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機電一體化信息科學(xué)機械學(xué)電子學(xué)SKXT-1200銑鏜鉆機床 傳 動系統(tǒng)圖m=3 z=46m=3 z=23m=3 z=58p=12p=12m=3 z=55d=37變頻調(diào)速電機d=71m=3 z=2388m=3 z=25 m=3 z=48交流伺服電機交流伺服電機8m=3 z=25 m=3 z=488交流伺服電機回轉(zhuǎn)工作臺m=3 z=46 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)。MEMS主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。
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