車間ESD管理程序

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上 版本修訂歷史記錄版本號(hào)修訂內(nèi)容修訂時(shí)間1.0第一次下發(fā)2009年06月21日                              起草 : 日期 : 審核 : 日期 : 批準(zhǔn) : 日期 :1.0目的 以防止靜電破壞電子組件及產(chǎn)品，保證產(chǎn)品之品質(zhì)良好，提高產(chǎn)品之壽命及

2、可靠性為目的。2.0適用范圍 適用于本公司內(nèi)所有產(chǎn)品物料之采購(gòu)、驗(yàn)收、儲(chǔ)存、搬運(yùn)、加工、包裝及生產(chǎn)裝配、產(chǎn)品測(cè)試等全過(guò)程。3.0 名詞定義3.1 ESD (Electro Static Discharge) 主要是指兩個(gè)帶有不同靜電電位之物體，當(dāng)它們接近并能夠發(fā)生電荷傳送，由于電荷的傳送產(chǎn)生了電流，使器件損壞或造成壽命上的傷害，一般稱為靜電泄放或簡(jiǎn)稱ESD。3.2 SSD (Static Sensitive Device): 凡對(duì)靜電敏感的電子元器件一般稱為靜電敏感元器件或簡(jiǎn)稱SSD。4.0 職能分工 4.1 ME指導(dǎo)ESD設(shè)備、設(shè)施的主要設(shè)置項(xiàng)目做維護(hù)、點(diǎn)檢。 4.2 各制程操作人員每天對(duì)工

3、作臺(tái)面的接地線是否連接良好做點(diǎn)檢。 4.3 IPQC負(fù)責(zé)依據(jù)車間ESD稽核檢查表進(jìn)行ESD點(diǎn)檢稽核。 4.4 各職能部門(mén)負(fù)責(zé)按ESD控制文件要求實(shí)施。5.0 參考文件 ESD控制國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)6.0程序說(shuō)明 6.1 ESD保護(hù)由設(shè)計(jì)來(lái)源或零件供應(yīng)商提供組件及產(chǎn)品之防護(hù)等級(jí)。范圍涉及采購(gòu)、收料、儲(chǔ)存、運(yùn)送、制程、測(cè)試及可靠性實(shí)驗(yàn)。ME匯總ESD防護(hù)要求，相關(guān)環(huán)節(jié)必須嚴(yán)格按ESD控制要求規(guī)范作業(yè)。 6.2 采購(gòu)ESD 控制 6.2.1依據(jù)ME之規(guī)定，物料采購(gòu)按零件承認(rèn)書(shū)對(duì)SSD組件采購(gòu)時(shí)，須在采購(gòu)單注明ESD防護(hù)要求；其它ESD防護(hù)器材采購(gòu)時(shí)，須按ME測(cè)試工程師制定的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行采購(gòu)。 6.2.2 須向經(jīng)認(rèn)

4、可的ESD產(chǎn)品供貨商采購(gòu)，并保持最新的ESD認(rèn)可供應(yīng)商清單。 6.2.3 要求供貨商提供合乎規(guī)格之包裝、標(biāo)示及正確的發(fā)票。 6.3 收貨部門(mén)防ESD控制 6.3.1 依據(jù)采購(gòu)訂單，對(duì)ESD零件進(jìn)行清點(diǎn)驗(yàn)收，檢查是否有外包裝或(及)發(fā)票確認(rèn)為ESD組件。 6.3.2 ESD組件與非SSD應(yīng)分區(qū)堆放，并做顯著標(biāo)示。 6.3.3 檢查ESD組件的包裝與標(biāo)示是否正確。6.3.4 開(kāi)啟ESD組件包裝的區(qū)域應(yīng)配置適當(dāng)?shù)腅SD防護(hù)設(shè)備，如防靜電桌墊，ESD手環(huán)等。6.3.5 ESD防護(hù)器材收貨時(shí)除數(shù)量正確外，還應(yīng)對(duì)其ESD防護(hù)等級(jí)用專用的儀表進(jìn)行檢測(cè)，確定進(jìn)貨靜電防護(hù)等級(jí)與標(biāo)準(zhǔn)是否相符，禁止不合格ESD防護(hù)

5、產(chǎn)品進(jìn)入工廠。 6.4 進(jìn)料檢驗(yàn)(IQC)的ESD控制6.4.1 IQC需依零件承認(rèn)書(shū)上之要求進(jìn)行檢驗(yàn)，確認(rèn)靜電防護(hù)及標(biāo)示是否正確。6.4.2 IQC在做檢驗(yàn)時(shí)要求在靜電防護(hù)良好的區(qū)域(工作場(chǎng)所)進(jìn)行，須有ESD手環(huán)，ESD工作衣、手套、防靜電桌墊，工作桌須接靜電地。 6.4.3 檢驗(yàn)員需對(duì)不當(dāng)標(biāo)示或不當(dāng)包裝的組件，依不合格品處理程序執(zhí)行。 6.4.4 檢驗(yàn)員對(duì)防靜電氣泡袋、靜電桌面、靜電手套、周轉(zhuǎn)車、料箱、料盒等防靜電材料需按要求對(duì)其進(jìn)行靜電檢測(cè)，并如實(shí)在防靜電材料IQC檢驗(yàn)記錄表中記錄好檢測(cè)數(shù)據(jù)，如檢測(cè)到不良即依不合格品處理程序執(zhí)行。 6.5 零件材料儲(chǔ)存,暫存部門(mén)的ESD控制 6.5.1

6、 在倉(cāng)庫(kù)存放SSD須在存放區(qū)加以標(biāo)示清楚。 6.5.2 存放架要接地處理。 6.5.3 不可在存放區(qū)直接拆開(kāi)組件包裝，直接接觸組件須在有良好的靜電防護(hù)下方可接觸組件。 6.5.4 在存放區(qū)搬運(yùn)SSD須使用專用工具(防靜電車)，并使包裝完整。 6.5.5 物料周轉(zhuǎn)區(qū)須嚴(yán)格按材料存放區(qū)ESD控制規(guī)范進(jìn)行作業(yè)。 6.5.6 對(duì)磁帶/磁盤(pán)及其它軟件或資料儲(chǔ)存的媒體，應(yīng)裝在防靜電的包裝袋內(nèi)，并存放有明顯標(biāo)志且有良好接地的料架或柜內(nèi)，取放時(shí)應(yīng)佩戴好接地良好的防靜電環(huán)。 6.6 物料運(yùn)送ESD控制:6.6.1 對(duì)SSD須使用專用防護(hù)工具運(yùn)送。 6.6.2 搬運(yùn)人員須戴防靜電手套、防靜電腳環(huán)，穿防靜電衣、鞋等

7、。 6.6.3 運(yùn)送過(guò)程中須有正確ESD包裝。 6.6.4 依據(jù)物料運(yùn)送規(guī)范，不得使SSD材料相互碰撞、摩擦、堆棧。 6.7 制造過(guò)程中的ESD控制: 6.7.1 SSD加工區(qū)域，作業(yè)員須穿好防靜電衣、防靜電鞋，戴好靜電帽，戴好防靜電手環(huán)，并確保防靜電手環(huán)可靠接地，需走動(dòng)的工位作業(yè)員須戴好防靜電腳環(huán)；未做好靜電防護(hù)者不能接觸SSD；工作臺(tái)鋪防靜電桌墊，靜電接地良好，作業(yè)中正確使用防靜電各種工具。(如ESD電烙鐵，靜電排除裝置等)。6.7.2 對(duì)SSD加工中若須離開(kāi)原包裝，操作人員須做靜電防護(hù)，戴好接地良好靜電手環(huán)并于加工后放回原包裝或其它防靜電容器內(nèi)。6.7.3 SSD在組裝中，依據(jù)ME工藝工

8、程師作業(yè)指導(dǎo)書(shū)進(jìn)行特殊防護(hù)及使用其規(guī)定工具，并定期點(diǎn)檢其有效性。6.7.4 制程工作人員所使用的靜電環(huán)和防靜電鞋均需每天二次用“人體靜電綜合測(cè)試儀”加以測(cè)試，確認(rèn)功能正常，并作好記錄。詳見(jiàn)7.1 人體靜電綜合測(cè)試SOP及7.2靜電環(huán)與靜電鞋測(cè)試記錄表。6.7.5 定期對(duì)操作員工進(jìn)行使用ESD工具、設(shè)施及取用SSD程序的完整訓(xùn)練，并作記錄。 6.7.6 每個(gè)工作臺(tái)須有ESD防護(hù)料件(如袋、乳棉海綿、箱等)。 6.7.7 所有進(jìn)入車間人員，必須經(jīng)過(guò)ESD靜電鞋測(cè)試儀測(cè)試人體綜合阻值，通過(guò)方可進(jìn)入，否則一律不準(zhǔn)進(jìn)入車間，生產(chǎn)作業(yè)人員每天上班測(cè)一次防靜電鞋，以確定防靜電鞋的有效性，并做好記錄，詳見(jiàn)7.

9、1 人體靜電綜合測(cè)試SOP及7.2靜電環(huán)與靜電鞋測(cè)試記錄表。 6.7.8 做好每日的日常點(diǎn)檢工作,并將點(diǎn)檢情況記錄在靜電插座/卡扣線及靜電線末端點(diǎn)檢表中。6.8 IPQC稽核：6.8.1 IPQC須協(xié)助生產(chǎn)單位檢查作業(yè)員靜電防護(hù)措施是否正確及抽測(cè)各防靜電設(shè)施是否正常；6.8.2 IPQC依車間ESD稽核檢查表進(jìn)行ESD點(diǎn)檢稽核，并記錄好數(shù)據(jù);6.8.3 IPQC每日上班前監(jiān)督員工進(jìn)行靜電鞋和靜電手腕帶的測(cè)試. 6.9 生產(chǎn)測(cè)試及測(cè)試工程須使用ESD工作臺(tái)。 6.9.1 清除測(cè)試區(qū)內(nèi)靜電源。 6.9.2 定期檢查ESD設(shè)施，保證有效性。 6.9.3 SSD組件傳送至下一個(gè)工作區(qū)時(shí)，設(shè)有防護(hù)袋裝。

10、6.9.4 當(dāng)施加工作電壓時(shí)，設(shè)備接地應(yīng)良好。6.10 品管部ESD控制 6.10.1 定期審核各部門(mén)是否依照ESD控制程序進(jìn)行作業(yè)，定期進(jìn)行ESD點(diǎn)檢并做好記錄。6.10.2 定期審核供貨商是否符合ESD規(guī)定。6.10.3 ESD工作須經(jīng)QA檢驗(yàn)確認(rèn)。 6.10.4 定期審核ESD訓(xùn)練計(jì)劃，工程圖是否有正確的ESD警告條文或警告。 6.12 ME ESD控制:6.12.1 定期檢查及測(cè)試ESD設(shè)備設(shè)施是否完好、性能及可靠性,并將檢測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確填寫(xiě)至車間ESD電阻電壓點(diǎn)檢表中。6.12.2 依據(jù)設(shè)備保養(yǎng)和管理程序?qū)SD設(shè)備檢驗(yàn)測(cè)試、定期測(cè)試、校正并作好記錄ESD故障有關(guān)的資料須經(jīng)常維護(hù)，問(wèn)題范

11、圍與故障趨勢(shì)所需調(diào)查校正措施須向相關(guān)主管報(bào)告。 6.12.3 ME須測(cè)試SSD組件，以對(duì)它們的ESD敏感度進(jìn)行分類。 6.12.4 ME負(fù)責(zé)所有ESD測(cè)試項(xiàng)目之SOP及相關(guān)記錄表單的編寫(xiě)。 6.13 ESD點(diǎn)檢 6.13.1 點(diǎn)檢條件: 全部點(diǎn)檢均在生產(chǎn)場(chǎng)地內(nèi)進(jìn)行，環(huán)境溫度20-28， 相對(duì)濕度30%-65%。6.13.2 點(diǎn)檢儀器：表面阻抗測(cè)量?jī)x。 6.13.3 測(cè)試技術(shù)指標(biāo)見(jiàn)6.15。6.13.4 點(diǎn)檢項(xiàng)目&周期: 6.13.4.1 防靜電地板表面電阻 (次/月) 6.13.4.2防靜鞋與人體綜合阻值 (次/天) 6.13.4.3 ESD工作臺(tái)(臺(tái)墊)靜電電阻 (次/月)6.13.

12、4.4 防靜電母線接地電阻 (次/月)6.13.4.5 貨架靜電電阻 (次/月)6.13.4.6 料車臺(tái)面對(duì)車輪電阻 (次/月)6.13.4.7 周轉(zhuǎn)箱，零件料盒表面電阻 (次/月)6.13.4.8 工作服(工作帽，手套)表面電阻 (次/月，抽查)6.13.4.9 流水線傳送帶表面電阻 (次/月)6.13.4.10 防靜電手環(huán)連接電阻 (次/天)抽查項(xiàng)目抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查10個(gè)點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方案，且抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查20個(gè)點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方案，抽查結(jié)果須做好記錄，填寫(xiě)相應(yīng)表單。6.13.5點(diǎn)檢方法6.13.5.1表面電阻測(cè)試時(shí)，

13、對(duì)每車間靜電地板不得少于五點(diǎn)，接地電阻、傳送帶不得少于三點(diǎn)，周轉(zhuǎn)箱不少于三只，靜電鞋不少于三雙，靜電衣不少于10件，工作臺(tái)不少于三張。6.13.5.2 點(diǎn)檢周期: 見(jiàn)6.13.4。6.13.5.3該點(diǎn)檢方法根據(jù)中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(SJ/T10694-1996)電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法所制定。 6.14 ESD表面電阻測(cè)試&接地電阻測(cè)試 6.14.1 測(cè)試條件:全部測(cè)試均在場(chǎng)地內(nèi)進(jìn)行，環(huán)境溫度20 - 28，相對(duì)濕度30% -65%。 6.14.2 測(cè)試儀器:采用表面阻抗測(cè)量?jī)x，型號(hào):QUICK4996.14.3 測(cè)試技術(shù)指標(biāo)見(jiàn)6.15 6.14.4 測(cè)試項(xiàng)目 6.14.4

14、.1 防靜電地板 (次/月) 6.14.4.1.1 在鋪設(shè)地面上隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)。 6.14.4.1.2 測(cè)試地面對(duì)地級(jí)母線電阻。 6.14.4.1.3 測(cè)試地面表面電阻。6.14.4.1.4 測(cè)試步驟:測(cè)試時(shí)，將電極和被測(cè)物表面清潔，在電極下面加 一層濕濾紙墊，將正極接于被測(cè)物，負(fù)極接地，按下按鈕，讀出并記錄測(cè)量值。6.14.4.2 工作臺(tái) (次/月) 隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，不少于三張工作臺(tái)。 6.14.4.2.1測(cè)試工作臺(tái)面表面電阻。 6.14.4.2.2測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)手環(huán)插孔電阻。 6.14.4.2.3測(cè)試工作臺(tái)對(duì)地系統(tǒng)電阻。6.14.4.3綜合項(xiàng)目 6.14.4.3.1 測(cè)試鞋底體積電阻。 6

15、.14.4.3.2 測(cè)試工位器具及物流傳遞器具 6.14.4.3.3 測(cè)試容器表面電阻。 6.14.4.3.4 測(cè)試手環(huán)。 6.14.4.3.5測(cè)試手環(huán)連接電纜系統(tǒng)電阻。6.14.4.3.6測(cè)試防靜電鞋和人體綜合電阻。 6.14.4.4 具體操作參照相關(guān)ESD操作SOP。做相應(yīng)的記錄，填寫(xiě)7.3工作服(工作帽，手套)表面電阻點(diǎn)檢表和7.4車間ESD表面電阻電壓點(diǎn)檢表。6.14.5 本測(cè)試規(guī)范依據(jù)中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部SJ/T 10533、SJ/T 10630及SJ/T 10694標(biāo)準(zhǔn)，以及An American National Standard Approved August 4 1999-ANSI/ESD S20.20-1999標(biāo)準(zhǔn)制定。6.15 ESD相關(guān)測(cè)試技術(shù)指標(biāo)6.15.1 流水線防靜電輸送皮帶、工作臺(tái)墊表面電阻:106-1096.15.2流水線防靜電輸送皮帶，工作臺(tái)墊上任意儀一點(diǎn)對(duì)地電阻：106-1096.15.3防靜電線任意一點(diǎn)對(duì)地電阻 <