微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù).---doc

1 淺談微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)淺談微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì) 摘要摘要 微波燒結(jié)工藝是指依靠微波電場(chǎng)或者是磁場(chǎng) 通過微觀粒子的能量交換實(shí)現(xiàn)材料燒結(jié)的 工藝 利用這一工藝制備碳化硅不僅省時(shí) 節(jié)能 無污染而且能夠滿足不同領(lǐng)域?qū)μ蓟璧?需求 本文第一模塊系統(tǒng)總結(jié)出微波燒結(jié)和碳化硅的特點(diǎn) 用途等特點(diǎn) 在此基礎(chǔ)上歸納出 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)的分子方程式 制備過程 簡(jiǎn)單介紹了碳化硅產(chǎn)率 第二模塊主要 論述了微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì) 通過模塊化設(shè)計(jì)與計(jì)算機(jī)控制相結(jié)合的方式實(shí) 現(xiàn)批量性生產(chǎn) 關(guān)鍵詞關(guān)鍵詞 微波燒結(jié) 碳化硅 技術(shù) 趨勢(shì) AbstractAbstract Microwave sintering process is to rely on the microwave electric field or magnetic field exchange process of sintering material by micro particle energy Preparation of silicon carbide not only save time energy saving no pollution and can meet the demand for silicon carbide in different areas by using this process The first module of the system summed up the characteristics of microwave sintering and silicon carbide use and other characteristics summarized based on this molecular formula preparation process of microwave sintering of SiC technology introduces the SiC yield The second module mainly discusses the development trend of microwave sintering of SiC Technology through the combination of modular design and computer control mode to realize batch production KeywordsKeywords microwave sintering silicon carbide technology trend 2 淺談微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)淺談微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì) 目目 錄錄 前言 3 一 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù) 3 一 微波燒結(jié)工藝簡(jiǎn)介 3 1 微波燒結(jié)系統(tǒng) 4 2 微波加熱與傳統(tǒng)加熱的異同 4 3 微波燒結(jié)的特點(diǎn) 5 二 碳化硅簡(jiǎn)介 5 1 碳化硅的結(jié)構(gòu)與性質(zhì) 5 2 工業(yè)碳化硅生產(chǎn)方式 6 3 碳化硅的用途 6 三 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù) 6 1 化學(xué)方程式 6 3 碳化硅產(chǎn)率 7 二 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì) 7 一 批量性生產(chǎn)的可能性 7 1 模塊化制備的可能性 7 2 數(shù)控技術(shù)的發(fā)展 8 二 批量性生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn) 9 1 使用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制 9 2 有效分析制備控制結(jié)果 9 結(jié)論 10 參考文獻(xiàn) 10 3 淺談微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)淺談微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì) 前言前言 SiC 材料是第三代半導(dǎo)體材料 廣泛運(yùn)用于軍事 航空等領(lǐng)域 這與碳化硅的性質(zhì)息息 相關(guān) 正因?yàn)槠溥\(yùn)用 國外限制該產(chǎn)品的出口 最早發(fā)現(xiàn)碳化硅是在隕石里 大自然給我們 帶來了寶貝 后來隨著人們對(duì)其的研究 碳化硅的作用慢慢被發(fā)掘 自然界碳化硅的含量本 來就很少 從天然提取的碳化硅的量已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足我們的需求 碳化硅的運(yùn)用前景那么 好 人們開始用化學(xué)的方法來合成自己需要的多余的部分 這樣 碳化硅的合成方法的研究 也就越來越吸引關(guān)注 很多人都致力于此項(xiàng)研究工作 其中以碳熱還原法為主 其反應(yīng)條件 等都已經(jīng)研究得比較成功 這才使得碳化硅的合成工藝與技術(shù)比較成熟 但改進(jìn)和提升空間 還很大 特別在我國遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒有達(dá)到綠色 低碳 節(jié)能的要求 碳化硅被廣泛應(yīng)用于磨料磨具 耐火材料制作 半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域 成為人類生活中必不可少的一份子 但是在制作工業(yè)碳 化硅時(shí)傳統(tǒng)解熱技術(shù)面臨結(jié)晶難的窘狀 為了克服這一困難材料熱處理專家們發(fā)現(xiàn)了微波燒 結(jié)這一新工藝 從而在碳化硅的生產(chǎn)歷史上留下了濃墨重彩的一筆 一 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)一 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù) 一 微波燒結(jié)工藝簡(jiǎn)介 微波燒結(jié)是利用微波加熱來對(duì)材料進(jìn)行燒結(jié) 它同傳統(tǒng)的加熱方式不同 傳統(tǒng)的加熱是 依靠發(fā)熱體將熱能通過對(duì)流 傳導(dǎo)或輻射方式傳遞至被加熱物而使其達(dá)到某一溫度 熱量從 外向內(nèi)傳遞 燒結(jié)時(shí)間長(zhǎng) 也很難得到細(xì)晶 而微波燒結(jié)則是利用微波具有的特殊波段與材 料的基本細(xì)微結(jié)構(gòu)耦合而產(chǎn)生熱量 材料的介質(zhì)損耗使其材料整體加熱至燒結(jié)溫度而實(shí)現(xiàn)致 密化的方法 材料中的電磁能量耗散 材料對(duì)微波的吸收是通過與微波電場(chǎng)或磁場(chǎng)耦合 將 微波能轉(zhuǎn)化熱能來實(shí)現(xiàn)的 微波燒結(jié)是利用微波具有的特殊波段與材料的基本細(xì)微結(jié)構(gòu)耦合 而產(chǎn)生熱量 材料的在電磁場(chǎng)中的介質(zhì)損耗使其材料整體加熱至燒結(jié)溫度而實(shí)現(xiàn)致密化的方 法 微波燒結(jié)原理與目前的常規(guī)燒結(jié)工藝有著本質(zhì)區(qū)別 由于材料可內(nèi)外均勻地整體吸收微 波能并被加熱 使得處于微波場(chǎng)中的被燒結(jié)物內(nèi)部的熱梯度和熱流方向與常規(guī)燒結(jié)時(shí)完全不 同 微波可以實(shí)現(xiàn)快速均勻加熱而不會(huì)引起試樣開裂或在試樣內(nèi)形成熱應(yīng)力 更重要的是快 速燒結(jié)可使材料內(nèi)部形成均勻的細(xì)晶結(jié)構(gòu)和較高的致密性 從而改善材料性能 同時(shí) 由于 材料內(nèi)部不同組分對(duì)微波的吸收程度不同 因此可實(shí)現(xiàn)有選擇性燒結(jié) 從而制備出具有新型 微觀結(jié)構(gòu)和優(yōu)良性能的材料 微波燒結(jié)工藝是指依靠微波電場(chǎng)或者是磁場(chǎng) 通過微觀粒子的 能量交換實(shí)現(xiàn)材料燒結(jié)的工藝 它具有升溫速度快 能源利用率高 加熱效率高和安全衛(wèi)生 無污染等特點(diǎn) 并能提高產(chǎn)品的均勻性和成品率 改善被燒結(jié)材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能 已經(jīng) 成為材料燒結(jié)領(lǐng)域里新的研究熱點(diǎn) 1 微波燒結(jié)系統(tǒng) 圖 1 微波燒結(jié)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖 4 微波燒結(jié)系統(tǒng)主要由微波源 發(fā)生器 微波波導(dǎo) 阻抗調(diào)配器 燒結(jié)腔 過程監(jiān)控系 統(tǒng)以及安全保護(hù)系統(tǒng)等幾部分組成 2 2 微波加熱與傳統(tǒng)加熱的異同 微波加熱與傳統(tǒng)加熱的異同 傳熱方向 外向 與被加熱物質(zhì)無關(guān) 能量傳遞過程 外設(shè)發(fā)熱體的面加熱 大量的能量損失在環(huán)境中 對(duì)材料的熱處理完全依靠熱效應(yīng) 微波加熱 內(nèi)外 同時(shí)進(jìn)行 與被加熱物質(zhì)直接相關(guān) 能量轉(zhuǎn)換過程 自身整體加熱 能量集中在被加熱物質(zhì) 同時(shí)具有熱效應(yīng)和非熱效應(yīng)即特有的微波效應(yīng) 圖 2 微波加熱與傳統(tǒng)加熱的異同 3 微波燒結(jié)的特點(diǎn) 微波燒結(jié)技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)歷了幾十年 雖然還有很多不成熟 不完善的地方 但是 它 具有常規(guī)技術(shù)無法比擬的優(yōu)點(diǎn) 預(yù)示了它廣闊的發(fā)展前景 首先 作為一種省時(shí) 節(jié)能 節(jié) 省勞動(dòng) 無污染的技術(shù) 微波燒結(jié)能滿足當(dāng)今節(jié)約能源 保護(hù)環(huán)境的要求 其次 它所具有 的活化燒結(jié)的特點(diǎn)有利于獲得優(yōu)良的顯微組織 從而提高材料性能 再次 微波與材料耦合 的特點(diǎn) 決定了用微波可進(jìn)行選擇性加熱 從而能制得具有特殊組織的結(jié)構(gòu)材料 如梯度功 5 能材料 這些優(yōu)勢(shì)使得微波燒結(jié)在高技術(shù)陶瓷及金屬陶瓷復(fù)合材料制備領(lǐng)域具有廣闊的前景 二 碳化硅簡(jiǎn)介 二 碳化硅簡(jiǎn)介 1 碳化硅的結(jié)構(gòu)與性質(zhì) 碳化硅又名金剛砂 其分子式為 SiC 它的類型結(jié)構(gòu)是多種多樣的 目前已發(fā)現(xiàn) 120 余 種 在碳化硅晶體中 每個(gè)碳原子都位于硅原子形成的四面體中心 反之亦然 即各種類型 的碳化硅配位數(shù)都是 4 碳化硅晶體有兩種主要形態(tài)類似于閃鋅礦 ZnS 結(jié)構(gòu)的立方系 一 SiC 和晶體排列致密的 一 SiC 工業(yè)碳化硅在組成形態(tài)方面的差異 一方面是因?yàn)榇嬖陔s 質(zhì) 另一方面與溫度條件有很大關(guān)系 一般 1600 2000 左右 一 SiC 立方系較穩(wěn)定 而在 2000 以上 一 SiC 的各種形態(tài)均比較穩(wěn)定 工業(yè)碳化硅視雜質(zhì)數(shù)量及組成的不同 其比重介于 3 12 一 3 22 之間 堆比重在 1 8 一 1 9 之間 在大氣壓下 碳化硅不熔化 而按下式分解為碳和硅 SiCSi C 該反應(yīng)的自由能在 1725 時(shí)仍為正值 說明碳化硅的穩(wěn)定 性比該溫度高 一般認(rèn)為碳化硅的分解溫度在 2300 2400 之間 甚至有人認(rèn)為高達(dá) 2700 川 2 工業(yè)碳化硅生產(chǎn)方式 工業(yè)碳化硅一般由槽式電阻爐生產(chǎn) 在電阻爐兩端有固定的電極 電極之間放入碳質(zhì)材 料作為爐芯 在爐芯周圍散裝配料 所用原材料主要有硅質(zhì)材料 石英砂 硅石 原生高嶺 土等 碳質(zhì)材料 低灰份無煙煤 石油焦等 和添加劑等 碳化硅最基本的生成機(jī)理是 溫度達(dá)到 1500 以后 二氧化硅從石英表面開始蒸發(fā)和分解 并吸附于碳顆粒表面 與碳 元素反應(yīng) 生成碳化硅 碳化硅的生成與溫度有很大關(guān)系 在高溫區(qū) 反應(yīng)比較徹底 生成的 一 SiC 比例也較高 因而 在電阻爐電極之間的區(qū)域 由于溫度較高 碳化硅的品位在 98 以上 越靠近外層 品位越低 到最外層 碳化硅含量反占 15 一 20 其余部分是沒有參 加反應(yīng)的石英砂成石油焦的殘骸 對(duì)于磨料磨具行業(yè)來講 只有芯部產(chǎn)品才有利用價(jià)值 其 余部分只能提供給其它行業(yè)加以利用 或者回爐重?zé)?有時(shí)甚至作為廢料扔掉 對(duì)于冶金行 業(yè)而言 用作脫氧合金化的碳化硅恰是外層產(chǎn)品最為理想 其一是由于價(jià)格便宜 其二是 一 SiC 含量高 該種類型的碳化硅穩(wěn)定性差 易分解 特別是在氧化性氣氛下 更容易 參加反應(yīng)和被鋼液吸收 因而在冶金行業(yè)極具利用價(jià)值 3 碳化硅的用途 碳化硅是典型的多晶型化合物 按大類來分 有 碳化硅和 碳化硅兩種 碳化 硅做為磨料有黑 綠兩種品種 碳化硅是制備碳化硅類陶瓷的主要原料 碳化硅的用途 十分廣泛 如 冶金 機(jī)械 化工 建材 輕工 電子 發(fā)熱體 磨料可作為冶金工業(yè)的凈 化劑 脫氧劑和改良劑 在機(jī)械加工方面可作為合成硬質(zhì)合金刀具 加工后的硅碳板可作為 耐火材料用于陶瓷燒制的棚板 通過精加工后生產(chǎn)的微粉 可用于高科技電子元器件和遠(yuǎn)紅 外線輻射材料的涂料 高純度精微粉可供國防工業(yè)航空航天器皿的涂層 對(duì)國際國內(nèi)各經(jīng)濟(jì) 領(lǐng)域的用途十分廣闊 碳化硅半導(dǎo)體能應(yīng)對(duì) 極端環(huán)境 據(jù)稱 碳化硅晶片甚至可以經(jīng)受住金星或太陽附近 的熱度 前期的研究表明 即使在 560 攝氏度的高溫中 碳化硅晶片在沒有冷卻裝置的情況 下仍能正常運(yùn)作 碳化硅晶片在通訊領(lǐng)域具有廣闊的運(yùn)用前景 能讓高清晰電視發(fā)射器提供 更清晰的信號(hào)和圖像 也可以用在噴氣和汽車引擎中 監(jiān)測(cè)電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn) 同時(shí) 它還可運(yùn)用于 太空探索領(lǐng)域 幫助核動(dòng)力飛船執(zhí)行更繁雜的任務(wù) 法國物理學(xué)家預(yù)言 在芯片制造領(lǐng)域 碳化硅取代硅已為時(shí)不遠(yuǎn) 碳化硅是磨料磨具行業(yè)最主要的原材料之一 但做磨具用的碳化硅要求有極高的品 位 一般為 98 以上 而較低品位的碳化硅作為生產(chǎn)廠的副產(chǎn)品 在冶金工業(yè)中有著廣 泛的應(yīng)用 自 1893 年起碳化硅粉末被大量用作磨料 將碳化硅粉末燒結(jié)可得到堅(jiān)硬的陶瓷 狀碳化硅顆粒 并可將之用于諸如汽車剎車片 離合器和防彈背心等需要高耐用度的材料中 6 在諸如發(fā)光二極管 早期的無線電探測(cè)器之類的電子器件制造中也有使用 如今碳化硅被廣 泛用于制造高溫 高壓半導(dǎo)體 通過 Lely 法能生長(zhǎng)出大塊的碳化硅單晶 人造莫桑石的寶 石就是通過切割由 Lely 法制備的大塊碳化硅單晶來獲得的 三 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù) 三 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù) 1 化學(xué)方程式 按化學(xué)反應(yīng)方程式 SiO2 s 3C s SiC s 2CO g 計(jì)算反應(yīng)物的質(zhì)量分?jǐn)?shù) 后進(jìn)行配料 2 形成過程 碳化硅形成的特點(diǎn)是不通過液相 通過微波燒結(jié)技術(shù)制備碳化硅的過程如下 首先對(duì)燒 結(jié)系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè) 確定符合燒結(jié)條件之后將原料進(jìn)行加熱 約從 1700 開始 硅質(zhì)原料由 砂粒變?yōu)槿垠w 進(jìn)而變?yōu)檎羝?白煙 SiO2 熔體和蒸汽鉆進(jìn)碳質(zhì)材料的氣孔 滲入碳的顆 粒 發(fā)生生成 Sic 的反應(yīng) 溫度升高至 1700 1900 時(shí) 生成 一 SiC 溫度進(jìn)一步升高 至 1900 2000 時(shí) 細(xì)小的 一 SiC 轉(zhuǎn)變?yōu)?a SiC a SiC 晶粒逐漸長(zhǎng)大和密實(shí) 3 碳化硅產(chǎn)率 圖 3 不同條件下碳化硅的產(chǎn)率以及所需功率 二 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)二 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì) 隨著碳化硅應(yīng)用領(lǐng)域不斷被開拓 工業(yè)碳化硅的市場(chǎng)需求量越來越大 鑒于微波燒結(jié)的 優(yōu)點(diǎn) 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)成為了工業(yè)領(lǐng)域的重中之重 但是由于微波燒結(jié)爐對(duì)不同粒 度碳化硅的選擇性強(qiáng) 不同粒度碳化硅產(chǎn)品需要的微波爐的參數(shù)有很大差異 因此 微波燒 結(jié)爐的設(shè)備需要投資增大 今后為了節(jié)省資本 微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)是通過 模塊化設(shè)計(jì)與計(jì)算機(jī)控制相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)批量性生產(chǎn) 一 批量性生產(chǎn)的可能性 1 模塊化制備的可能性 目前我國的實(shí)際生產(chǎn)領(lǐng)域已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)模塊設(shè)計(jì)一條龍服務(wù) 雖然說不同粒度碳化硅產(chǎn) 品需要的微波爐的參數(shù)有很大差異 但是應(yīng)用廣泛的粒度碳化硅還是數(shù)量有限 只要在實(shí)際 調(diào)查的基礎(chǔ)上對(duì)生產(chǎn)這些的微波爐進(jìn)行模塊化生產(chǎn) 那么通過微波燒結(jié)工藝進(jìn)行批量性生產(chǎn) 碳化硅就成為了現(xiàn)實(shí) 1 模塊制備流程 7 開始 市場(chǎng)需求調(diào)查與分析 產(chǎn)品功能分析 擬定產(chǎn)品所屬系列 選定參數(shù) 劃分模塊 模塊設(shè)計(jì) 上述模塊制作流程 以實(shí)際市場(chǎng)調(diào)查數(shù)據(jù)為依托 然后設(shè)定相應(yīng)的參數(shù)對(duì)微波爐各部分 進(jìn)行分解化生產(chǎn) 然后重新加以組合 需要注意的是在模塊化制造系統(tǒng)設(shè)計(jì)中首先要根據(jù)產(chǎn) 品批量和產(chǎn)品的復(fù)雜程度確定加工機(jī)器基元的模塊數(shù) 一旦生產(chǎn)出來的試用品 不合格那么 該流程將會(huì)重新調(diào)查取證 充分進(jìn)行模塊劃分 從而確保了微波爐每一組成模塊的科學(xué)性 2 模塊化生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì) 對(duì)于每一種類型的微波爐而言 由于標(biāo)準(zhǔn)的模塊化而帶來的生產(chǎn)系統(tǒng)的簡(jiǎn)化 并和自動(dòng) 化相結(jié)合 將幫助顯著縮短生產(chǎn)周期 由于模塊化制造系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是高度自動(dòng)化的 硬件是 模塊的 因此能很快地設(shè)計(jì)和重構(gòu)低成本的生產(chǎn)系統(tǒng) 萬一市場(chǎng)出現(xiàn)新的模塊需求 可以以 較少的資本損失實(shí)現(xiàn)新模塊的設(shè)計(jì)和生產(chǎn) 2 數(shù)控技術(shù)的發(fā)展 數(shù)控技術(shù)是指充分地利用現(xiàn)代數(shù)字化的信息對(duì)生產(chǎn)性器物的運(yùn)動(dòng)及加工過程進(jìn)行科學(xué)化 控制的一種先進(jìn)技術(shù) 數(shù)控技術(shù)系統(tǒng)主要有數(shù)控裝置 可編程控制器 驅(qū)動(dòng)器及進(jìn)給裝置等 部分 是現(xiàn)代制造技術(shù)的基礎(chǔ) 它綜合了現(xiàn)代化的計(jì)算機(jī) 自動(dòng)控制 自動(dòng)檢測(cè)和精密機(jī)械 等高新技術(shù) 目前數(shù)控技術(shù)面臨以下發(fā)展趨勢(shì) 一是性能發(fā)展方向 高速高精高效化速度 精度和效率是機(jī)械制造技術(shù)的關(guān)鍵性能指標(biāo) 二是柔性化 包含兩方面 數(shù)控系統(tǒng)本身的柔 性 數(shù)控系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì) 功能覆蓋面大 可裁剪性強(qiáng) 便于滿足不同用戶的需求 群 控系統(tǒng)的柔性 同一群控系統(tǒng)能依據(jù)不同生產(chǎn)流程的要求 使物料流和信息流自動(dòng)進(jìn)行動(dòng)態(tài) 調(diào)整 從而最大限度地發(fā)揮群控系統(tǒng)的效能 三是工藝復(fù)合性和多軸化 以減少工序 輔助 8 時(shí)間為主要目的的復(fù)合加工 正朝著多軸 多系列控制功能方向發(fā)展 數(shù)控機(jī)床的工藝復(fù)合 化是指工件在一臺(tái)機(jī)床上一次裝夾后 通過自動(dòng)換刀 旋轉(zhuǎn)主軸頭或轉(zhuǎn)臺(tái)等各種措施 完成 多工序 多表面的復(fù)合加工 數(shù)控技術(shù)軸 西門子 880 系統(tǒng)控制軸數(shù)可達(dá) 24 軸 四是實(shí)時(shí) 智能化 早期的實(shí)時(shí)系統(tǒng)通常針對(duì)相對(duì)簡(jiǎn)單的理想環(huán)境 其作用是如何調(diào)度任務(wù) 以確保任 務(wù)在規(guī)定期限內(nèi)完成 而人工智能則試圖用計(jì)算模型實(shí)現(xiàn)人類的各種智能行為 科學(xué)技術(shù)發(fā) 展到今天 實(shí)時(shí)系統(tǒng)和人工智能相互結(jié)合 人工智能正向著具有實(shí)時(shí)響應(yīng)的 更現(xiàn)實(shí)的領(lǐng)域 發(fā)展 而實(shí)時(shí)系統(tǒng)也朝著具有智能行為的 更加復(fù)雜的應(yīng)用發(fā)展 由此產(chǎn)生了實(shí)時(shí)智能控制 這一新的領(lǐng)域 在數(shù)控技術(shù)領(lǐng)域 實(shí)時(shí)智能控制的研究和應(yīng)用正沿著幾個(gè)主要分支發(fā)展 自 適應(yīng)控制 模糊控制 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制 專家控制 學(xué)習(xí)控制 前饋控制等 例如在數(shù)控系統(tǒng) 中配備編程專家系統(tǒng) 故障診斷專家系統(tǒng) 參數(shù)自動(dòng)設(shè)定和刀具自動(dòng)管理及補(bǔ)償?shù)茸赃m應(yīng)調(diào) 節(jié)系統(tǒng) 在高速加工時(shí)的綜合運(yùn)動(dòng)控制中引入提前預(yù)測(cè)和預(yù)算功能 動(dòng)態(tài)前饋功能 在壓力 溫度 位置 速度控制等方面采用模糊控制 使數(shù)控系統(tǒng)的控制性能大大提高 從而達(dá)到最 佳控制的目的 二 批量性生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn) 二 批量性生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn) 1 使用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制 計(jì)算機(jī)技術(shù)是指利用計(jì)算機(jī)各種硬軟件設(shè)備 采用一定的科學(xué)方法 對(duì)文圖聲像等各種 信息進(jìn)行獲取 加工 存儲(chǔ) 傳輸與使用的技術(shù) 數(shù)字技術(shù)是計(jì)算機(jī)技術(shù)的核心特征 采用 數(shù)字化后可以將多種信息形式 如文字 符號(hào) 圖形 聲音 影像等媒體數(shù)字化 為進(jìn)行信 息的統(tǒng)一處理和傳輸提供了基礎(chǔ) 利用信息技術(shù)手段進(jìn)行評(píng)估可以避免人為因素帶來的控制 偏差 在控制的過程中 一是在利用微波燒結(jié)制備碳化硅時(shí)詳細(xì)記錄硅質(zhì)原料和碳質(zhì)原料的 質(zhì)量和數(shù)量 仔細(xì)觀察并記錄不同溫度下碳化硅的粒度情況 細(xì)化到每次微波燒結(jié)每個(gè)微波 爐的實(shí)際燒結(jié)情況 二是在實(shí)施制備控制評(píng)估時(shí) 單位技術(shù)人員運(yùn)用適當(dāng)?shù)男畔⒓夹g(shù)對(duì)評(píng)估 指標(biāo) 評(píng)估方法 評(píng)估程序 評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)等進(jìn)行科學(xué)有效的設(shè)計(jì) 確保指標(biāo)設(shè)立 存檔 抽檢 判分 測(cè)評(píng) 調(diào)查 統(tǒng)計(jì) 分析 反饋和編輯等工作的公平 公正 確保評(píng)估方法 評(píng)估程 序 評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的公正透明 三是公示評(píng)估結(jié)果時(shí) 設(shè)計(jì)制備控制評(píng)估數(shù)據(jù)庫 數(shù)據(jù)庫中的資 料單位的每位員工都能夠?yàn)g覽到 該數(shù)據(jù)庫中有每位員工的制備控制成績(jī) 以及員工制備控 制成績(jī)的年度變化情況 明確顯示員工需待改進(jìn)的地方和出色的地方 以此指明員工應(yīng)該努 力的具體的方向 2 有效分析制備控制結(jié)果 制備控制結(jié)果只有做到公正才能夠真正體現(xiàn)批量性生產(chǎn)碳化硅體系的價(jià)值 制備控制考 評(píng)的公正是指單位在制備控制考評(píng)的過程中 嚴(yán)格遵循一定的制備控制考評(píng)程序 嚴(yán)格按照 考評(píng)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)員工對(duì)領(lǐng)導(dǎo)人進(jìn)行客觀地考評(píng) 因?yàn)橹苽淇刂瓶荚u(píng)的成績(jī)關(guān)系單位每一位員工的 發(fā)展空間 所以說每個(gè)人都非常地重視制備控制考評(píng)的結(jié)果 過分重視的后果是有一部分人 采取非常規(guī)的手段采取非常規(guī)的途徑去獲取本不該屬于自己的優(yōu)異的考評(píng)成績(jī) 還因?yàn)椴煌?的階層對(duì)于制備控制考核有著不同的理解 決策層主要是想通過制備控制考核來了解各部門 的工作業(yè)績(jī) 中間的管理層層主要是看員工是否能夠按照他們的要求來完成具體的工作 員 工主要是從制備控制考評(píng)的結(jié)果來看自己的付出是否得到了肯定 不同的理解角度不同的的 制備控制考評(píng)結(jié)果 勢(shì)必出現(xiàn)考核結(jié)果的爭(zhēng)議 在這兩種意義上我們可以說制備控制考評(píng)的 公正性是制備控制考評(píng)的難點(diǎn) 因而在分析制備控制效果時(shí)要建立一套程序而且設(shè)置一個(gè)部門或崗位負(fù)責(zé)分解上述程序 形成針對(duì)一線生產(chǎn)人員 一線管理人員 后勤人員和公司領(lǐng)導(dǎo)決策層的評(píng)估指標(biāo) 這項(xiàng)工作 是一項(xiàng)長(zhǎng)期性的工作 每個(gè)季度 每個(gè)月都需要跟蹤指標(biāo)的完成情況 并根據(jù)環(huán)境變化進(jìn)行 調(diào)整 其次 需要建立分層分類的評(píng)估指標(biāo)庫 只有分層分類 才能體現(xiàn)不同崗位的工作責(zé) 任和工作特點(diǎn)和具體的制備控制情況和效果 而各部門負(fù)責(zé)人是制備控制結(jié)果的中間層 只 有這一層級(jí)的管理人員熟練 技巧 規(guī)范地使用評(píng)估的方法 才能夠把制備考評(píng)給予自己的 評(píng)估壓力有效地傳遞到各個(gè)部門 并根據(jù)表現(xiàn)給予每一位制備控制人員科學(xué) 客觀的制備控 9 制結(jié)果 再次 需要建立一套數(shù)據(jù)的收集和評(píng)估程序 需要財(cái)務(wù)和相關(guān)業(yè)務(wù)科室提供的數(shù)據(jù) 要明確責(zé)任人 數(shù)據(jù)提交時(shí)間 數(shù)據(jù)報(bào)送口徑 需要評(píng)估小組評(píng)價(jià)的 要建立盡可能詳盡的 評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)或 目標(biāo)錨 需要外部評(píng)價(jià)的 要做好外部評(píng)價(jià)機(jī)構(gòu)的選擇 管理和審核工作 結(jié)論結(jié)論 本文在閱讀大量文獻(xiàn)資料的基礎(chǔ)上 第一模塊系統(tǒng)總結(jié)出微波燒結(jié)和碳化硅的特點(diǎn) 用 途等特點(diǎn) 在此基礎(chǔ)上歸納出微波燒結(jié)制備碳化硅技術(shù) 第二模塊主要論述了微波燒結(jié)制備 碳化硅技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)隨著碳化硅應(yīng)用領(lǐng)域不斷被開拓 工業(yè)碳化硅的市場(chǎng)需求量越來越大 鑒于微波燒