特殊氣體管路施工規(guī)范ppt課件

特殊氣體管路暨高潔淨(jìng)度管路 施工規(guī)範(fàn) 2 目錄 1 無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn) P32 pipinginstallation管路架設(shè) P83 彎管作業(yè)規(guī)範(fàn) P174 熔接規(guī)範(fàn) P245 測(cè)試規(guī)範(fàn) P286 工安規(guī)範(fàn) P367 監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則 P39 3 無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn) 1 一般清潔區(qū)工作條件 廠務(wù)機(jī)房 1 進(jìn)入工作區(qū)前 鞋子必須清理乾淨(jìng) 2 最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方 3 有規(guī)則的存放材料 4 禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙 吃東西 喝飲料 5 所有工作區(qū)必須有垃圾筒 收集廢料等東西 6 材料人員進(jìn)出必須清潔一次 7 所有人員及設(shè)備每週必須清潔一次 8 產(chǎn)生污染的工作必須個(gè)隔離 噴漆 磨砂輪機(jī)等 2 非常乾淨(jìng)區(qū)工作條件 潔淨(jìng)室地下回風(fēng)區(qū) 1 必須換穿專用的鞋子或鞋套 2 使用真空吸塵器清除髒東西 3 有規(guī)則的存放材料 4 4 禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙 吃東西 喝飲料 5 所有使用過的材料 殘餘剩料等必須每日清除 6 所有工作區(qū)內(nèi)必須有密封式垃圾筒 收集廢料等東西 7 材料人員進(jìn)出必須管制 8 所有人員及設(shè)備每週必須清潔一次 9 產(chǎn)生污染的工作必須隔離 如噴漆 磨砂輪機(jī)等 10 進(jìn)出工作區(qū)內(nèi)的全部材料必須清理乾淨(jìng) 才可進(jìn)入 11 所有工作區(qū)必須換穿乾淨(jìng)工作服 12 工作區(qū)的管線設(shè)備禁止勾攀 踐踏 吊掛東西 3 絕對(duì)乾淨(jìng)區(qū)工作條件 潔淨(jìng)室生產(chǎn)區(qū) 1 必須換穿無(wú)塵專用的鞋子或鞋套 2 使用中央系統(tǒng)真空或特別過濾裝置的手提真空吸塵器清除作業(yè)時(shí)產(chǎn)生的金屬等粉屑 3 有規(guī)則的存放使用材料 4 禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙 吃東西 喝飲料 5 所有使用過的材料 殘餘剩料等必須每日清除 5 6 所工作區(qū)內(nèi)須有密封式垃圾筒 收集廢料東西 7 材料人員進(jìn)出必須管制 8 所有工作人員及業(yè)主人員每日必須清潔乾淨(jìng) 9 產(chǎn)生污染的工作必須於進(jìn)入無(wú)塵室前完成 10 進(jìn)入工作區(qū)內(nèi)的全部材料和工具必須用水清洗乾淨(jìng) 才可進(jìn)入 11 除入無(wú)塵室應(yīng)換穿無(wú)塵依及尼龍手套外 餘均應(yīng)穿著乾淨(jìng)之工作服 12 禁止木質(zhì)或瓦愣紙材料所做的紙箱進(jìn)入無(wú)塵室 13 禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物 14 含有油品的工具禁止攜入 4 清淨(jìng)室施工安全規(guī)則 1 指定專人辦理安全事宜 2 勿雇用童工 3 工作區(qū)域內(nèi)禁止抽煙 4 必須準(zhǔn)備安全眼鏡 5 在清潔室須戴安全帽 特別是有震動(dòng)時(shí) 6 任何時(shí)間內(nèi) 均不得堵塞通道及出入口 6 7 在工作區(qū)域工作 必須保持乾淨(jìng) 如有產(chǎn)生垃圾 必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾袋 於每日收工時(shí)攜出清淨(jìng)室 8 如有意外發(fā)生 須立刻告知監(jiān)工 9 特殊危險(xiǎn)工作區(qū) 須有安全圍籬及警告標(biāo)誌 10 地板開口處 須有安全圍籬及警告標(biāo)誌 以防止人員掉入 11 須備有滅火器以防火災(zāi) 12 滅火器僅可使用泡沫滅火器 不可使用乾粉滅火器 13 工作架在超出地面2M以上時(shí) 須使用鷹架 人員須繫安全帶 索 14 鷹架 樓梯及工具 須保持良好狀況 15 在超出地面2M以上時(shí) 工具須放置工具袋 箱 內(nèi) 16 同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí) 須有良好之連繫 17 在工作區(qū)域工作 必須保持乾淨(jìng) 如有產(chǎn)生垃圾 必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾袋 於每日收工時(shí)攜出清淨(jìng)室 18 如有意外發(fā)生 須立刻告知監(jiān)工 19 特殊危險(xiǎn)工作區(qū) 須有安全圍籬及警告標(biāo)誌 20 地板開口處 須有安全圍籬及警告標(biāo)誌 以防止人員掉入 7 21 須備有滅火器以防火災(zāi) 22 滅火器僅可使用泡沫滅火器 不可使用乾粉滅火器 23 工作架在超出地面2M以上時(shí) 須使用鷹架 人員須繫安全帶 索 24 鷹架 樓梯及工具 須保持良好狀況 25 在超出地面2M以上時(shí) 工具須放置工具袋 箱 內(nèi) 26 同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí) 須有良好之連繫 27 易燃物品如無(wú)人照料 不可置放於工作區(qū)域內(nèi) 28 化學(xué)物品如有洩漏 必須馬上處理 29 易燃物品須放置於有蓋容器內(nèi) 30 任何閥 開關(guān)插座 電源插座 不可隨意開 關(guān) 拔除 機(jī)臺(tái)管線 31 任何配管配線 材料 非經(jīng)過監(jiān)工人員同意 不可擅自任意更改 8 Pipinginstallation管路架設(shè) 在無(wú)塵室或簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室執(zhí)行高潔淨(jìng)度配管工作時(shí) 必須遵循下列的規(guī)定 1 現(xiàn)場(chǎng)工作規(guī)定 攜入材料必須置於特定的貯藏間 在工地現(xiàn)場(chǎng)或在材料間要提供暫時(shí)性的簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室 所有材料要存放整齊 在存放材料時(shí) 有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開 在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開直到現(xiàn)埸要使用時(shí)方可打開 並且不要將材料直接放在地上 切管切管時(shí) 使用的自動(dòng)切割機(jī)或手動(dòng)切管器必須是專門為半導(dǎo)體廠工作所設(shè)計(jì)的 切管器的刀片與管件成垂直方向 當(dāng)使用自動(dòng)切割機(jī)時(shí) 放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷 藉以防止切割時(shí)的碎屑進(jìn)入管內(nèi) 9 倒角原則上 在使用倒角機(jī) TUBESIZE用 或銼刀 PIPESIZE用 時(shí) 小心地移開切割面 如果切割面歪斜未成垂直 焊口鬆或管子彎曲等狀況發(fā)生時(shí) 這種管路是不合規(guī)定 必須重新切割及配置 當(dāng)?shù)菇菚r(shí) 在管的另一端必須用高潔淨(jìng)度的氮?dú)鉀_吹 氮?dú)庖?jīng)0 02um的過濾器過濾 N2沖吹將管內(nèi)的微粒沖吹出來 工作後的清潔檢視切割機(jī)的潔淨(jìng)度 保持機(jī)具不受油污 如果仍然看得見有油污或切割的碎屑?xì)堭N 按照下列的方法清潔之 用GN2沖吹使用的N2必須經(jīng) 80 或更低的露點(diǎn) 經(jīng)0 02um的過濾器乾燥 預(yù)製工作 在簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室cleanbooth 在現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作降至最低量是必需的 配管區(qū)必須在有潔淨(jìng)氣的地方 在工作時(shí)維持風(fēng)扇正常運(yùn)轉(zhuǎn) 於早 中 晚用CO2檢視器檢查CO2的濃度 10 點(diǎn)焊點(diǎn)焊使用TIG焊接 點(diǎn)焊的點(diǎn)數(shù)按照下列規(guī)定 CAJON的焊機(jī)必需保証管子確實(shí)牢固 從完成的觀點(diǎn)來看 最好不要使用手動(dòng)的TIG焊接 因此點(diǎn)焊被省略 3 4 到15A到80A 3 4點(diǎn) 沖吹氣體 Backsealgas 使用氬氣 露點(diǎn) 80 或更低 氧含量在0 1ppm以下 微粒 0 1um以上 含量為零 沖吹用管套連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路 使用 Backsealjig 如圖 一 所示 圖 一 參考用 11 架設(shè)程序 圖二 將工作管路兩端套上管套 連接沖吹氣體及閥 圖 二 12 裝封 在Cleanbooth內(nèi)進(jìn)行 完成焊接之後 在管內(nèi)充滿Ar氣 而且用無(wú)塵的塑膠紙?jiān)谀┒税鼉蓪?如果末端的閥已經(jīng)連接好了 把閥也用塑膠紙裹起來 2 現(xiàn)場(chǎng)施工現(xiàn)埸焊接的人員必須有受過高潔淨(jìng)度配管技術(shù)檢定通過 焊接工作 13 原封至現(xiàn)埸 先拆卸一端封套 並連接Backsealgas 拆卸要焊接端封套 並沖吹乾淨(jìng) 連接後將一端之Backsealgas拆掉使成出氣端 並開始焊接 管路維持條件即使焊接結(jié)束 也要維持小量的N2或Ar在管內(nèi)沖吹以防止空氣流入管內(nèi) 無(wú)論如何也要想辦法把管內(nèi)的空氣及微粒弄出來 如果無(wú)法繼續(xù)沖吹 焊機(jī)電源供給電源的電壓的變動(dòng) 對(duì)於管路焊接的品質(zhì)影響甚巨 使用自動(dòng)焊接機(jī)的電源必需使用特定的整流器 容許的電壓波動(dòng)AC100V 10 AC200V 10 在焊接進(jìn)行時(shí)電壓警報(bào)器一直監(jiān)視著電壓 如果電壓超過可容許的範(fàn)圍時(shí) 警報(bào)器就會(huì)發(fā)出聲音 3 其他注意事項(xiàng)下述的工作是在架設(shè)高潔淨(jìng)度的管路時(shí)必需要執(zhí)行的 14 控制氬氣沖吹 用壓力計(jì)或液位計(jì)察看尚餘有多少氬氣 看流量計(jì)的刻度檢查沖吹氣體的容量 使用採(cǎi)樣品閥從鋼瓶或氣體來源收集氬氣 測(cè)量氬氣純度確定露點(diǎn)是在 80 以下 殘餘氧氣低於0 1ppm 微粒含量為0 0 1um以上的微粒 在工作處測(cè)量架設(shè)管路末端的氬氣純度 確定露點(diǎn)在 70 以下殘餘氧氣低於2ppm 測(cè)量地點(diǎn)必須在監(jiān)工及焊接都同意的地方 前4項(xiàng)規(guī)定的工作前在每天開始工作由監(jiān)工或工作人員執(zhí)行以控制品質(zhì)符合要求 若氣體容量未達(dá)標(biāo)準(zhǔn) 通知監(jiān)工 暫停工作 但是沖吹必須持續(xù)進(jìn)行 或使用預(yù)留的LN2 當(dāng)要使用預(yù)留LN2時(shí) 必定要做分析供給氣體純度的工作 簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室 Cleanbooth 的潔淨(jìng)度的控制 在Cleanbooth內(nèi)測(cè)量焊接處的微粒數(shù)量 0 1um以上 不能超過100個(gè) c f class10000是用作貯藏用 class1000是組裝用 在正常使用中測(cè)量微粒的工作一天至少進(jìn)行1次 15 潔淨(jìng)衣物的管制 在Cleanbooth內(nèi)使用的潔淨(jìng)衣 潔淨(jìng)鞋 潔淨(jìng)手套及其他設(shè)備必需在使用前檢查其潔淨(jìng)度 使用的潔淨(jìng)衣物等 必需一個(gè)星期清洗一次 不論有否弄髒 潔淨(jìng)室依據(jù)潔淨(jìng)室人員管制規(guī)定的管制細(xì)則 所有的工作人員皆需致力於工作在一個(gè)高潔淨(jìng)空氣環(huán)境中 焊接狀況的檢查 由個(gè)人或監(jiān)工 當(dāng)自動(dòng)焊接機(jī)的工作條件改變時(shí) 必須確定焊接數(shù)據(jù)與工作條件一致 鎢棒的保養(yǎng)及管制 要時(shí)時(shí)注意鎢棒是否變形 磨鎢棒的工作必須是由監(jiān)工認(rèn)可之專業(yè)人員使用特定的設(shè)備來執(zhí)行 樣品製作及焊接條件的檢查 焊接者或監(jiān)工 每日早上在上工前要製作數(shù)個(gè)同樣大小的樣品 監(jiān)工切開樣品 檢查管內(nèi)部焊接情況 用目視確定焊接的地方?jīng)]有不規(guī)則的孔 裂縫 氣孔或沒有完全焊透等缺點(diǎn)存在 16 若有焊接缺陷發(fā)現(xiàn)時(shí) 檢查焊接條件 更換鎢棒 檢查沖吹氣體純度 品質(zhì)及沖吹的方法 直到結(jié)果令人滿意 方可進(jìn)行配管工作 樣品及焊接數(shù)據(jù)必須同時(shí)保存 4 要求 機(jī)器攜入及架設(shè) 從側(cè)邊帶入機(jī)器要在事先申請(qǐng)同意路線 並且使用的拖車放在特定的地方 在水泥地板上使用鐵錨類之固定機(jī)器 經(jīng)縱 橫的方向確定無(wú)誤後 固定機(jī)器 機(jī)器必須在地板的防塵油漆塗上之前裝上 管路標(biāo)記 至少每5M要有標(biāo)簽貼在管路上 標(biāo)明氣體名稱流向號(hào)碼 開 關(guān)顯示除了球閥外 所有的閥都要有開 關(guān)的標(biāo)示 17 彎管作業(yè)規(guī)範(fàn) 1 說明本項(xiàng)說明GasSystem作成時(shí) 如何使用手工具PIPEBENDER來進(jìn)行彎曲作業(yè) 主要對(duì)象SUS316BA管 外徑1 4 6 53 使用工具R1NO 394LEVER型TUBEBENDER 2 配管圖看法與管長(zhǎng)之決定配管圖尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之長(zhǎng)之謂 18 通常在配管分岐點(diǎn)實(shí)施熔接很多 茲以下圖表示之 至中心點(diǎn)之長(zhǎng)度約 3mm 1 4 OD 則3 15mm 3mm 約 5mm 3 8 OD 19 使用TUBEBENDER來加以彎曲之中心點(diǎn)大約彎曲15R與直角彎曲比較 配管全長(zhǎng)變短 亦即圖面上所配尺寸相加長(zhǎng)度比實(shí)際配管長(zhǎng)度長(zhǎng) 20 180度彎曲 R彎曲 每一彎曲 其SETBACK為14 6mm其計(jì)算如下 管長(zhǎng) 50 30 90 120 14 6 6 4 269mm 1 4 OD 又3 8 時(shí)R彎曲SetBack為23 6mm依上圖原理可得 50 30 90 120 23 6 10 5 255 9mm 3 8 OD 21 0 75度範(fàn)圍角度彎苗 其SetBack為0例如 其管長(zhǎng) 50 53 94 40 6 4 137 5其長(zhǎng)度差即所謂SetBack 在1 4 OD配管 每一彎曲可短小6 4mm 6 35mm 下面有1 4 3 8 各種埸合之SetBack之表 22 例 必要管長(zhǎng) 50 70 80 12 7 187 33mm2次彎曲SetBack因此準(zhǔn)備187 3mm長(zhǎng)度配管就可進(jìn)入作業(yè) 3 配管切割配管切割使用TubeCutter PipeCutter 工具RIDGIDNO 105 配管開始切割時(shí) 必須前後旋轉(zhuǎn)3 4次半周 使配管軸部方向不致造成直角 溝才開始進(jìn)行 配管之切斷處 事先用紅筆做記號(hào) 切割深度一次切割過深會(huì)使切口未能成立真圓 慢慢進(jìn)行 而把手旋轉(zhuǎn)角度保持約30度就可 切割完畢 管內(nèi)面產(chǎn)生突屑會(huì)致使內(nèi)徑縮小 須用銑面Cutter清除 最後用銑面Cutter將突屑 粉屑清除 4 配管彎曲作業(yè)應(yīng)注意之原則配管開始彎曲作業(yè)應(yīng)注意原則 比較圖面上兩端 由短方面先開始彎曲 將較短尺寸配管上作記號(hào) 此部份應(yīng)放在Bender左側(cè)Set之 時(shí)時(shí)檢查Bender之狀態(tài)是否會(huì)造成管子受傷或變形 兩端一方彎曲180度 R彎曲 時(shí) 必須從180度彎曲方向作業(yè) 這個(gè)時(shí)候R彎曲尺寸在配管上做記號(hào) 而將此處置在Bender左側(cè)予以Set之 23 5 尺寸固定 劃線器劃線方法 從配管量尺寸用普通量尺就可 再用紅鉛筆作記號(hào) 已施於彎曲一次的配管 則使用T型特別量尺 由配管中心劃線 實(shí)施90度以內(nèi)彎曲後再做第二次彎曲劃尺寸 依下列方法實(shí)行 6 熔接部份注意事項(xiàng) 使用ArgonArc分岐部份 使用專用冶具 並使用Bord板開孔 開孔後配管內(nèi)部產(chǎn)生突起屑 粉屑用Reamer工具清除 施行多數(shù)彎曲作業(yè)其中有熔接分岐時(shí) 彎曲作業(yè)中途須要有開孔或清除粉屑的作業(yè) 因?yàn)榈鹊綇澢鳂I(yè)完成後已經(jīng)沒有方法通進(jìn)開孔或清除粉屑作業(yè)之工具 24 熔接規(guī)範(fàn) 1 電源 1 使用Tester確認(rèn)電壓 2 使用220V的場(chǎng)合要確認(rèn)結(jié)線 3 使用110V電源時(shí) 為保護(hù)配線 要使用附有漏電Breaker之插座 4 接地線要用熔接機(jī)單獨(dú)使用者 2 氬氣 1 Argongas純度達(dá)99 999以上才予使用 2 原則上使用液化ArgonGas 3 熔接時(shí)氧化膜無(wú)法去除時(shí)要檢查Gas及輸氣管路 3 鎢Tungsten 1 研磨時(shí)不能偏頗 2 產(chǎn)生熔接聯(lián)珠或蛇行是鎢研偏所致 要重磨 研磨時(shí)使用研磨專用機(jī) 3 Taper角度請(qǐng)參考下記圖面 25 熔接產(chǎn)生Gap時(shí) 用GapGauge來修正 4 同心圓之確認(rèn) 1 確認(rèn)pipe規(guī)格及材料 然後參考Data表設(shè)定之 2 Set直管接住熔接機(jī)頭用Vis調(diào)整 3 Set短管用同心圓打圓圈確認(rèn)之 4 不是同心圓時(shí) 先考慮是否熔接機(jī)頭之焊接頭有歪曲就要更換Head 5 熔接條件確認(rèn) 1 使用BackSealedGas Purge30分程度 清除之流量為5l min 2 使用Date表確認(rèn)ArcGasSealedGas流量 並記入Data表 26 6 Test熔接 1 使用對(duì)焊熔接物做樣品熔接 製作CutSample 2 熔接面聯(lián)結(jié) 熔接程度 氧化膜產(chǎn)生程度都須確認(rèn) 3 確認(rèn)後 無(wú)問題才正式進(jìn)行熔接 4 為防止表面氧化用噴槍ArGas 7 熔接作業(yè)重要事項(xiàng) 1 防止中心點(diǎn)偏移 鎢與熔接面位置 鎢之研磨角度未出來 2 熔接聯(lián)珠不均 切割面90度未出來 切割面有突起物 鎢的消秏 3 防止熔化不足 盡可能觀察熔接時(shí)之熔接內(nèi)面 4 防止過熔低陷 利用控制內(nèi)壓之專用治具 5 防止膨脹熔接作業(yè)前 再確認(rèn)熔接條件 6 熔接技術(shù)者 熔接完了後 確認(rèn)熔接部份 27 8 氧化膜除去作業(yè)基準(zhǔn) 1 氧化膜除去 使用StainlessBrushScotchBrush 2 使用StainBright除去作業(yè)後 充分用純水洗淨(jìng) 3 水洗後 用氮?dú)馇宄儆肐PA洗淨(jìng) 4 進(jìn)行除去作業(yè)時(shí) 配管末端用盲Cap套住 5 除去作業(yè)完成後 其外部用氮?dú)馇宄龎m埃 6 收尾工程 配管內(nèi)部用氮?dú)馇宄?清除用氮?dú)?通過0 05um以上 具有除去性能之Ceramic或StainlessFilter 並在8kg cm2的氮?dú)鈮毫ο聦⒐軆?nèi)清除 28 測(cè)試規(guī)範(fàn) 今依據(jù)各項(xiàng)執(zhí)行順序可分為七大部份 第一部份外觀之檢驗(yàn) 第二部份為管路的氣密試驗(yàn) 第三部份為管路流程的檢查 第四部份為HE測(cè)試 第五部份為微粒子測(cè)試 PARTICLE 第六部份為露點(diǎn)測(cè)試 第七部份含氧量測(cè)試 29 1 外觀檢驗(yàn) 半導(dǎo)體於管線組裝成後 須做管路之外觀檢驗(yàn) 其檢驗(yàn)項(xiàng)目為 所有管線是否依設(shè)計(jì)排列施工 並予標(biāo)示氣體種類 所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料 管線之焊接是否有角度不正 傾斜 歪曲 管線是否有污物殘留 管線是否有凹陷 龜裂等不良缺陷 2 管路氣密試驗(yàn) 在氣密試驗(yàn)中 所採(cǎi)用測(cè)試方法均是採(cǎi)用通入高於各管路正常使用壓力的1 1倍氣體或1 5倍水的壓力於管路中 再觀察已安裝好之壓力計(jì) 判斷其是否有漏氣現(xiàn)象 但有些的管路受限於二段式的壓力調(diào)節(jié)計(jì) 需另安裝壓力計(jì) 並由管路末端處灌壓方式 當(dāng)氣密試驗(yàn)中 任一管路有了漏氣現(xiàn)象 就必須進(jìn)行查漏步驟 一般而言 在管路的查漏均均是採(cǎi)用snoop對(duì)漏氣管路所有接點(diǎn)作泡沬測(cè)試 foamingtesting 其可偵測(cè)漏氣率約為1 10 4atmcc sec 30 但是有一點(diǎn)必須注意是當(dāng)壓力計(jì)上有明顯變化時(shí)其漏氣已達(dá)1 10 4atmcc sec的標(biāo)準(zhǔn)以上 故使用snoop查漏是相當(dāng)可靠 當(dāng)然能有更精密儀器測(cè)是最好的方式 但是精密測(cè)漏儀器使用較為不便 若對(duì)寬廣空間當(dāng)然沒有問題 但對(duì)狹窄及較高地點(diǎn)便不能安裝 所以目前為止查漏必須有系統(tǒng)規(guī)劃執(zhí)行 否再有精密儀器也找不出漏氣處 就以GN2管路查漏為例 就可證明確實(shí)是如此 3 壓力及氣密之檢驗(yàn)方法 1 使用0 01um過濾器過濾的氮?dú)饣驈S內(nèi)PN2系統(tǒng)做壓力測(cè)試 2 壓力測(cè)試時(shí)所需壓力大小及加壓時(shí)間 設(shè)計(jì)值如附表所示 3 管路充入規(guī)定的壓力氣體後 檢查所有被聯(lián)接和焊接的部份 並用試漏液做探漏 維持管內(nèi)充有壓力並做記錄 4 記錄任何被發(fā)現(xiàn)的異常點(diǎn) 5 記錄使用中的壓力錶讀得有關(guān)資料 6 從完成壓力測(cè)試開始做氣密測(cè)試 設(shè)計(jì)值 時(shí)間如附表 31 7 做次測(cè)試時(shí) 首先計(jì)值充入管線中以10分鐘或更久些 然後才開始做記錄 以避免產(chǎn)生誤差 8 做氣密記錄測(cè)試時(shí) 必須使用讀出型壓力計(jì)做資料記錄 在規(guī)定的壓力和規(guī)定的保持時(shí)間後 管線上的壓力沒有顯示下降 亦即從試壓開始測(cè)試的壓力和完成測(cè)試時(shí)的室溫亦不同時(shí) 無(wú)論如 必須使下列式子做溫度係數(shù)的校正 來決定測(cè)試完成時(shí) 壓力錶所獲得之?dāng)?shù)值能保持在開始時(shí)所記錄的98 以上 則此測(cè)試值被認(rèn)可為通過測(cè)試 9 未接受試壓部份 如安全閥 控制閥 壓力計(jì)等 均應(yīng)接受氣密試驗(yàn) 氣密試驗(yàn)的壓力以不超過該組件的最大許可操作壓為限 32 4 氣體管路流程檢查此項(xiàng)目之測(cè)試依下列步驟為之 1 將所有氣體管路的末端閥打開 2 列出 各種特殊氣體管路應(yīng)到遠(yuǎn)的末端閥的歸納表 關(guān)閉所試特殊氣體管路的末端閥 3 由所欲測(cè)特殊氣體以N2充壓該管路至一定壓力 並觀察五分鐘 視壓力計(jì)是否有下降現(xiàn)象 4 若壓力計(jì)無(wú)下降 即代表管路無(wú)錯(cuò)接現(xiàn)象 若無(wú)下降現(xiàn)象打開欲測(cè)特氣體管路末端閥 判斷壓力計(jì)是否會(huì)下降至零 若降至零代表壓力計(jì)無(wú)問題 5 測(cè)漏檢驗(yàn) 1 特殊氣體配管 管做完上述測(cè)試後將管路抽真空 以HE氣做測(cè)漏率的測(cè)試 2 本公司使用為BALZERHLT160HELIUMLEAKDETECTOR設(shè)備 3 本公司設(shè)備測(cè)漏率可達(dá)到 1 10 11atm cc sec 33 4 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)1 10 8mBarL S 2 10 9atm cc secInboard或業(yè)主規(guī)定 5 本公司有支援設(shè)備相同機(jī)型的提供廠商 漢疆股份有限公司 操作說明及注意事項(xiàng) 1 在開機(jī)前 應(yīng)先平穩(wěn)放置不得傾斜 2 開機(jī)後 不得隨意移動(dòng) 3 關(guān)機(jī)後 必須聽到VENT氣聲或3 5分鐘後 方可移動(dòng)或重新開機(jī) 4 在開機(jī)前 須確定電壓是否正確 110V 220V 5 電壓頻率選擇於60HZ 6 本機(jī)係屬於精密電子儀器 故必須使用有接地的插頭 34 6 微氧分析 測(cè)試程序注意事項(xiàng) a 使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過純化器濾過氮?dú)饣蛲燃兌戎畾怏w a 微氧分析儀開機(jī)後 必須熱機(jī)20分鐘才可銜接管路測(cè)試 a 將測(cè)試管路或盤面進(jìn)氣孔接上氣源 b 將測(cè)試管路盤面上 所有閥件全部打開 c 使用設(shè)計(jì)壓力之氣源來Purge所要測(cè)試之管路 d 此Purge程序需維持30分鐘以上 a 氣體於接上設(shè)備前必須將銜接測(cè)試管路Purge5分鐘 b 經(jīng)過Purge的銜接測(cè)試管路 銜接上微氧分析測(cè)試儀後 打開微氧分析儀後 打開微氧分析儀電源進(jìn)行測(cè)試 c 測(cè)試時(shí)依微氧分析儀測(cè)試數(shù)值的狀況 同時(shí)進(jìn)行測(cè)試與Purge直到測(cè)試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值 50PPB 以下 才合格 a 需測(cè)試姞果記錄於微氧分析測(cè)試記錄表 以作日後追溯與識(shí)別用的 35 7 水份分析 測(cè)試程序注意事項(xiàng) a 使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過純化器濾過氮?dú)饣蛲燃兌戎畾怏w a 將測(cè)試管路或盤面進(jìn)氣孔接上氣源 將測(cè)試管路或盤面所有 所有閥件全部打開 b 使用設(shè)計(jì)壓力氣源來Purge測(cè)試之盤面管路 c 此Purge程序需維持30分鐘以上 a 氣體管路於銜接水份分析儀SENSOR前 必須將銜接測(cè)試管路Purge5分鐘 讓銜接測(cè)試管路內(nèi)之水份隨Purge氣體流出 b 並聯(lián)氣體管路之出氣口至水份分析儀SENSOR樣品取樣進(jìn)氣口 注意 氣體管路之出氣口銜接水份分析儀SENSOR時(shí) Purge氣體必須在流通的狀況下 且水份分析儀必須在開機(jī)的狀況下 c 測(cè)試時(shí)依水份分析儀測(cè)試數(shù)值的狀況 同時(shí)進(jìn)行測(cè)試與Purge直到水份分析儀測(cè)試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值 10PPB 以下 a 需將測(cè)試結(jié)果記錄於水份分析測(cè)試記錄表上 以作日後追溯與識(shí)別用 36 工安規(guī)範(fàn) 一般守則 a 請(qǐng)於施工前五天向工安部申請(qǐng)施工許可 b 不可將逃指示燈及緊急照明燈取下使用 c 工作中不可穿拖鞋 高跟鞋及赤腳 d 遇停電時(shí) 不得亂跑或喧嚷 應(yīng)先立於原地不動(dòng) 再依規(guī)定方法離開現(xiàn)埸 e 地上濺有油漬應(yīng)立即除去 f 電器開關(guān) 消防設(shè)施附近不可擺放物品 g 攀爬過程中禁止踐踏管線以免管線破裂 h 工作時(shí)要配戴個(gè)人必須之安全防護(hù)具 並選擇最安全之工作方法 i 各項(xiàng)作業(yè)應(yīng)依循標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序 不可擅自更改作業(yè)程序 j 對(duì)於施工環(huán)境認(rèn)知不足或工作執(zhí)行有困難 疑問時(shí)應(yīng)先請(qǐng)示工程監(jiān)督單位 k 施工許可 動(dòng)火許可單應(yīng)留置工作現(xiàn)場(chǎng)隨時(shí)備查 l 進(jìn)入廠區(qū)工作應(yīng)配戴工作證m 進(jìn)入無(wú)塵室內(nèi)應(yīng)依工程監(jiān)督單位穿戴潔淨(jìng)服 在FAB一樓應(yīng)穿鞋套 37 1 吊裝作業(yè)注意事項(xiàng)a 工作區(qū)域應(yīng)標(biāo)示禁止人員通過 並有專人在現(xiàn)場(chǎng)指揮作業(yè) b 吊掛作業(yè)人員應(yīng)具法定合格執(zhí)照 c 作業(yè)前應(yīng)對(duì)吊索 吊鍊 吊環(huán) 吊鉤等進(jìn)行檢查 確定正常方可開始作業(yè) d 起吊物不得越過人員上方 e 起吊物不可超過負(fù)載 f 吊鉤應(yīng)盡量移掛於起重物重心之上 g 不可以單索吊等不穩(wěn)定方法起吊 h 起吊長(zhǎng)形物或不安定物料時(shí) 應(yīng)使用導(dǎo)引索 並以安全的方法操作 2 高空作業(yè)注意事項(xiàng)a 高處作業(yè)應(yīng)使用安全帶 安全索 安全鞋 安全帽及其它必需之安全防護(hù)具 b 高處作業(yè)應(yīng)防止工具 材料落下傷人 c 不可將兩架梯連接當(dāng)長(zhǎng)梯使用 d 上下梯子應(yīng)面向梯子 以雙手扶梯 e 梯子應(yīng)避免置於入口 否則門應(yīng)加鎖 f 金屬梯不可靠近電氣設(shè)施以防止漏電 38 g 使用架空板 鷹架及梯子應(yīng)先檢查確定安全後方可使用 h 遇有大雨等惡劣天候應(yīng)停止工作 i 施工區(qū)域應(yīng)作標(biāo)示 並注意地面行人安全 3 動(dòng)火作業(yè)注意事項(xiàng)a 需於施工前三天向工安部申請(qǐng)動(dòng)火許可 b 應(yīng)於施工現(xiàn)場(chǎng)備妥滅火器方可正式動(dòng)火 c 搬運(yùn)電焊機(jī)應(yīng)切斷電源 d 在高處電焊時(shí)應(yīng)設(shè)置防制他人從下方通過 e 不得在易燃易爆物附進(jìn)近從事電焊作業(yè) f 在潮濕地點(diǎn)從事電焊作業(yè)時(shí) 應(yīng)穿著絕緣良好之安全鞋 g 應(yīng)穿著防護(hù)衣 手套及護(hù)目鏡 h 搬運(yùn)氣體鋼瓶應(yīng)將瓶閥關(guān)閉 並用鐵鍊條繫牢 嚴(yán)禁棄置地面 i 按照正常程操作 防止回火現(xiàn)象 j 所有動(dòng)火作須已具廠商動(dòng)火作業(yè)令核可後始可施工 k 電焊機(jī)應(yīng)接地 但不得搭接在機(jī)械設(shè)備 欄桿或鐵梯上 l 嚴(yán)禁在高壓氣體容器上打火 m 電焊作業(yè)應(yīng)遠(yuǎn)離高壓設(shè)備 39 監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則 監(jiān)工人員主要工作 監(jiān)督 協(xié)調(diào)與配合以期 確實(shí)掌握進(jìn)度 及 確保工程品質(zhì) 1 準(zhǔn)備工作 1 提出購(gòu)料 進(jìn)料之進(jìn)度表 2 準(zhǔn)備進(jìn)場(chǎng)人力物力之協(xié)調(diào)造冊(cè)送業(yè)主審核 3 協(xié)調(diào)施工場(chǎng)