硬盤及電子行業(yè)釕系濺射靶材用釕粉

1、硬盤及電子行業(yè)釘系濺射靶材用釘粉編制說明（討論稿）2014年4月）硬盤及電子行業(yè)釘系濺射靶材用釘粉”編制說明一、工作簡(jiǎn)況1 .計(jì)劃來源及主要起草人貴研粕業(yè)股份有限公司根據(jù)市場(chǎng)的需求變化，于2012年向中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究院提出制定制備釘靶用釘粉行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的建議，2013年9月工業(yè)和信息化部以工信廳科2013102號(hào)文下達(dá)該標(biāo)準(zhǔn)的制定任務(wù)，項(xiàng)目起止時(shí)間為2013年9月2014年12月，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃號(hào)為2013.0387T.YS,技術(shù)歸口單位為中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所，起草單位為貴研鉗業(yè)股份有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)于2013年10月由中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所主持，在山東省濟(jì)南

2、市召開了任務(wù)落實(shí)會(huì)，根據(jù)任務(wù)落實(shí)會(huì)會(huì)議精神和與會(huì)專家的意見，本標(biāo)準(zhǔn)于2014年4月完成了預(yù)審稿。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草及修訂人員：譚志龍，郭俊梅，張俊敏，王傳軍，畢培，管偉明，聞明，陳松，朱武勛。2 .編制過程接到本標(biāo)準(zhǔn)的制定任務(wù)后，首先對(duì)目前公司運(yùn)行的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了全面研究分析，在此基礎(chǔ)上總結(jié)了近年來國(guó)內(nèi)外靶材行業(yè)用釘粉的生產(chǎn)應(yīng)用情況及最新研究成果報(bào)道，同時(shí)查閱了大量國(guó)內(nèi)外廠商產(chǎn)品的先進(jìn)技術(shù)指標(biāo)，結(jié)合國(guó)內(nèi)現(xiàn)狀，根據(jù)近年來產(chǎn)品的使用要求，在積累大量數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，認(rèn)真分析研究了各相關(guān)指標(biāo)，在企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上撰寫了該行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)草稿。本標(biāo)準(zhǔn)與企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制備釘靶用釘粉相比較，標(biāo)準(zhǔn)名稱更改為硬盤及電子行業(yè)釘系濺射靶

3、材用釘粉，由于釘及釘基其他靶材如RuCo等靶材主要應(yīng)用于硬盤及電子行業(yè)中進(jìn)行濺射成膜，而且制備釘基其他靶材對(duì)釘粉末的要求與制備釘靶相同，因此，標(biāo)準(zhǔn)名稱更改為硬盤及電子行業(yè)釘系濺射靶材用釘粉與本標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)質(zhì)內(nèi)容更貼切。二、制定原則隨著釘系濺射靶材在磁記錄及電容等領(lǐng)域的擴(kuò)大應(yīng)用和發(fā)展，釘系濺射靶材用釘粉在其中發(fā)揮著重要的作用，為了使科研和生產(chǎn)有章可循并有效地與國(guó)際先進(jìn)技術(shù)接軌，既考慮到本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范性、先進(jìn)性，又注重其適應(yīng)性、可操作性和完整性，特修訂本標(biāo)準(zhǔn)。編制本標(biāo)準(zhǔn)的原則是以企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制備釘靶用釘粉為基礎(chǔ)，完全按GB/T1.1-2009標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫及有色金屬加工產(chǎn)品國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、

4、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)編寫示例規(guī)定的格式進(jìn)行編制，以范圍一一規(guī)范性引用文件一一術(shù)語和定義一一要求一一試驗(yàn)方法一一檢驗(yàn)規(guī)則一一標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存一一訂貨單（或合同）內(nèi)容的順序進(jìn)行編制，內(nèi)容完整全面。三、制定的主要內(nèi)容本小組通過文獻(xiàn)、專利調(diào)查以及使用廠家咨詢和研究，發(fā)現(xiàn)：（1）目前國(guó)內(nèi)外制定的釘粉的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于雜質(zhì)元素的要求和種類都不能滿足硬盤及電子行業(yè)中對(duì)于制備釘靶用的釘粉需要。主要體現(xiàn)在目前標(biāo)準(zhǔn)中多對(duì)于K、Na等堿金屬元素含量沒有要求；對(duì)于過渡族金屬CoCr等元素也沒有要求；對(duì)于制備中易混入粉末中的Zr等元素也沒有要求；同時(shí)對(duì)C、O、N等對(duì)靶材性能有重要影響的非金屬元素也沒有要求；（2）目前國(guó)內(nèi)外制定的釘粉

5、的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于粉末的粒徑分布沒有要求，而粉末粒徑分布的均勻性是影響最終靶材晶粒尺寸均勻性的重要因素；（3）目前國(guó)內(nèi)外制定的釘粉的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于粉末的振實(shí)密度沒有要求，而粉末的振實(shí)密度是反映粉末球形度以及團(tuán)聚程度的重要參數(shù)，也是指導(dǎo)模具設(shè)計(jì)及單爐次生產(chǎn)能力的重要指標(biāo)?？傊?，對(duì)于釘系濺射靶材制備用釘粉沒有符合的國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)基于以上現(xiàn)狀認(rèn)為制定本行業(yè)關(guān)于釘系濺射靶材制備用釘粉的標(biāo)準(zhǔn)十分必要和緊迫。從客戶使用的效果和復(fù)驗(yàn)的結(jié)果看，本標(biāo)準(zhǔn)所定的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是先進(jìn)的和合理的。按本標(biāo)準(zhǔn)所定的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)生產(chǎn)的產(chǎn)品，質(zhì)量穩(wěn)定可靠，滿足客戶使用要求。四、國(guó)內(nèi)外同類標(biāo)準(zhǔn)水平的對(duì)比分析1、釘?shù)牡V物主要為金屬互化物、半金屬互

6、化物或硫化物與碎化物，以釘鉞礦等存在，主要集中在南非、前蘇聯(lián)、美國(guó)和中國(guó)。釘粉主要應(yīng)用于化合物、漿料、金屬或功能合金材料，廣泛使用于傳統(tǒng)工業(yè)、高新技術(shù)、軍工宇航等各個(gè)領(lǐng)域。2、檢索ISO、ASTM、EN、JIS、DIN、國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等，只檢索到ASTM中釘?shù)臉?biāo)準(zhǔn)和有色行業(yè)的釘粉標(biāo)準(zhǔn)，未發(fā)現(xiàn)制備釘系濺射靶材用釘粉的要求。五、與現(xiàn)行法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系1本標(biāo)準(zhǔn)的制定參考美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，與美國(guó)ASTM相比分析元素中沒有Ca、Sn、Os,但是本標(biāo)準(zhǔn)增加了Ni、Zr、Al、K、Co、Cr、C、0、N元素的分析，本標(biāo)準(zhǔn)與ASTM標(biāo)準(zhǔn)比較無相同等級(jí)牌號(hào)；2本標(biāo)準(zhǔn)與有色行業(yè)的釘粉標(biāo)準(zhǔn)比較，主要是增加了分析元素

7、K、Na、Co、Cr、Zr、C、0、N元素并規(guī)定了含量要求，并刪除了Pb元素。按相同等級(jí)SM-Ru99.95,將雜質(zhì)元素Pt、Pd、Rh、lr、Si的含量由原來的0.005、0.005、0.003、0.008、0.01修改為0.003、0.003、0.002、0.003、0.001；3、本標(biāo)準(zhǔn)分為SMP-Ru99.95、SMP-Ru99.99、SMP-Ru99.995三個(gè)牌號(hào)，ASTM標(biāo)準(zhǔn)只有SM-Ru99.90、SM-Ru99.80兩個(gè)月卑號(hào)，有色行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)只有SM-Ru99.95、SM-Ru99.90兩個(gè)牌號(hào)。4、本標(biāo)準(zhǔn)與ASTM、有色行業(yè)的釘粉標(biāo)準(zhǔn)以及企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制備釘靶用釘粉相比較，增加了粉

8、末粒度分布的要求，同時(shí)也增加了粉末振實(shí)密度的要求。5、本標(biāo)準(zhǔn)中所分析的雜質(zhì)元素是根據(jù)客戶長(zhǎng)期使用過程中總結(jié)出來的容易對(duì)濺射薄膜品質(zhì)造成影響的，需要在原料中嚴(yán)格控制的雜質(zhì)元素。6、本標(biāo)準(zhǔn)附錄分析方法為本公司長(zhǎng)期使用，成熟穩(wěn)定。六、標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施的建議建議該標(biāo)準(zhǔn)為推薦性有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)七、參考資料清單ASTMB717-96StandardSpecificationforRefinedRutheniumYS/T682-2008年丁粉GB/T23275-2009釘粉化學(xué)成分分析方法-鉛、鐵、鋁、銅、銀、金、鉗、缽、短、錯(cuò)、硅量的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法YS/T895-2013高純銖化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法HB5220.3-2008高溫合金化學(xué)分析