真空鍍膜知識(shí)培訓(xùn)(28張)課件

1、真空鍍膜知識(shí)培訓(xùn)(28張)課件真空鍍膜知識(shí)培訓(xùn)(28張)課件一、真空的定義： 真空指低于該地區(qū)大氣壓的稀薄氣體狀態(tài)。什么是真空？一、真空的定義：真空指低于該地區(qū)大氣壓的稀 處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思。真空度低表示真空度“差”的意思。低真空（一般在76010托）；中真空（一般在1010 3托）；高真空（一般在10 - 310 -8托）；超高真空（一般在10-810 -12 ）。 注:1托=133.322pa 1pa=7.510-3托 二、什么是真空度： 處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度通二、什么 在真空條件下利用某種方法，在固體

2、表面上鍍一層與基體材料不同的薄層材料，也可以利用固體本身生成一層與基體不同的薄層材料。這就是真空鍍膜技術(shù)。在固體表面上鍍上一層薄膜，就能使該基體材料具有許多新的物理和化學(xué)性能。因此，真空鍍膜技術(shù)又稱表面改性技術(shù)。三、什么叫作真空鍍膜技術(shù)： 在真空條件下利用某種方法，在固體表面上鍍 蒸發(fā)真空鍍：在真空條件下，將材料加熱并蒸 發(fā)到基片上，稱為真空蒸發(fā)鍍。 濺射真空鍍：利用各種材料在氣相間、氣相和固體基體表面間所產(chǎn)生的物理、化學(xué)過(guò)程而沉積薄膜的方法。它又可以分為物理氣相沉積。物理氣相沉積可分為利用加熱膜材而產(chǎn)生熱蒸發(fā)沉積、利用氣體放電產(chǎn)生的正離子轟擊陰極（靶材）所產(chǎn)生的濺射沉積、將蒸發(fā)和濺射結(jié)合起來(lái)

3、的離子鍍以及分子束外延。我們稱之為濺射真空鍍。四、真空鍍膜分為哪幾種： 蒸發(fā)真空鍍：在真空條件下，將材料加熱并蒸 發(fā)到基片上， 電子槍真空鍍：在真空環(huán)境中，燈絲經(jīng)加熱發(fā)射熱電子，受束極及陽(yáng)極加速變成帶狀高能電子束。在偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)作用下電子束旋轉(zhuǎn)270角入射到坩堝靶材上，其能量達(dá)到一萬(wàn)電子伏特，傳遞給靶材實(shí)現(xiàn)電能熱能轉(zhuǎn)換，在電子束轟擊區(qū)域內(nèi)，靶材表面溫度迅速升高及熔化直至蒸發(fā)。稱為電子槍真空鍍。通常也稱之為光學(xué)鍍膜。真空鍍膜知識(shí)培訓(xùn)(28張)課件五、真空鍍膜工藝 根據(jù)真空鍍膜氣相金屬產(chǎn)生和沉積 方式，塑料真空鍍膜的方法主要分為熱蒸發(fā)鍍膜法和磁控濺射鍍膜法。五、真空鍍膜工藝 根據(jù)真空鍍膜氣相金屬產(chǎn)生和

4、沉蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜工藝的示意圖：基材窗蒸發(fā)源泵蒸發(fā)鍍靶電源基材泵氣體等離子體濺射鍍蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜工藝的示意圖：基材窗蒸發(fā)源泵蒸發(fā)鍍靶電 真空蒸發(fā)鍍膜法就是在1.310-2 1.310-3pa(10-410-5Torr)的真空中以電阻加熱鍍膜材料，使它在極短時(shí)間內(nèi)蒸發(fā)，蒸發(fā)了的鍍膜材料分子沉積在基材表面上形成鍍膜層。真空鍍膜室是使鍍膜材料蒸發(fā)的蒸發(fā)源，還有支承基材的工作架或卷繞裝置都是真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的主要部分。鍍膜室的真空度、鍍膜材料的蒸發(fā)速率、蒸發(fā)距離和蒸發(fā)源的間距，以及基材表面狀態(tài)和溫度等都是影響鍍膜層質(zhì)量的因素。真空蒸發(fā)鍍膜法 真空蒸發(fā)鍍膜法就是在1.310-2 1磁控濺射

5、法 磁控濺射法又稱高速低溫濺射法。目前磁控濺射法已在電學(xué)膜、光學(xué)膜和塑料金屬化等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。磁控濺射法是在1.310-1pa(10-3Torr)左右的真空中充入惰性氣體，并在塑料基材(陽(yáng)極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電，由于輝光放電產(chǎn)生的電子激發(fā)惰性氣體，產(chǎn)生等離子體。等離子體將金屬靶材的原子轟出，沉積在塑料基材上。磁控濺射法 磁控濺射法又稱高速低溫濺射法。蒸發(fā)法與磁控濺射法的比較 磁控濺射法與蒸發(fā)法相比，具有鍍膜層與基材的結(jié)合力強(qiáng)，鍍膜層致密、均勻等優(yōu)點(diǎn)。真空蒸發(fā)鍍膜法需要使金屬或金屬化合物蒸發(fā)氣化，而加熱溫度又不能太高，否則氣相蒸鍍金屬會(huì)燒壞被鍍塑料基材，因此，真空蒸鍍法一般

6、僅適用于鋁等熔點(diǎn)較低的金屬源，是目前應(yīng)用較為廣泛的真空鍍膜工藝。相反，濺射鍍膜法是利用高壓電場(chǎng)激發(fā)產(chǎn)生等離子體鍍膜物質(zhì)，適用于幾乎所有高熔點(diǎn)金屬、合金及金屬化合物鍍膜源物質(zhì)，如鉻、鉬、鎢、鈦、銀、金等。而且它是一種強(qiáng)制性的沉積過(guò)程，采用該法獲得的鍍膜層與基材附著力遠(yuǎn)高于真空蒸鍍法，鍍膜層具有致密、均勻等優(yōu)點(diǎn)，加工成本也相對(duì)較高。蒸發(fā)法與磁控濺射法的比較 磁控濺射法與蒸發(fā)法真空鍍膜方式蒸發(fā)鍍膜磁控濺射鍍膜 表 面鍍前處理離子穿透深度 基材上底涂層、真空脫氣 只在表面附著 基材上底涂層，真空脫氣 有一定深度的穿透 處理過(guò)程離子中性激發(fā)電子熱中性粒子 100% 0.1% 10% 90% 材料鍍膜可選

7、用難于選用 金屬 蒸汽壓特別低的金屬、化合物等材料 金屬、非金屬 易分解或蒸汽壓較高的金屬、化合物等材料 可鍍基材 金屬、塑料、玻璃等 金屬、塑料、玻璃等 附著力 略差 略差較好 優(yōu)、缺點(diǎn) 可鍍基材廣泛，附著力差 可鍍基材廣泛，在低溫可鍍多種合金膜 應(yīng) 用 裝飾膜、光學(xué)膜、電學(xué)膜、磁性膜等 裝飾膜、光學(xué)膜、電學(xué)膜、磁性膜等真空蒸發(fā)鍍膜法與磁控濺射鍍膜法比較真空鍍膜方式蒸發(fā)鍍膜磁控濺射鍍膜 表 面鍍前處理 六、真空鍍膜材料 真空鍍膜材料即是通過(guò)真空鍍膜技術(shù)鍍到基材上的成膜材料，以金屬和金屬氧化物為主。鍍膜材料的性質(zhì)直接關(guān)系到真空鍍膜的質(zhì)量和性能，鍍膜材料不同，厚度不同，所得鍍膜層性能和色澤也不一

8、樣。如鍍鋁層的連續(xù)性好于銀、銅鍍膜層，鍍層厚度達(dá)到0.9nm即可導(dǎo)電，達(dá)到30nm時(shí)，其性能就和固態(tài)鋁材相同。銀鍍層小于5nm時(shí)不能導(dǎo)電，銅鍍層對(duì)基材附著力較差，且容易被氧化。真空鍍膜材料品種繁多，單金屬型鍍膜材料有：鋁、錫、銦、鈷、鎳、銅、鋅、銀、金、鈦、鉻、鉬、鎢等。合金型的鍍膜材料有鎳-鉻，六、真空鍍膜材料 鎳-鐵，鐵-鈷，金-銀-金等。金屬化合物型的鍍 膜材料有：SiO2 、 Ti3O5 、 SnO2 、MgF2 、 ZnS等。在眾多鍍膜材料中，以鋁材的應(yīng)用最多，這是因 為鋁在真空條件下，蒸發(fā)濕度較低，易操作。鋁鍍膜 層對(duì)塑料的附著力強(qiáng)，富有金屬光澤；鋁鍍膜層還能 夠遮蔽紫外線，對(duì)氣體

9、阻隔性也很好。另外，高純度 的鋁價(jià)格比較便宜，這是其他鍍膜材料所不及的。鋁 的反射率高，厚度40nm鋁鍍膜層的反射率達(dá)90%。 鎳-鐵，鐵-鈷，金-銀-金等。金屬化合物型的鍍七、基材適鍍性特征 真空鍍膜雖然適合的基材種類很多，但仍以塑料或其他高分子材料基材為主，原則上，絕大多數(shù)的聚合物材料都可用于真空鍍膜。因聚合物材料的本身的品種較多，性能相差較大，對(duì)真空鍍膜的適應(yīng)性也可能不同。作為真空鍍膜的塑料基材，其最基本的性能應(yīng)包括附著性能、真空放氣量和耐熱性等幾方面指標(biāo)。七、基材適鍍性特征 真空鍍膜雖然適合的基材種類很多 被鍍塑料基材應(yīng)與真空鍍膜材料有良好的附著結(jié)合強(qiáng)度，塑料與金屬鍍層的結(jié)合強(qiáng)度和塑料

10、本身的極性等結(jié)構(gòu)因素密切相關(guān)。一般認(rèn)為聚酯類材料和鍍鋁膜層的結(jié)合力最強(qiáng)，在保證表面潔凈的條件下可以直接進(jìn)行真空鍍膜，如大規(guī)模生產(chǎn)的PET真空鍍膜。鋁鍍膜層PP、PE、等弱極性基材的附著力差，PC和硬質(zhì)PVC則介乎其間。附著力 被鍍塑料基材應(yīng)與真空鍍膜材料有良好的附著力八、塑料真空鍍膜常見(jiàn)問(wèn)題分析 真空鍍膜技術(shù)是一個(gè)多學(xué)科綜合的產(chǎn)物，其工藝過(guò)程也必然涉及多方面的技術(shù)知識(shí)，生產(chǎn)上出現(xiàn)的技術(shù)問(wèn)題也非單純的涂料技術(shù)可以解決的，需進(jìn)行多學(xué)科的綜合分析。首先，塑料基材的質(zhì)量要合乎真空鍍膜的要求，基材成型加工不當(dāng)時(shí)，容易出現(xiàn)各種缺陷，直接或間接影響真空鍍膜質(zhì)量。八、塑料真空鍍膜常見(jiàn)問(wèn)題分析 真空問(wèn)題及現(xiàn)象可

11、能原因改進(jìn)措施真空鍍膜有黯淡的雜色，出現(xiàn)藍(lán)色、黃色或黑色基材放氣選用放氣量小的基材，或?qū)倪M(jìn)行真空加熱預(yù)處理基材離蒸發(fā)源太近調(diào)整距離真空系統(tǒng)泄漏，可能進(jìn)入太多氧氣檢修真空泵抽氣能力低維修真空泵，或換泵油蒸發(fā)源或陰極損壞更換蒸發(fā)源或陰極鍍膜時(shí)真空鍍較低待真空度達(dá)到要求后再鍍膜真空度過(guò)高，夾具和基材放氣適當(dāng)降低真空度底涂層放氣調(diào)整涂料固化工藝或涂料配方夾具、掛籠或卷繞機(jī)有積垢，或殘存的洗滌劑徹底清洗并干燥蒸發(fā)速率太低加大蒸發(fā)速率鍍膜龜裂呈鱗片狀鍍膜太厚調(diào)整鍍膜厚度鍍膜收縮率與底漆相差太大，或底漆固化不好調(diào)整光固化工藝或調(diào)整配方問(wèn)題及現(xiàn)象可能原因改進(jìn)措施基材放氣選用放氣量小的基材，或?qū)鶈?wèn)題及現(xiàn)象

12、可能原因改進(jìn)措施 鍍鋁膜層光 亮度不好基材表面有低密度區(qū)域更換基材牌號(hào)增加涂料固含量，增加涂層交聯(lián)密度兩道涂層或多道底涂蒸發(fā)速率低提高蒸發(fā)速率 底涂層部分 脫落基材表面有油污清潔表面，或更換基材牌號(hào)手接觸過(guò)基材表面盡量不要手摸擴(kuò)散泵返油采用加檔油裝置等措施鍍膜操作不好保證一定的真空度 鍍膜有污點(diǎn) 或瑕疵底涂有污物或塵粒仔細(xì)過(guò)濾涂料鍍膜倉(cāng)已臟清理鍍膜倉(cāng)噴涂的空氣管路有污物清理或加裝過(guò)濾器噴涂車間空氣流過(guò)大找出原因塑料成型過(guò)程中有氣體逸出或表面麻點(diǎn)檢查模具、改進(jìn)工藝，或直接更換材料問(wèn)題及現(xiàn)象可能原因改進(jìn)措施基材表面有低密度區(qū)域更換基材牌號(hào)蒸問(wèn)題及現(xiàn)象可能原因改進(jìn)措施 局部灼傷鋁液滴飛濺控制好預(yù)熔操

13、作蒸發(fā)鍍膜時(shí)電流升高過(guò)快控制好電流升高速率蒸發(fā)鍍膜時(shí)功率過(guò)大掌握好蒸發(fā)功率卷繞鍍膜時(shí)薄膜基材松弛和冷卻輥接觸不好調(diào)節(jié)好張力，保證接觸良好 紋路薄膜基材厚度不均，使卷繞張力不平衡更換厚度均勻的牌號(hào)濕暈，泛白外觀溶劑全部揮發(fā)完之前水汽凝露調(diào)低溶劑揮發(fā)速率噴涂管路內(nèi)有水分清理、干燥管路涂裝現(xiàn)場(chǎng)濕度過(guò)高除濕干燥，或添加慢揮發(fā)溶劑配方含有較多吸濕性組分替換吸濕性組分，或添加慢揮發(fā)溶劑問(wèn)題及現(xiàn)象可能原因改進(jìn)措施鋁液滴飛濺控制好預(yù)熔操作蒸發(fā)鍍膜時(shí)問(wèn)題及現(xiàn)象可能原因改進(jìn)措施彩虹，底漆菱形扭曲底漆下層固化不好，漆膜層相對(duì)移動(dòng)，或面漆溫度太高，或鍍膜太薄檢查相關(guān)工藝過(guò)程漆膜呈星形“咬底”涂料組分或溶劑滲入基材或底

14、漆檢查底層固化固化情況和底漆溶劑問(wèn)題及現(xiàn)象可能原因改進(jìn)措施彩虹，底漆菱形扭曲底漆下層固化不好問(wèn)題現(xiàn)象描述可能原因解決措施涂層濕膜留置閃干時(shí)間固化不足涂層白化，層間附著力下降涂層表面不干層間附著力差，深指紋印不良溶劑包埋于固化膜內(nèi)固化受阻輻照能量不足調(diào)整留置閃干時(shí)間和溫度（605）膜厚工作倉(cāng)溫度鍍膜太厚，易龜裂鍍膜太薄，易現(xiàn)彩虹塑料基材變形熔融鍍膜厚度不合適過(guò)度受熱檢查固化面輻照能量強(qiáng)度檢查紫外燈效率檢查固化工藝過(guò)程確定合適鍍膜厚度紫外光源進(jìn)行充分風(fēng)冷固化后黃變檢測(cè)光源輻照強(qiáng)度，與參考輻照強(qiáng)度范圍比較參考強(qiáng)度范圍：69J/cm2被鍍件離燈太近過(guò)度輻照引起黃變，通常在24H內(nèi)黃色褪去調(diào)整燈距降低總

15、輻照劑量，提高履帶機(jī)走速，關(guān)閉部分光管，拉遠(yuǎn)燈距霜化外觀涂層可輕易刮去固化不均勻輻照固化前適當(dāng)烘烤降低留置閃干烘烤溫度調(diào)整紫外燈管排布，濕物物件均勻固化，避免局部過(guò)熱光固化真空鍍膜涂料應(yīng)用常見(jiàn)工藝問(wèn)題及解決方案問(wèn)題現(xiàn)象描述可能原因解決措施涂層白化，層間附著力下降不良溶劑 化學(xué)鍍又稱水電鍍，也可稱為濕鍍。一般用此方法鍍膜，成本高，膜厚不均勻，厚度難于控制，而且會(huì)產(chǎn)生大量的廢液而造成公害。八、真空鍍膜 與化學(xué)鍍的區(qū)別： 化學(xué)鍍又稱水電鍍，也可稱為濕鍍。一般用此方法鍍膜， 一般用此方法鍍膜不易受污染，可獲得純度高、致密性好、厚度均勻的膜層，對(duì)空氣環(huán)境不會(huì)產(chǎn)生污染。真空鍍膜材料和基體材料有廣泛的選擇性

16、，可以制備各種不同的功能性膜層（如玻璃、陶瓷、塑料、木板等）。薄膜結(jié)構(gòu)在化學(xué)組成上可分單質(zhì)膜、化合物膜。在薄膜功能上，可分為裝飾膜。例如：防腐蝕膜、硬質(zhì)膜、隔熱膜、超導(dǎo)膜，顯示存貯膜及防輻射膜等。薄膜與基體附著強(qiáng)度好，膜層牢固，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。真空鍍稱為干鍍： 一般用此方法鍍膜不易受污染，可獲得純度高、致密性好、厚度 首先開(kāi)水、電、氣總電源開(kāi)維持泵開(kāi)擴(kuò)散泵加熱開(kāi)粗抽泵 開(kāi)預(yù)抽閥關(guān)預(yù)抽閥開(kāi)粗抽閥開(kāi)羅茨泵如有離子轟擊，開(kāi)轟擊30秒，關(guān)轟擊 開(kāi)真空計(jì)當(dāng)真空到6.07.0pa時(shí)，關(guān)粗抽閥開(kāi)前置閥開(kāi)精抽閥，當(dāng)真空達(dá)到710 - 3pa，開(kāi)轉(zhuǎn)架開(kāi)始鍍膜操作鍍膜完畢后，關(guān)閉真空計(jì)、離子源關(guān)精抽閥，前置閥關(guān)羅茨

17、泵開(kāi)充氣閥，取件上料，反復(fù)開(kāi)始操作。八、真空鍍膜機(jī)操作工藝流程： 首先開(kāi)水、電、氣總電源開(kāi)維持泵 1、設(shè)備停用時(shí)，鍍膜室要 保持真空狀態(tài)，減少內(nèi) 表面內(nèi)氣體的吸附，防 止氧化。 2、冷卻水通暢下才能對(duì)擴(kuò) 散泵進(jìn)行加熱，未經(jīng)充 分冷卻的泵不得與大氣 接觸，防止氧化。特別注意 1、設(shè)備停用時(shí)，鍍膜室要特3、要保證機(jī)器內(nèi)擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的油 定期檢查和更換。4、設(shè)備運(yùn)行中遇有停電或其它事故發(fā) 生，須先停擴(kuò)散泵，關(guān)精抽閥，前 置閥和真空計(jì)。5、產(chǎn)品做完下班后，關(guān)了擴(kuò)散泵后須 待溫度降低至60后才能關(guān)維持泵。3、要保證機(jī)器內(nèi)擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的油謝謝 富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品謝謝 富森鈦金設(shè)備1、

18、想要體面生活，又覺(jué)得打拼辛苦；想要健康身體，又無(wú)法堅(jiān)持運(yùn)動(dòng)。人最失敗的，莫過(guò)于對(duì)自己不負(fù)責(zé)任，連答應(yīng)自己的事都辦不到，又何必抱怨這個(gè)世界都和你作對(duì)？人生的道理很簡(jiǎn)單，你想要什么，就去付出足夠的努力。2、時(shí)間是最公平的，活一天就擁有24小時(shí)，差別只是珍惜。你若不相信努力和時(shí)光，時(shí)光一定第一個(gè)辜負(fù)你。有夢(mèng)想就立刻行動(dòng)，因?yàn)楝F(xiàn)在過(guò)的每一天，都是余生中最年輕的一天。3、無(wú)論正在經(jīng)歷什么，都請(qǐng)不要輕言放棄，因?yàn)閺膩?lái)沒(méi)有一種堅(jiān)持會(huì)被辜負(fù)。誰(shuí)的人生不是荊棘前行，生活從來(lái)不會(huì)一蹴而就，也不會(huì)永遠(yuǎn)安穩(wěn)，只要努力，就能做獨(dú)一無(wú)二平凡可貴的自己。4、努力本就是年輕人應(yīng)有的狀態(tài)，是件充實(shí)且美好的事，可一旦有了表演的成

19、分，就會(huì)顯得廉價(jià)，努力，不該是為了朋友圈多獲得幾個(gè)贊，不該是每次長(zhǎng)篇贅述后的自我感動(dòng)，它是一件平凡而自然而然的事，最佳的努力不過(guò)是：但行好事，莫問(wèn)前程。愿努力，成就更好的你！5、付出努力卻沒(méi)能實(shí)現(xiàn)的夢(mèng)想，愛(ài)了很久卻沒(méi)能在一起的人，活得用力卻平淡寂寞的青春，遺憾是每一次小的挫折，它磨去最初柔軟的心智、讓我們懂得累積時(shí)間的力量；那些孤獨(dú)沉寂的時(shí)光，讓我們學(xué)會(huì)守候內(nèi)心的平和與堅(jiān)定。那些脆弱的不完美，都會(huì)在努力和堅(jiān)持下，改變模樣。6、人生中總會(huì)有一段艱難的路，需要自己獨(dú)自走完，沒(méi)人幫助，沒(méi)人陪伴，不必畏懼，昂頭走過(guò)去就是了，經(jīng)歷所有的挫折與磨難，你會(huì)發(fā)現(xiàn)，自己遠(yuǎn)比想象中要強(qiáng)大得多。多走彎路，才會(huì)找到捷

20、徑，經(jīng)歷也是人生，修煉一顆強(qiáng)大的內(nèi)心，做更好的自己！7、“一定要成功”這種內(nèi)在的推動(dòng)力是我們生命中最神奇最有趣的東西。一個(gè)人要做成大事，絕不能缺少這種力量，因?yàn)檫@種力量能夠驅(qū)動(dòng)人不停地提高自己的能力。一個(gè)人只有先在心里肯定自己，相信自己，才能成就自己！8、人生的旅途中，最清晰的腳印，往往印在最泥濘的路上，所以，別畏懼暫時(shí)的困頓，即使無(wú)人鼓掌，也要全情投入，優(yōu)雅堅(jiān)持。真正改變命運(yùn)的，并不是等來(lái)的機(jī)遇，而是我們的態(tài)度。9、這世上沒(méi)有所謂的天才，也沒(méi)有不勞而獲的回報(bào)，你所看到的每個(gè)光鮮人物，其背后都付出了令人震驚的努力。請(qǐng)相信，你的潛力還遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒(méi)有爆發(fā)出來(lái)，不要給自己的人生設(shè)限，你自以為的極限，只是別人的起點(diǎn)。寫給渴望突破瓶頸、實(shí)現(xiàn)快速跨越的你。10、生活中，有人給予幫助，那是幸運(yùn)，沒(méi)人給予幫助，那是命運(yùn)。我們要學(xué)會(huì)在幸運(yùn)青睞自己的時(shí)候?qū)W會(huì)感恩，在命運(yùn)磨練自己的時(shí)候?qū)W會(huì)堅(jiān)韌。這既是對(duì)自己的尊重，也是對(duì)自己的負(fù)責(zé)。11、失敗不可怕，可怕的是從來(lái)沒(méi)有努力過(guò)，還怡