LCD檢查WX40微分干涉檢查顯微鏡

1、性能特點(diǎn) l  用途 1）WX40系列為最新型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查 2）WX40系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺設(shè)計，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查  l  特點(diǎn) 1）WX40系列，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美  2）WX40系列機(jī)型采用全新設(shè)計的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長壽命LED光源 3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗需要，可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察   技術(shù)參數(shù) （以下參數(shù)根據(jù)客戶實(shí)際需求配置） 配&

2、#160;   置參    數(shù)光學(xué)系統(tǒng)無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)觀察方法明場 / 斜照明 / 偏振光 / DIC觀 察 筒30°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或50：50目    鏡PL10X/22平場高眼點(diǎn)目鏡轉(zhuǎn) 換 器5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽物    鏡無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡5X      LMPL5X /0.15       &

3、#160;     WD10.8mm無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡10X    LMPL10X/0.30            WD10mm無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡20X    LMPL20X/0.45            WD4mm無限遠(yuǎn)長工作距平場半復(fù)消金相物鏡50X  &

4、#160; LMPLFL50X/0.55        WD7.9mm無限遠(yuǎn)長工作距平場半復(fù)消金相物鏡100X  LMPLFL100X/0.80      WD2.1mm調(diào)焦機(jī)構(gòu)粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出載 物 臺4寸雙層機(jī)械移動平臺，行程105X105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪6寸三層機(jī)械移動平臺，行程158X158mm，玻璃工作臺，右手位X、Y移動手輪，帶離合器手柄，可快速移動（選配）另可選配：8寸移動平臺照明系統(tǒng)反射：帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；透射：單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；帶可變孔徑光闌可選配鹵素光源照明偏光附件檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路CTV接口1X、1/2X