shí)的理解。中學(xué)生對(duì)化學(xué)實(shí)驗(yàn)有著濃厚的興趣?；谶@一特點(diǎn)，教師在教學(xué)中應(yīng)盡量運(yùn)用演示實(shí)驗(yàn)、探究實(shí)驗(yàn)、利用化學(xué)實(shí)驗(yàn)中的“意外”、“失敗”等創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境。學(xué)生在由實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生的問(wèn)題情境中，形成對(duì)未知知識(shí)的需要和探索。2、充分利用教材中的課程資源創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境。新教材從高中學(xué)生的心理和認(rèn)知特點(diǎn)出發(fā)，設(shè)計(jì)了多種個(gè)性鮮明的欄目，在教學(xué)實(shí)踐中，教師要充分研究和挖掘教材，選擇性地將這些欄目所提供的大量資料和信息設(shè)計(jì)成問(wèn)題情境。3、聯(lián)系生活實(shí)際創(chuàng)設(shè)問(wèn)題情境。建構(gòu)主義學(xué)習(xí)理論認(rèn)為，只有當(dāng)學(xué)習(xí)內(nèi)容與學(xué)習(xí)者的經(jīng)驗(yàn)、社會(huì)環(huán)境或自然情境相結(jié)合時(shí)，所學(xué)的知識(shí)才容易發(fā)生遷移；只有在真實(shí)情境中獲得知識(shí)和技能，才能真正理解、掌握并應(yīng)用于真實(shí)生活和工作環(huán)境中去解決實(shí)際問(wèn)題?？傊诨瘜W(xué)教學(xué)中通過(guò)創(chuàng)設(shè)合理、恰當(dāng)?shù)膯?wèn)題情境可以提高學(xué)生的化學(xué)學(xué)習(xí)興趣水平，可以有效地培養(yǎng)學(xué)生的問(wèn)題意識(shí)和問(wèn)題解決能力，是構(gòu)建高效課堂的一條有效途徑。一、啟發(fā)式教學(xué)法的內(nèi)涵傳統(tǒng)的教學(xué)方法的弊端和現(xiàn)代新型教育理念的興起使啟發(fā)式教學(xué)方法順應(yīng)了時(shí)代的呼喚而被提出。面對(duì)現(xiàn)代自主學(xué)習(xí)、素質(zhì)教育等新興的教育理念的提出，傳統(tǒng)的以知識(shí)和技能的灌輸為主的注入式的教學(xué)方法顯然已經(jīng)不能滿(mǎn)足現(xiàn)代教育的需要，啟發(fā)式教學(xué)，主要是指通過(guò)結(jié)合生活中常見(jiàn)的容易理解的實(shí)例，激發(fā)和啟發(fā)同學(xué)們的自主思考，使學(xué)生在觀察和認(rèn)識(shí)事物的過(guò)程中自發(fā)的思考問(wèn)題，認(rèn)識(shí)到事物的本質(zhì)的方面并最終悟出問(wèn)題的解決方法，這種由內(nèi)而外的教學(xué)和思維活動(dòng)能夠使同學(xué)們?cè)谡J(rèn)識(shí)問(wèn)題和獲得知識(shí)上取得舉一反三的效果，充分的鍛煉了學(xué)生自主思考，自主學(xué)習(xí)的能力。啟發(fā)式教學(xué)方法的運(yùn)用能夠在充分調(diào)動(dòng)學(xué)生學(xué)習(xí)的積極性的基礎(chǔ)上，激發(fā)學(xué)生自主學(xué)習(xí)的學(xué)習(xí)興趣，這種教育方法從根本上改變了以往注入式的教學(xué)方式，轉(zhuǎn)為從激發(fā)學(xué)生學(xué)習(xí)的原始動(dòng)力入手，不再將知識(shí)的強(qiáng)行灌輸為重點(diǎn)，而注重與培養(yǎng)學(xué)生自主學(xué)習(xí)，獨(dú)立思考和創(chuàng)新思維方面的能力。近些年來(lái)，啟發(fā)式的教學(xué)方法已近逐步的為許多教師所接受和使用，尤其是中學(xué)階段的教師們。然而在體育與健康教育這門(mén)課程的教學(xué)中還少有教師將啟發(fā)式教學(xué)法付諸實(shí)踐，即使某些付諸實(shí)踐過(guò)但卻不得領(lǐng)會(huì)，不能將啟發(fā)式教學(xué)方法的優(yōu)勢(shì)充分的發(fā)揮，因此我如何將啟發(fā)式教學(xué)方法適當(dāng)?shù)倪\(yùn)用在初中體育與健康這門(mén)課的教學(xué)中是近年來(lái)體育教學(xué)方式探討的重點(diǎn)課題之一。二、傳統(tǒng)教學(xué)方法和啟發(fā)式教學(xué)方法的優(yōu)劣比較分析傳統(tǒng)的教學(xué)方法注重注入式，即使在體育與健康的教學(xué)中也是如此，這種傳統(tǒng)的教學(xué)過(guò)程往往是運(yùn)動(dòng)技巧和要領(lǐng)知識(shí)的掌握和身體運(yùn)動(dòng)規(guī)律的形成，而往往忽視了在體育與健康的教育中的教育主體——學(xué)生的內(nèi)在動(dòng)力和自我要求的目標(biāo)的提出。在這種傳統(tǒng)的教學(xué)理念的影響下，教學(xué)的環(huán)節(jié)是是偏向以教師教為主，過(guò)分強(qiáng)調(diào)了老師在同學(xué)們的學(xué)習(xí)中所占的主導(dǎo)地位，教師在上課之前備課，在上課時(shí)嚴(yán)格按照已經(jīng)有的備課參考書(shū)和教案按部就班的講授，這不僅使得整個(gè)教學(xué)的過(guò)程枯燥無(wú)味，傳統(tǒng)教學(xué)方式的弊端由此可見(jiàn)一斑。而相對(duì)于傳統(tǒng)教學(xué)方式，啟發(fā)式的教學(xué)方法更注重對(duì)學(xué)生能力的培養(yǎng)，所以可以說(shuō)它更具有長(zhǎng)遠(yuǎn)的效益，啟發(fā)式教學(xué)關(guān)注的重點(diǎn)不在于目前的知識(shí)和要點(diǎn)學(xué)生掌握了多少，它更注重通過(guò)一天或者一節(jié)課的教學(xué)，學(xué)生鍛煉了哪些能力，培養(yǎng)了哪一些良好的學(xué)習(xí)習(xí)慣和學(xué)習(xí)態(tài)度，無(wú)疑這對(duì)于學(xué)生未來(lái)的發(fā)展大有裨益。啟發(fā)式的教學(xué)方法既沒(méi)有忽略學(xué)生對(duì)不同知識(shí)的好奇和興趣，也沒(méi)有放任這種興趣將學(xué)習(xí)的規(guī)律和方法打亂，而是遵循了認(rèn)知的客觀規(guī)律，由具體到抽象，由個(gè)體到一般的科學(xué)認(rèn)知和人類(lèi)認(rèn)知規(guī)律，也使得啟發(fā)式教學(xué)能夠起到事半功倍、舉一反三的教學(xué)效果。三、啟發(fā)式教學(xué)法在體育與健康教學(xué)中的運(yùn)用體育與健康課程的教育是現(xiàn)代的素質(zhì)教育理念的重要組成部分，相比課堂教學(xué)相對(duì)封閉的環(huán)境，體育課的教學(xué)環(huán)境更動(dòng)態(tài)化，這就更需要同學(xué)們發(fā)自?xún)?nèi)心的參與到教學(xué)活動(dòng)中來(lái)，如果教學(xué)方法不得當(dāng)，學(xué)生的注意力無(wú)法集中，只要求學(xué)生被動(dòng)的參與，那么不僅體育課的教學(xué)效果將會(huì)大打折扣，而且也容易導(dǎo)致體育課的“放羊”式的教學(xué)。將啟發(fā)式教學(xué)法運(yùn)用到體育與健康課的教學(xué)中，其要領(lǐng)在于教師在整個(gè)教學(xué)活動(dòng)中起組織、啟發(fā)、引導(dǎo)的作用，使學(xué)生真正的在教學(xué)過(guò)程中處于主導(dǎo)地位，充分的激發(fā)學(xué)生自主學(xué)習(xí)的積極性，自覺(jué)的培養(yǎng)對(duì)于體育的興趣。以下是幾種具體的啟發(fā)式教學(xué)方法：1.直觀啟發(fā)直觀啟發(fā)是最常見(jiàn)的一種啟發(fā)式教學(xué)的方法，在實(shí)施上往往從生活中常見(jiàn)的學(xué)生容易理解的事物出發(fā)，結(jié)合具體的事物和實(shí)例的過(guò)程中利用已經(jīng)相對(duì)熟悉的知識(shí)給學(xué)生進(jìn)一步講解和示范，目的在于引發(fā)學(xué)生的充分聯(lián)想，這樣在自己領(lǐng)悟的基礎(chǔ)上對(duì)于教學(xué)內(nèi)容將會(huì)有更好的把握。在實(shí)際操作過(guò)程中可以利用的材料包括圖片、幻燈片等手段，也可以在戶(hù)外教學(xué)中讓同學(xué)們親身體驗(yàn)教學(xué)內(nèi)容，在有感性認(rèn)識(shí)的基礎(chǔ)上講解動(dòng)作要領(lǐng)，例如籃球課的教育活動(dòng)，可以在講解動(dòng)作要領(lǐng)之前，讓同學(xué)們親自試一試他們自己的不規(guī)范動(dòng)作和規(guī)范動(dòng)作之間的區(qū)別，然后再來(lái)講解規(guī)范動(dòng)作的優(yōu)勢(shì)在哪里，這樣通過(guò)親身的比較，同學(xué)們對(duì)于主動(dòng)掌握籃球動(dòng)作的要領(lǐng)的就更有興趣，也更愿意加入到教學(xué)活動(dòng)中來(lái)，效果會(huì)事半功半。2.提問(wèn)啟發(fā)提問(wèn)啟發(fā)法是另一種卓有成效的啟發(fā)式教學(xué)法，對(duì)于初中階段的學(xué)生，他們的好奇心和表現(xiàn)欲較強(qiáng)，教師在教學(xué)過(guò)程中提出的大家思考的問(wèn)題，只要能夠適合同學(xué)們來(lái)解答，學(xué)生往往會(huì)樂(lè)于思考并積極解答。提問(wèn)式的啟發(fā)方法就是合理的利用了中學(xué)生的這個(gè)心理特點(diǎn)。在講授體育課的一些動(dòng)作要領(lǐng)和原理的過(guò)程中，有些重點(diǎn)和難點(diǎn)的問(wèn)題需要同學(xué)們重點(diǎn)把握，教師可以通過(guò)提出思考問(wèn)題的方式引導(dǎo)學(xué)生自主的思考，例如在講解“前翻滾”這一動(dòng)作時(shí)，可以問(wèn)問(wèn)同學(xué)們什么樣的動(dòng)作能夠使得這一動(dòng)作的完成更順利？車(chē)輛的輪胎為什么都是圓的？通過(guò)這樣的問(wèn)題討論的方式使得同學(xué)們自發(fā)的思考，并且在這種思考中逐漸的領(lǐng)悟到“前翻滾”的動(dòng)作要領(lǐng)，相信通過(guò)這要的教學(xué)方式的掌握，知識(shí)在腦海里也會(huì)有更加牢固的映像。3.多樣化練習(xí)方式的啟發(fā)采用多樣化的練習(xí)方式，讓同學(xué)們?cè)诟鞣N各樣的練習(xí)中逐漸地加深對(duì)知識(shí)要領(lǐng)的把握，同時(shí)通過(guò)對(duì)同一個(gè)動(dòng)作不同方面的練習(xí)，使同學(xué)們對(duì)于要掌握的重點(diǎn)難點(diǎn)有更立體的認(rèn)識(shí)，這樣的啟發(fā)方式往往能起到不錯(cuò)的教學(xué)效果，同時(shí)也能夠激發(fā)同學(xué)們的興趣，不會(huì)讓學(xué)習(xí)的樂(lè)趣在枯燥、無(wú)聊的練習(xí)中蹉跎掉。在練習(xí)的設(shè)置過(guò)程中，應(yīng)當(dāng)結(jié)合中學(xué)生的認(rèn)知特點(diǎn)合理的安排練習(xí)，由于中學(xué)生在抽象思維和注意力集中方面遠(yuǎn)不及成年人，因此練習(xí)的設(shè)置應(yīng)當(dāng)避免抽象的概念理解和機(jī)械的動(dòng)作重復(fù)。在游戲中設(shè)置動(dòng)作的練習(xí)是非常好的方式，游戲的設(shè)置不僅能夠保持學(xué)生高昂的激情，也能夠使得學(xué)生自覺(jué)自愿的參加到這樣的體育練習(xí)中來(lái)。在體育與健康的課程教學(xué)中合理的運(yùn)用啟發(fā)式教學(xué)法是完善素質(zhì)教育的一個(gè)十分重要的教學(xué)環(huán)節(jié)，通過(guò)啟發(fā)式的教學(xué)方法，不但可以使教學(xué)目標(biāo)更加容易達(dá)成，也更有助于培養(yǎng)同學(xué)們自主學(xué)習(xí)，積極參與的學(xué)習(xí)態(tài)度和學(xué)習(xí)意識(shí)。我們的啟發(fā)式教學(xué)也能夠使同學(xué)們對(duì)于枯燥的動(dòng)作要領(lǐng)的識(shí)記和練習(xí)不再心生畏懼，既使同學(xué)們對(duì)教學(xué)內(nèi)容有了更深刻的理解又保持了同學(xué)們對(duì)于體育運(yùn)動(dòng)和課程教育的熱情，可以說(shuō)在體育與健康課程中運(yùn)用啟發(fā)式教學(xué)法是對(duì)于全面提高學(xué)生素質(zhì)的現(xiàn)代教育理念起著積極的意義。INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)1/35集成電路工藝原理仇志軍邯鄲校區(qū)物理樓435室INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)大綱第一章前言第二章晶體生長(zhǎng)第三章實(shí)驗(yàn)室凈化及硅片清洗第四章光刻第五章熱氧化第六章熱擴(kuò)散第七章離子注入第八章薄膜淀積第九章刻蝕第十章后端工藝與集成第十一章未來(lái)趨勢(shì)與挑戰(zhàn)INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)有關(guān)擴(kuò)散方面的主要內(nèi)容費(fèi)克第二定律的運(yùn)用和特殊解特征擴(kuò)散長(zhǎng)度的物理含義非本征擴(kuò)散常用雜質(zhì)的擴(kuò)散特性及與點(diǎn)缺陷的相互作用常用擴(kuò)散摻雜方法常用擴(kuò)散摻雜層的質(zhì)量測(cè)量DistributionaccordingDistributionaccordingtoerrorfunctiontogaussianfunctionxCerroC(x,t)=2√Dtzt4DtINFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)實(shí)第一步為定素面濃度的封散{Pre-deposition際工藝控制摻入的雜質(zhì)總量Q=2CD二第二步為有限源的擴(kuò)散(Drive-in),往往同時(shí)氧化稱(chēng)為主擴(kuò)散或再分布)步擴(kuò)散控制擴(kuò)散深度和表面濃度11D,t,ITD2+2INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)什么是離子注入離化后的原子在強(qiáng)電場(chǎng)的加速作用下,注射進(jìn)入靶材料的表層,以改變這種材料表層的物理或化學(xué)性質(zhì)離子注入的基本過(guò)程

將某種元素的原子或攜帶該元素的分子經(jīng)離化變成帶電的離子◆在強(qiáng)電場(chǎng)中加速,獲得較高的動(dòng)能后,射入材料表層(靶)以改變這種材料表層的物理或化學(xué)性質(zhì)lonImplantationINFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)35離子注入特點(diǎn)可通過(guò)精確控制摻雜劑量(101-1018cm2)和能量(1-400keV)來(lái)達(dá)到各種雜質(zhì)濃度分布與注入濃度平面上雜質(zhì)摻雜分布非常均勻(1%variationacrossan8”wafer表面濃度不受固溶度限制,可做到淺結(jié)低濃度或深結(jié)高濃度注入元素可以非常純,雜質(zhì)單一性可用多種材料作掩膜,如金屬、光刻膠、介質(zhì);可防止玷污,自由度大離子注入屬于低溫過(guò)程(因此可以用光刻膠作為掩膜),避免了高溫過(guò)程引起的熱擴(kuò)散橫向效應(yīng)比氣固相擴(kuò)散小得多,有利于器件尺寸的縮小會(huì)產(chǎn)生缺陷,甚至非晶化,必須經(jīng)高溫退火加以改進(jìn)設(shè)備相對(duì)復(fù)雜、相對(duì)昂貴(尤其是超低能量離子注入機(jī))有不安全因素,如高壓、有毒氣體INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)7135磁分析器聚焦Focus掃描系統(tǒng)Analyzingmagnet0-200keyNeutralX&Yllscanplates靶WaferAccelerator加速管NeutralbeamgateResolvin(-30kevperature離2E2qvFaradaycuplon源Bq…×EnergyE=qvextBIABF3:B*,Bt,BF2*,BOl,I-=magnetcurrentF+BF+,BF++774Handout23P0INFO130024.02集成電路工藝原理第七章離子注入原理(上)8/35a)源(Source):在半導(dǎo)體應(yīng)用中,為了操作方便,