KLA假缺陷類型總結(jié)及編程注意事項

KLA編程事項及相關(guān)的假缺陷類型PID/LIL背景介紹背景介紹問題背景：在線不同品種不同層次KLAREVIEW有假缺陷影響范圍：39個程序58批次發(fā)現(xiàn)站點：不同層次KLA異常原因：編程不良 習(xí)慣關(guān)鍵詞：假缺陷,EDITMAP,CAREAREA,缺陷圖片1ISSUE在線反饋各品種各層次測試MAPREVIEW發(fā)現(xiàn)假缺陷較多,白白浪費人力機時,延長問題處理時間,嚴重影響作業(yè)效率,造成產(chǎn)能下降.針對這種情況,進行測試程序優(yōu)化,以期減少假缺陷的發(fā)生,提升作業(yè)效率與產(chǎn)能.假缺陷的最大問題在于程序編制問題。為此首先確認了假缺陷的具體類型,其次針對各種類型具體分析,找出是哪些原因?qū)е铝顺绦虻牟涣歼M而導(dǎo)致了假缺陷的產(chǎn)生。最后根據(jù)這些原因找出具體應(yīng)對方法。

具體過程如下：2201011月在線確認因編程不良導(dǎo)致假缺陷的影響狀況假缺陷類型編程原因影響程序影響批次平邊打標假缺陷未做EDITMAP58邊緣一處未曝光區(qū)假缺陷未做EDITMAP23插花假缺陷未做EDITMAP22未曝光區(qū)條狀假缺陷未做EDITMAP22MAP偏移導(dǎo)致邊緣假缺陷未做EDITMAP

色差假缺陷不適的LIGTBOX及FOCUS

AL填充不良不適的LIGTBOX及FOCUS

POLY粗糙假缺陷不適的LIGTBOX及FOCUS12劃片槽假缺陷不適的CAREAREA11A：未做EDITMAPB：不適的LIGHTBOXFOCUSC：不適的CAREAREA3編程時一定要做EDITMAP

35界面38/39界面4

未做EDITMAP造成的假缺陷類型異常MAP異常圖形1.平邊打標假缺陷

52.邊緣光刻曝光角未去除導(dǎo)致的邊緣聚集狀假缺陷異常MAP異常圖形前層未做圖形前層已做圖形63.邊緣光刻曝光角未去除造成的2138/39頂部水平條狀假缺陷異常圖形異常區(qū)域異常MAP74.套編時Die-org定義在BLOCK起始點有時會導(dǎo)致整體MAP偏移38/39偏移后的EDITMAP測量的異常MAP：（左側(cè)未測到圖形區(qū)域，右側(cè)測出邊緣去邊圖形）解決方法：發(fā)現(xiàn)MAP偏移，先保存前面步驟，再退片重新進片，EDITMAP即恢復(fù)正常。35偏移后EDITMAP不直觀：要操縱桿移至邊緣確認圓片邊緣圖形85.特殊產(chǎn)品的插花假缺陷(呈BLOCK效應(yīng))已做EDITMAP(摳除插花)異常MAP插花處圖形9FOCUS要調(diào)至當前層圖形及做SETFOCUS鎖定聚焦35界面38/39界面101.AL填充不良假缺陷(MAP呈散點狀)聚焦在前層A1圖形FOCUS:0:00要求聚焦到當前A2圖形FOCUS:-1.50AL填充不良假缺陷正常區(qū)域未調(diào)至當前層或未做SETFOCUS的假缺陷類型112.色差假缺陷要求聚焦到當前W1圖形FOCUS:-2.00聚焦在前層GT圖形FOCUS:0:00正常區(qū)域色差假缺陷123.POLY粗糙假缺陷要求聚焦到當前層FOCUS:-0.50聚焦到前層FOCUS:0.00POLY粗糙假缺陷13要選擇合適的CAREAREA區(qū)域35界面38/39界面141.CAREAREA在DIE外造成的劃片槽假缺陷DIE左上角DIE右下角正常區(qū)域異常區(qū)域劃片槽假缺陷異常MAP不適的CAREAREA區(qū)域?qū)е碌募偃毕蓊愋?52.CAREAREA偏小造成未測出的真缺陷DIE左上角DIE右下角要求區(qū)域異常區(qū)域異常MAP正常MAP未測到的真缺陷16選擇合適的LIGTBOX區(qū)域(疏密相間)35界面38/39界面17選擇不合適的LIGHTBOX可能導(dǎo)致的假缺陷后選合適的LIGHTBOX原來不適的LIGHTBOX會導(dǎo)致AL填充不良,色差假缺陷(缺陷類型同前)18特殊:2138/39KC98_GT有插花的SAMPLAN異常MAP具體原因不明確正確編程操作方法：1。新編程序摳插花一定要在EDITMAP完成。2。套編時一定要確認SAMPLAN測試區(qū)域是否正常。19為修改假缺陷程序明確化，要求統(tǒng)一假缺陷描述,發(fā)現(xiàn)假缺陷輸comment時須具體描述假缺陷類型，細節(jié)如下表：后續(xù)工作201。編程中必須要做EDITMAP：即操縱桿移至圓片四周及插花處確認圖形區(qū)域。2。有插花的產(chǎn)品編程：扣除插花一定要在EDITMAP

完成，不能在SAMPPLAN完成。3。LIGHTBOX必須聚焦到當前層次，并點擊SETFOCUS

鎖定聚焦。4。LIGHTBOX要選擇圖形疏密疊加的區(qū)域。5。CAREAREA區(qū)域