GB/T 33838-2017微束分析掃描電子顯微術(shù)圖像銳度評(píng)估方法

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)

圖像銳度評(píng)估方法

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—

Methodsofevaluatingimagesharpness

(ISO/TS24597:2011,IDT)

2017-05-31發(fā)布2018-04-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

獲取圖像的步驟

4SEM…………………2

概述

4.1…………………2

試樣

4.2…………………2

試樣傾斜

4.3……………2

視場(chǎng)選擇

4.4……………2

像素大小選擇

4.5………………………3

圖像亮度和襯度

4.6……………………4

圖像襯噪比

4.7…………………………4

圖像聚焦和像散

4.8……………………6

外部因素干擾

4.9………………………6

錯(cuò)誤襯度

4.10……………6

圖像數(shù)據(jù)文件

4.11SEM………………6

圖像獲取及圖像區(qū)域選擇

5SEM…………6

評(píng)估方法

6…………………6

概述

6.1…………………6

襯噪比

6.2………………7

傅立葉變換法

6.3(FT)…………………7

襯度梯度法

6.4-(CG)…………………10

導(dǎo)數(shù)法

6.5(DR)………………………12

測(cè)試報(bào)告

7…………………14

概述

7.1…………………14

測(cè)試報(bào)告內(nèi)容

7.2………………………14

附錄規(guī)范性附錄襯噪比細(xì)節(jié)

A()(CNR)………………15

附錄規(guī)范性附錄傅立葉變換法細(xì)節(jié)

B()(FT)………19

附錄規(guī)范性附錄襯度梯度法細(xì)節(jié)

C()-(CG)…………32

附錄規(guī)范性附錄導(dǎo)數(shù)法細(xì)節(jié)

D()(DR)………………42

附錄資料性附錄評(píng)估圖像銳度的背景

E()……………59

附錄資料性附錄各種評(píng)估方法的特征和適用性

F()…………………63

附錄資料性附錄用于評(píng)估圖像銳度的試樣的制備方法

G()…………66

附錄資料性附錄測(cè)試報(bào)告示例

H()……………………68

參考文獻(xiàn)

……………………70

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用微束分析掃描電子顯微術(shù)圖像銳度評(píng)估方

ISO/TS24597:2011《

法

》。

與本標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)范性引用的國(guó)際文件有一致性對(duì)應(yīng)關(guān)系的我國(guó)文件如下

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)術(shù)語(yǔ)

———GB/T21636—2008(ISO22493:2008,IDT)。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人丁澤軍阮矚

:、。

Ⅰ

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)

圖像銳度評(píng)估方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于評(píng)估掃描電子顯微鏡生成的數(shù)字圖像銳度的種方法傅立葉變換

(SEM)3:(FT)

法襯度梯度法導(dǎo)數(shù)法

、-(CG)、(DR)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測(cè)和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

GB/T27788—2011(ISO16700:2004,IDT)

微束分析掃描電子顯微術(shù)術(shù)語(yǔ)

ISO22493(Microbeamanalysis-Scanningelectronmicro-

scopy—Vocabulary)

3術(shù)語(yǔ)和定義

和界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T27788—2011ISO22493。

31

.

像素pixel

數(shù)字圖像中不可再分的最小成像單位

SEM。

32

.

像素大小pixelsize

圖像中單位像素的試樣長(zhǎng)度單位納米

SEM,