無塵室設(shè)計(jì)要求

1、半導(dǎo)體無塵室設(shè)計(jì)規(guī)范第一章 總則第 1 01 條 潔凈廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù) 先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。第 1 02 條 本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠房設(shè)計(jì)，但不適用 于以細(xì)菌為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī) 定，不適用于建筑高度超過 24 米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計(jì)。第 103 條 在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，潔凈廠房設(shè)計(jì)必須根 據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。第 1 04 條 潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修測試和安全運(yùn) 行創(chuàng)造必要的條

2、件。第 1 05 條 潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo) 準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。第二章 空氣潔凈度等級第 201 條 空氣潔凈度應(yīng)按表 201 規(guī)定劃分為四個(gè)等級?？諝鉂崈舳缺?20 1等級每立方米（每升）空氣中 >0.5微米塵粒數(shù)每立方米（每升）空氣中 >5微米塵粒數(shù)100 級< 35 X 1Q0B.5 )1000 級< 35 X 100(035)< 250( 0.25)10000 級< 35 X 100(0350)< 2500( 2.5 )100000 級< 35 X 1000003500)< 5000(25)注: 對于

3、空氣潔凈度為 100 級的潔凈室內(nèi)大于等于 5 微米塵粒的計(jì)數(shù)，應(yīng)進(jìn)行多次采 樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，方可認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的第 2 02 條 潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗(yàn)，應(yīng)以動態(tài)條件下測試的塵粒 數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。第三章 總體設(shè)計(jì)第一節(jié) 潔凈廠房位置選擇和總平面布置第 3 11 條 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比 較后確定：一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域；二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的 工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域，如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重 空氣污染源時(shí)，則應(yīng)位于其最大頻率

4、風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地區(qū)。第 312 條 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測定 周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進(jìn)行 分析比較。第 3 13 條 潔凈廠房最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時(shí)，潔凈廠房與煙囪之 間的水平距離不宜小于煙囪高度的 12 倍。第 314 條 潔凈廠房與交通干道之間的距離不宜小于 50 米。第 315 條 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道（可利用交通道路）。如有困難時(shí)，可沿廠房的兩個(gè)長邊設(shè)置消防車道。第 3 16 條 潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少

5、的材新。第 3 17 條 潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜骸⒎N植對大氣含塵濃度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)，但不得妨礙消防操作。第二節(jié) 工藝布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)第 3 21 條 工藝布置應(yīng)符合下列要求：一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有 空氣潔凈度等級要求的工序和工作室；二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空 氣調(diào)節(jié)機(jī)房；空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置；靠近潔凈區(qū)入口 處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室；三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)易產(chǎn)生污染的工藝設(shè) 備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置；四、應(yīng)考慮大型設(shè)

6、備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口；五、應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必 須進(jìn)行清潔處理。第 3 22 條 潔凈廠房內(nèi)宜少設(shè)隔間，但在下列情況下可予以分隔：一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間， 或有防火分隔要求者；二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強(qiáng)噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采 取局部措施加以控制者；三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。第 3 23 條 潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進(jìn)行分區(qū)布置。同時(shí)應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、 氣流組織型式、管線布置以

7、及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)效果。第 3 24 條 潔凈廠房設(shè)計(jì)必須合理確定各種管線的平面位置和堅(jiān)向標(biāo)高。第 3 25 條 潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施（如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等）的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求第三節(jié) 噪聲控制第 3 31 條 潔凈室內(nèi)的噪聲級，應(yīng)符合下列要求：一、動態(tài)測試時(shí)，潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70 分貝 A。二、空態(tài)測試時(shí)，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A;層流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于 65 分貝 A。注：由于技術(shù)經(jīng)濟(jì)條件限制，或噪聲大于70分貝A對生產(chǎn)無影響時(shí)，噪聲級可適當(dāng)放寬，但不宜大于 75 分貝 A;上述噪聲級是指在室內(nèi)每一個(gè)

8、工作點(diǎn)人耳位置（人離開）的測量值。對于變動噪聲，則取相同位置處在一個(gè)正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級。第 332 條 潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲壓級;各頻帶聲壓級值不宜大于表 332 的規(guī)定。噪聲頻譜限制 表332倍頻程中心頻高聲率潔凈壓值（赫）室分類 （分貝）63125 2505001000200040008000空態(tài)亂流79 706358 55525040層流83746863605755 54動態(tài)8778 726865 626059第 3 33 條 潔凈廠房的平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護(hù) 結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。第 3 34 條 潔凈室內(nèi)的各種

9、設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超 過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施（如隔聲間、隔聲罩等）。第 3 35 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、 隔振等控制措施。除事故排風(fēng)外，應(yīng)對潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。第 3 36 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級的要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜 按下列規(guī)定選用：一、總風(fēng)管為 6-10 米秒；二、無送、回風(fēng)口的文風(fēng)管為 68米/秒；三、有送、回風(fēng)口的文風(fēng)管為 36米/秒。第 337 條 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計(jì)必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要 求，不用因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。第四節(jié) 微振控制第 341 條 潔凈廠房和周圍輔

10、助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備（包括水泵 等）及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。第 342 條 對潔凈廠房內(nèi)外各類振源，應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動 影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對綜合振動影響進(jìn)行評價(jià)。并應(yīng)與精密設(shè)備、 精密儀器儀表的允許環(huán)境振動值進(jìn)行比較，以確定對其采取必要的田振措施。第 343 條 精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)塵量、 保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣彈簧隔振臺座時(shí)，應(yīng)對氣溫進(jìn) 行處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級。第四章 建筑第一節(jié) 一般規(guī)定第 411 條 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。潔 凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)

11、墻承重。第 412 條 潔凈室的高度以凈高控制，凈高應(yīng)以 100 毫基本模數(shù)。第 413 條 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)， 并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能（地震區(qū)應(yīng)符合抗震設(shè)計(jì)規(guī)定）。 廠房變形縫應(yīng)避免穿過潔凈區(qū)。第 414 條 送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾 道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。第 415 條 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其方案設(shè)計(jì)和構(gòu) 造的處理，應(yīng)避免在人流與物流運(yùn)輸以及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利影響。第二節(jié) 人員凈化和物料凈化設(shè)施第 421 條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和

12、設(shè)施，并應(yīng)根 據(jù)需要設(shè)置生活用室和其他用室。第 4 22 條 人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣 室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室， 可根據(jù)需要設(shè)置。第 4 23 條 人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：一、人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋器。二、存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按 設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜。三、盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。水龍頭應(yīng)按最大班人數(shù)每 10 人設(shè)一個(gè)。四、潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。五、空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔

13、凈工作服室相鄰。單人 空氣吹淋室按最大班人數(shù)每 30 人設(shè)一臺。當(dāng)僅為 100 級垂直層流潔凈室時(shí)，可改 設(shè)氣閘室。潔凈區(qū)工作人員超過 5 人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。第 4 24 條 人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。人員凈化用室和生活用室的布置， 一般按圖 424 的人員凈化程序進(jìn)行布置。第 4 25 條 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內(nèi)人 員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般可按潔凈區(qū)設(shè)計(jì)人數(shù)平均每 人46平方米計(jì)算。第 4 26 條 潔凈工作服室內(nèi)，對空氣凈化應(yīng)有一定的要求。第 4 27 條 潔凈室的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形 狀等待征設(shè)置物料凈

14、化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料 在傳遞過程中被污染。第三節(jié) 防火和疏散第 4 31 條 潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。吊頂材料應(yīng)為非燃燒體， 其耐火極限不宜小于 025 小時(shí)。第 4 32 條 潔凈廠房內(nèi)一般的生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，可按附錄三進(jìn) 行分類。第 433 條 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間最 大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為 3，000平方米，多層廠房應(yīng)為 2，000 平方米。第 4 34 條 甲、乙類生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈室， 其頂棚和壁板（包括內(nèi)部填充物）應(yīng)為非燃燒體。第 4 35 條 在一個(gè)防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔

15、凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域 之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1 小時(shí)，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于 0 6 小時(shí)。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙 應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。第 436 條 技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1 小時(shí)。井壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于 0 6 小時(shí)；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng) 采用相當(dāng)于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線 周圍空隙，應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。第 4 37 條 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出 口的數(shù)量，均不應(yīng)少于兩個(gè)。但符合下列要求者，可設(shè)置一個(gè)安全出口：一、甲、

16、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不用過 50 平方米，且同一時(shí)間內(nèi)的 生產(chǎn)人員總數(shù)不用過 5 人；二、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，符合國家現(xiàn)行的建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范的規(guī)定 者。安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不用經(jīng)過曲折的人員凈化 路線。第 4 38 條 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏 散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動門。第 4 39 條 當(dāng)潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗， 其洞口間距大于 80 米時(shí)，則應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。專用消防口的寬度不應(yīng)小于 750 毫米，高度不應(yīng)小于 1800 毫米，并應(yīng)有明顯 標(biāo)志

17、。樓層的專用消防口應(yīng)附設(shè)陽臺，并從二層起向上設(shè)爬樓。第四節(jié) 室內(nèi)裝修第 4 41 條 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保 溫層時(shí)。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。第 4 42 條 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除塵等要求；應(yīng)減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內(nèi)裝修宜采用 于操作；如為抹灰時(shí)，應(yīng)采用高級抹灰標(biāo)準(zhǔn)。第 4 43 條 潔凈室的地面，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。第 4 44 條 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術(shù)

18、夾層內(nèi) 更換高效空氣過濾器時(shí)，宜增刷涂料飾面。地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。 建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)與整個(gè)送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)，并 應(yīng)易于除塵。第 445 條 潔凈室和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗， 并應(yīng)有良好的氣密性。第 4 46 條 潔凈室內(nèi)的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔 凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。第 4 47 條 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙， 均應(yīng)采取可靠的密封措施。第 4 48 條 潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù)， 頂棚和墻面宜為 0 6 0 8；地面宜為 0 1

19、5-0 35。第五節(jié) 裝配式潔凈室第 4 51 條 在新建或改建的潔凈廠房設(shè)計(jì)中，對于面積不大、層高較低、 要求空氣潔凈度較高的生產(chǎn)環(huán)境可采用裝配式潔凈室。第 4 52 條 裝配式潔凈室所在的房間應(yīng)有空氣凈化要求，并應(yīng)與裝配式潔 凈室的空氣潔凈度等級相適應(yīng)。外圍建筑的耐火等級不得低于二級。第 4 53 條 裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內(nèi)壁板或支柱支承， 也可固定在外圍建筑上?；仫L(fēng)地溝或回風(fēng)地坑宜設(shè)在外圍建筑的地面以下。第 4 54 條 裝配式潔凈室設(shè)計(jì)應(yīng)滿足在該室室內(nèi)安裝壁板的要求。裝配 式潔凈室的構(gòu)配件應(yīng)做到：連接構(gòu)造的整體性強(qiáng)、氣密性好，并便于組裝、拆卸、 包裝和運(yùn)輸。第 4 55

20、 條 裝配式潔凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外 圍建筑的墻壁。緊貼時(shí)，壁板與墻壁之間的安裝縫隙應(yīng)封閉；靠近時(shí)，應(yīng)留有清 掃距離。當(dāng)裝配式潔凈室時(shí) , 壁板外側(cè)設(shè)有技術(shù)夾道時(shí)，壁板與外圍建筑內(nèi)墻面 之間凈寬不宜小于 600 毫米。第五章 空氣凈化第一節(jié) 一般規(guī)定第 5 11 條 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應(yīng)符合下列 要求：一、潔凈室內(nèi)有多種工序時(shí)，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔 凈度等級。二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組織，宜采用局部工作 區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。第 5 12 條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的

21、潔 凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。第 5 13 條 潔凈室內(nèi)的計(jì)算溫、濕度，應(yīng)符合下列規(guī)定：一、滿足生產(chǎn)工藝要求；二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時(shí)，潔凈室溫度為2026 'C,濕度小于70%;三、 人員凈化用室和生活用室溫度為16 28 Co第 514 條 潔凈室內(nèi)應(yīng)保證定的新鮮空氣量，其數(shù)值應(yīng)取下列風(fēng)量中 的最大值：一、亂流潔凈室后送風(fēng)量的 10 30%,層流潔凈室總送風(fēng)量的 24 %;二、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;三、保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40立方米。第 515 條 潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式 真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集

22、中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。第516條 在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，對施工和維護(hù)管理要求，可按 附錄四和附錄五的規(guī)定。第二節(jié) 潔凈室正壓控制第5. 2. 1條潔凈室必須維持一定的正壓。 不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū) 與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應(yīng)不小于 05毫米水柱;潔凈區(qū)與室外的靜壓差，不 應(yīng)小于1 . 0毫米水柱。第 522 條 潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計(jì)算：Q= a.刀(q L)(5. 2 . 2)式中 Q 一維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量(立方米時(shí))，a 一根據(jù)圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取ll l2;q 一當(dāng)潔凈室為某一正壓值時(shí)，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量

23、(立方米時(shí) ?米）；L 一圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙長度（米）。第 523 條 圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量可按表 523采用圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量表 5 23漏風(fēng)門窗量（形壓差米A3 式差（毫 /時(shí)米水柱）米）非密閉門密閉門單層固定密閉木窗當(dāng)層固定密閉鋼窗單層開啟式密閉鋼窗窗壁板0.51741.00.73.52.00.31.02461.51.04.53.00.61.53082.01.36.04.00.82.03692.51.57.05.01.02.540102.81.78.05.51.23.044113.01.98.56.01.43.548123.52.19.07.01.54.052133.8

24、2.310.07.51.74.555154.02.510.58.01.95.060164.42.611.59.02.0第 5 24 條 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時(shí)，聯(lián)鎖程傳遞序應(yīng)為先啟動送風(fēng)機(jī)，再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)，則聯(lián)鎖程序應(yīng)相反第 5 25 條 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求在置值班風(fēng)機(jī)， 并應(yīng)對新風(fēng)進(jìn)行處理。第三節(jié) 氣流組織和送風(fēng)量第 5 31 條 氣流組織的選擇，應(yīng)符合下列要求：一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求來。并應(yīng) 使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流向單一；二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔凈室下部；三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè)，不宜設(shè)在

25、潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。 第 532 條 潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量，宜按表 532 選用。 氣流組織和送風(fēng)量表 53 21空氣潔凈 度等級11I 100 級III11 11000 級 II1 11 1I氣流流型1I垂直層流1I水平層流1I亂流 I氣1HHH1流丨送鳳 丨1.頂棚滿布高效丨1.送風(fēng)墻滿布高丨1.孔板頂棚送風(fēng)I 組丨主要丨空氣過濾器送風(fēng)丨效空氣過濾器 丨2.條形布置高效|織丨方式 丨（高效空氣過 丨水平送風(fēng)丨空氣過濾器頂棚丨形丨丨濾器占頂棚面積丨2.送風(fēng)墻局部布丨送風(fēng)丨式丨丨不小于60%） I置高效空氣過濾丨3.間隔布置帶擴(kuò)丨III器水平送風(fēng)I散板高效空氣I2. 側(cè)布高效空氣丨（高效

26、空氣過濾丨過濾器頂棚送風(fēng)|過濾器，頂棚設(shè)丨器占送風(fēng)墻面丨I阻尼層送風(fēng) 丨積不小于40%）丨3. 全孔板頂棚送丨丨丨風(fēng)III1 1I回風(fēng)rI 1.格柵地面回風(fēng)Ir11.回風(fēng)墻滿布I 1.相對兩側(cè)墻下II主要I滿布I回風(fēng)口I部均勻布置回 II方式I均勻局部布置I2.回風(fēng)墻局部布I風(fēng)口II 2.相對兩側(cè)墻下I置回風(fēng)口I 2.潔凈室面積較II部均勻布置回II大時(shí)，可采用 II風(fēng)口II地面均勻布置I1 1I1I1I回風(fēng)口I1 11 1 1送I氣流流經(jīng)室I不小于風(fēng)I內(nèi)斷面風(fēng)速Ir0.25I1 1I不小于0.35IIII量I（米/秒）1 1I1III1 11 1I換氣次數(shù)IrrIr1I不小于50I1 I（次

27、/時(shí)）1 1I1III1 11 1送風(fēng)口風(fēng)速1I孔板孔rr351 1II孔板孔口 35 I（米秒）1I1III1 11回風(fēng)口風(fēng)速rI不大于rr21 1I不大于1.5I 1.潔凈室內(nèi)回風(fēng)I（米秒）II1I1III1I口不大于2II 2.走廊內(nèi)回風(fēng)口 II不大于4I1 1注：1 .垂直層流潔凈室采用相對兩側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口方式，僅適用于兩對側(cè) 側(cè)墻間距不大于 5 米2. 亂流潔凈室送風(fēng)量的確定，宜考慮室內(nèi)含塵濃度不均勻擴(kuò)散的因素1空氣潔凈等級11I 10,000 級III1 1100,000 級 II1 11 1氣I氣流流型rrI亂流In1亂流I流一r-r1組I送風(fēng)I 1.局部孔板頂棚送風(fēng)I

28、1.帶擴(kuò)散板高效空氣過織I主要I 2. 帶擴(kuò)散板高效空氣過I濾器頂棚送風(fēng)型I方式I濾器頂棚送風(fēng)I 2. 上側(cè)墻送風(fēng)I式I1 1I 3. 上側(cè)墻送風(fēng)I1IJ1I回風(fēng) 丨1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口丨1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口 II主要 丨2.當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí)，在丨2.當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí)，在|I方式 I走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或I走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或III在走廊端部集中設(shè)置回 I在走廊端部集中設(shè)置回 III風(fēng)口I風(fēng)口I1 1 1 1 1送I氣流流經(jīng)室III風(fēng)I內(nèi)斷風(fēng)面風(fēng)III量I速IIII （米/秒）III1 1 1 1 11 1 1I換氣次數(shù) I不小于25I （次/時(shí)）I1II1I不小于15IIIII11

29、I送風(fēng)口風(fēng)速I 1.孔板孔口 35III側(cè)送風(fēng)口I（米秒）I 2. 側(cè)送風(fēng)口I貼附射流25I貼附射流25I非貼附射流同側(cè)墻下部II非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.52.5，對側(cè)墻I回風(fēng)1.52.5，對側(cè)墻I下部回鳳1.01.51I下部回鳳1.01.51 1II1 1回風(fēng)口風(fēng)速1. 潔凈室回風(fēng)口不大于21. 潔凈室回風(fēng)口不大于2（米秒）2.走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于42.走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4第 5 33 條 亂流潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列規(guī)定的最大值：一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量；二、按表 53 2 規(guī)定的送風(fēng)量；三、根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量；四、按空氣平行所需要的送風(fēng)量。第 5

30、34 條 當(dāng)生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達(dá)到更高的空氣潔 凈度時(shí)，其氣流組織設(shè)計(jì)應(yīng)使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)，或在潔凈室的不同區(qū) 域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5 341、圖 5342 選用。第 535 條 層流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺；亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔 凈工作臺，但其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。第 536 條 潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時(shí)，其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下 風(fēng)側(cè)。第四節(jié) 空氣凈化處理第 541 條 各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、 高效空氣過濾器三級過濾。注： 100,000 級空氣凈化處理 , 可采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣

31、過濾器 第 542 條 確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn) 工藝特點(diǎn)和潔凈室空氣潔凈度等級、面積位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室 面積較大、位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。第 5 43 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。凡工藝過程產(chǎn)生大 量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求或?qū)ζ渌ば蛴形：r(shí)，則不應(yīng)利用回 風(fēng)。第 544 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外， 應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口滲入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。第 545 條 空氣過濾器的選用、布置和安裝方式，應(yīng)符合下列要求：一、初效空氣過濾器

32、不應(yīng)選用浸油式過濾器二、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾氣宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端；四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用；五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)；六、高效空氣過濾器的安裝方式應(yīng)簡便可靠，宜于檢漏和更換。第 5 46 條 送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選 擇。中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。第 547 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位 置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施第五節(jié) 采暖通風(fēng)第 5 51 條 潔凈室的采暖型

33、式，應(yīng)按下列不同情況確定：一、100 級、 1000級、 10，000 級潔凈室，不應(yīng)采用散熱器采暖； l00 ， 000 級 潔凈室，不宜采用散熱器采暖。二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進(jìn)行間接采暖，或采用間歇運(yùn)行凈化 空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、值班風(fēng)機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行熱風(fēng)采暖。第 552 條 散熱器應(yīng)采用表面光滑、不易積塵、便于清掃的型式。第 5 53 條 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝 置，排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。第 5 54 條 局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下，應(yīng)單獨(dú)設(shè)置：一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)；二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性；三、所排出的有害物毒性

34、相差很大。第 5 55 條 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)采取下列措施： 一、防倒灌措施； 二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。第 5 56 條 換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應(yīng)采取通風(fēng) 措施。其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。第5. 5. 7條 潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應(yīng)采用每小時(shí)1520次。事故排風(fēng)裝置的控制開關(guān)，應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點(diǎn)，并應(yīng)與凈 化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報(bào)警裝置。第六節(jié) 風(fēng)管和附件第561條 風(fēng)管斷面尺寸的確定，應(yīng)考慮能對風(fēng)管內(nèi)壁進(jìn)行清潔處理， 并在適當(dāng)位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。第 5 62 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系

35、統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。 送風(fēng)機(jī)的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng) 設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥?？傦L(fēng)管穿過樓板和風(fēng)管穿過防火墻處，必須設(shè)置 防火閥。第 5 63 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保 護(hù)網(wǎng)、孔板和擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及 其所處的空氣環(huán)境條件確定。潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根 據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。第 5 64 條 在中效和高效的空氣過濾器前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔。在新風(fēng)管 和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定

36、孔。第 5 65 條 排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，可采用塑料風(fēng)管。其他風(fēng)管以及風(fēng) 管的保溫和消聲材料及其粘結(jié)刑，應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料。第六章 給水排水第一節(jié) 一般規(guī)定第 6 11 條 潔凈廠房內(nèi)的給水排水干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、 地溝管槽內(nèi)或地下埋設(shè)。潔凈室內(nèi)應(yīng)少敷設(shè)管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對空氣潔凈度等級要 求高的潔凈室可暗敷。第 612 條 潔凈廠房內(nèi)的管道外表面，如可能結(jié)露，應(yīng)采取防結(jié)露措施。第 6 13 條 管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應(yīng)設(shè)套管。管道與套管 之間應(yīng)采取可靠的密封措施。第 5 14 條 管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時(shí)，穿墻管及其套管應(yīng)為 非燃燒體

37、管材。第二節(jié) 給水第 6 21 條 潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各 項(xiàng)用水對水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，分別設(shè)置直流、循環(huán)或重復(fù)利用的給 水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置循環(huán)管道。第 6 22 條 管材的選擇，應(yīng)符合下列要求： 一、純水管、高純水管應(yīng)采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管； 二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管；三、生產(chǎn)用水設(shè)備與管道的連接宜采用優(yōu)質(zhì)軟管；四、管道的配件應(yīng)采用相應(yīng)的材料。第 6 23 條 潔凈廠房內(nèi)可設(shè)置開水供應(yīng)設(shè)施；盥洗室內(nèi)的盥洗盆宜供應(yīng) 熱水；軟化水、純水管適應(yīng)預(yù)留清洗口；純水終端凈化裝置應(yīng)放在靠近用水點(diǎn)處。第 624 條 潔凈廠房的周圍，應(yīng)

38、設(shè)置灑水設(shè)施。第三節(jié) 排水第 6 31 條 潔凈廠房的排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)排出的廢水性質(zhì)、濃 度、水量等特點(diǎn)確定排水系統(tǒng)，并應(yīng)有廢水處理或綜合利用設(shè)施。第 6 32 條 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必 須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，并應(yīng)有防止水封被破壞的設(shè)施。第 633 條 100 級、 1000 級潔凈室內(nèi)，不宜設(shè)置地漏；如必須設(shè)置時(shí)，應(yīng) 采用有蓋地漏，并不應(yīng)設(shè)排水溝。 10， 000、100，000 級潔凈室內(nèi)允許穿過排水 豎管，但在豎管上不得設(shè)置檢查口。第 634 條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管 材、管架及其附件。第四節(jié) 消防設(shè)施第

39、6 41 條 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類和建筑物耐火等級等 因素確定消防設(shè)施。第 6 42 條 潔凈廠房室內(nèi)消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應(yīng)小于10 升秒，每股水量不應(yīng)少于 5 升秒；第 6 43 條 潔凈廠房的消火栓設(shè)置，應(yīng)符合下列要求： 一、消火栓的水槍充實(shí)水柱，不應(yīng)小于 10 米。二、消火栓的栓口直徑應(yīng)為 65 毫米，配備的水帶長度不應(yīng)超過 25 米，水槍噴 嘴口徑不應(yīng)小于 19 毫米。第 6 44 條 潔凈室及其技術(shù)夾道和技術(shù)夾層內(nèi)，均宜同時(shí)設(shè)置鹵代烷或 二氧化碳等滅火設(shè)施和消防給水系統(tǒng)。對設(shè)有貴重設(shè)備儀器或生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性 較大的潔凈室，以及當(dāng)火災(zāi)發(fā)生時(shí)消防人員難以進(jìn)入撲救的技

40、術(shù)夾層和技術(shù)夾道 等部位，應(yīng)同時(shí)設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。第七章 工業(yè)氣體管道第一節(jié) 一般規(guī)定第 711 條 工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫 氣和氧氣管道宜明敷；如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措 施。引入潔凈室的支管宜明敷。第 7 12 條 高純氣體管道設(shè)計(jì)，應(yīng)附合下列要求一、根據(jù)計(jì)算確定管徑；二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短；三、不宜設(shè)預(yù)留口；四、不應(yīng)出現(xiàn) “盲管 ”等不易吹除的部位；五、干管和支管上應(yīng)設(shè)置吹除口；六、在管道系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置必要的取樣口。第 7 13 條 穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)， 套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊

41、縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。第 7 14 條 氫氣和氧氣管道末端或是高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊 1 米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。第 7 15 條 氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體純度的要求進(jìn)行 選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。第 716 條 氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進(jìn)行選擇。 高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高氣體過濾器。第二節(jié) 管道材料、閥門和附件第 7 21 條 根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選 用：一、氣體純度大于或等于 99 999時(shí)，應(yīng)采用不銹鋼管；二、氣體純度大于或等于 99 99時(shí)，直采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管；三、氣體純

42、度小于 9999時(shí)，可采用無縫鋼管；四、管道與設(shè)備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時(shí)，宜采用聚 四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳膠管。第 722 條 高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的閥門和附件，其材料與管 道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料 應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。第 723 條 高純氣體管道與附件連接的密封墊 ,應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、 聚四氟乙烯或氟橡膠材料。第三節(jié) 管道連接和清洗第 731 條 管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。第 732 條 管道與設(shè)備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封 性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯

43、帶密封。第 7 33 條 高純氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進(jìn)行清洗、 脫脂等預(yù)處理。第四節(jié) 安全技術(shù)第 7 41 條 工業(yè)氣體管道設(shè)計(jì)的安全技術(shù)，應(yīng)符合下列規(guī)定：一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器；二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置；三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標(biāo)志。第 742 條 潔凈室內(nèi)使用氫氣時(shí)，宜在室內(nèi)設(shè)置報(bào)警裝置。第 743 條 各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過一瓶 時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。第八章 電 氣第一節(jié) 配電第 8 11 條 潔凈廠房的電力負(fù)荷等級，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。凈化 空氣調(diào)節(jié)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷，應(yīng)由變電所專線供電。第 812

44、 條 電源進(jìn)線（不包括消防用電）應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在非 潔凈區(qū)便于管理的地點(diǎn)。第 813 條 潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵的設(shè)備，并宜暗裝。 大型配電設(shè)備不宜設(shè)在潔凈室內(nèi)。第 8 14 條 潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，管材應(yīng)采用非燃燒材料。由非 潔凈區(qū)進(jìn)入潔凈區(qū)的電氣管線管口，應(yīng)采取可靠的密封措施。第二節(jié) 照明第 8 21 條 潔凈室內(nèi)的照明光源，宜采用熒光燈。如達(dá)不到照明設(shè)計(jì)的 技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)要求時(shí)，也可采用其他光源。第 8 22 條 潔凈室內(nèi)一般照明燈具宜明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，其 安裝縫隙應(yīng)采取可靠的密封措施。潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用格柵型燈具。第 8 23 條 無采光窗潔凈區(qū)工作面上

45、的照度值，不應(yīng)低于表823 的規(guī)定數(shù)值。無采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值表 8 23識別對象的 丨視覺工作分類丨亮度丨照度（勒克斯）1 最小尺寸 I對比11d （毫米） 丨 等級 丨 丨混合 丨一般 丨 及場所 丨丨 丨照明丨照明丨1TI dW0.15III1甲II小II 2500I1I 500 I1II乙1I大 III1500 III300 II11II 0.15<d<0.3|nIr甲I小I 1000I1I 300 II1II乙1I大 III750 III200 II11II 0.8 <d<0.6 I山Ir甲I小I 750I1I 200 II1II乙1I大 III750

46、 III150 II11IId > 0.6I1IIivIr1IIII 750III1I 150 II1通道、休息室IIIrI1IIIIIII1I 100 II1暗房工作室1 1IIriI1I1I1I 30I11第 824 條 無采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應(yīng)該按等 級混合照明照度值的10 -15 %采用，并不應(yīng)低于150勒克斯。第 825 條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的事故照明。在應(yīng)急安全出 口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置標(biāo)志燈。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。第 826 條 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于07。第三節(jié) 控制、通信和防護(hù)第 831 條 潔凈廠房的凈化

47、空氣調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對溫度、 濕度和正壓的要求。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)所采用的電加熱器，應(yīng)設(shè)置無風(fēng)斷電保護(hù)。第 832 條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房內(nèi)外聯(lián)系的通信裝置。第 833 條 潔凈廠房（包括技術(shù)夾層）應(yīng)單獨(dú)或組合設(shè)置感溫、感光、 感煙等形式的火災(zāi)探測器。報(bào)警器（受訊臺）應(yīng)設(shè)置在有人值班的地點(diǎn)，供電應(yīng) 可靠。第 8 34 條 潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)緊急按鈕。如發(fā)生火災(zāi)危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)能發(fā)出報(bào)警 信號，并應(yīng)同時(shí)切斷風(fēng)機(jī)電源。附錄一 名詞解釋I rnrnI序號丨本規(guī)范用名詞丨曾用名詞丨解釋丨潔凈室I根據(jù)需要，對空氣中塵粒、I溫度、濕度、壓力和噪聲進(jìn)行控制的密閉空間 , 并 以其空氣潔凈度等級符合 本規(guī)范

48、規(guī)定為主要特征121I潔凈區(qū)1nrI凈化區(qū)I由潔凈室所組成的區(qū)域11 131 1 1I人身凈化用室I人凈生活I(lǐng)潔凈區(qū)工作人員在進(jìn)入潔II間I凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行1I1II凈化的輔助用室I1 1 141 1 1I物料凈化用室II物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一1I1II定程序進(jìn)行凈化的輔助用室I15rI技術(shù)夾層rrrrI管道夾層I主要以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成II技術(shù)閣樓I的供安裝管線等設(shè)施使用1I1II的建筑夾道I16rI技術(shù)夾道II1rrrrI技術(shù)走廊I主要以垂直構(gòu)件分隔成的I技術(shù)管械I供安裝管線等設(shè)施使用的I技術(shù)夾墻I建筑夾道I171rI技術(shù)豎井II1rrrrII主要以垂直鉤件分隔構(gòu)成II的供安裝豎向管

49、線使用的III井式建筑輔助空間I181rI建筑風(fēng)道1rrrrII以建筑構(gòu)件組成的風(fēng)道19rI輕型吊頂rrrrI輕吊頂、I以輕型骨架和飾面板材安1I1I軟吊頂I裝組成的頂棚I110rI粒徑rrrrII指塵粒由某種測定方法測TITTTTITTITIII出的長度名義尺寸，并不 含有具體的幾何形狀的意IIIIIIIIIIIIIIIII義。當(dāng)采用光學(xué)顯微鏡測 定時(shí)，是指塵粒投影通過 測微標(biāo)尺時(shí)為標(biāo)尺刻度線 所切兩瑞的長度當(dāng)采用光散射式粒子計(jì)II數(shù)器測定時(shí)，是指標(biāo)準(zhǔn)塵 粒（如聚本烯小球）作散 射光強(qiáng)度的等效比較而得II的綜合效果1 1 1 1111I II含塵濃度IIIIIII指單位體積空氣中所含懸I浮塵

50、粒的數(shù)量II1121I II潔凈度III丄丄II指潔凈環(huán)境中空氣含塵II粒多少的程度I111311 1 1I全室空氣凈化I全面凈化I通過空氣凈化等技術(shù)措施，III使室內(nèi)整個(gè)空間的空氣含塵IIII濃度達(dá)到本規(guī)范的空氣潔凈IIII度等級，這種方式稱全室空IIII氣凈化I1 1 11141III局部空氣凈化I1JII 僅使室內(nèi)工作區(qū)域特定的I局部空間的空氣含塵濃度達(dá)II到本規(guī)范的空氣潔凈度等級II這種方式稱局部空氣凈化ILITITT15IIT層流潔凈室IIIIIIIII平行流I在潔凈室內(nèi)，空氣以均勻的II斷面速度沿平行流線流動（II與流體力學(xué)的層流概念不完II全相同）III11116 亂流潔凈室在潔凈室內(nèi)，空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動17111潔凈工作區(qū)指潔凈室內(nèi)（除生產(chǎn)工藝特II殊要求外）離地面 0.81.5 I米高度的區(qū)域11118第一潔凈工作I 區(qū)II指水平層流潔凈室工作區(qū)I 內(nèi)空氣潔凈度最后的工作位丨119 空氣吹淋室、 風(fēng)淋室、 強(qiáng)制吹除工作人員及其衣20通道式空氣吹 空氣淋 服上附著塵粒的設(shè)備 淋室浴室氣閘室I1為保持潔凈區(qū)的空氣潔凈度和正壓控制而設(shè)置的緩沖21