蘇州納米所綜合考試要點(diǎn)

1、蘇州納米所綜合培訓(xùn)要點(diǎn)筆記超凈間管理規(guī)定超凈間進(jìn)入：進(jìn)入超凈間的用戶(hù) 報(bào)名綜合考試 參加培訓(xùn) 參加考試（通過(guò)） 填寫(xiě)門(mén)禁申請(qǐng)和超凈間公約 獲得授權(quán)穿一次性鞋套、指紋門(mén)禁、一次更衣、二次更衣（先戴手套，離開(kāi)時(shí)先脫手套）、風(fēng)淋室。關(guān)于區(qū)域管理：在相關(guān)工作區(qū)域作業(yè)，不要隨意走動(dòng)；非緊急情況嚴(yán)禁進(jìn)入灰區(qū)；濕法腐蝕只能在清洗間進(jìn)行；光刻間（104和105）限制人數(shù)，無(wú)工藝者請(qǐng)不要進(jìn)入。關(guān)于設(shè)備未經(jīng)平臺(tái)規(guī)定的培訓(xùn)并考核合格及預(yù)約人員不得擅自操作任何設(shè)備未經(jīng)許可，嚴(yán)禁挪動(dòng)任何設(shè)備、儀器和裝置關(guān)于微加工工藝之前必須進(jìn)行網(wǎng)上預(yù)約。工藝取消：提前24小時(shí)取消工藝，不收取費(fèi)用；提前12小時(shí)取消工藝，收取50%的費(fèi)用

2、或200元違約費(fèi)（取最低），其它情況收取全額費(fèi)用。工藝加工前必須及時(shí)進(jìn)行check in，工藝結(jié)束必須及時(shí)進(jìn)行check out。關(guān)于行為規(guī)范管理未經(jīng)許可，除待加工樣品、光刻版外嚴(yán)禁帶入任何物品在超凈間內(nèi)嚴(yán)禁吸煙、拍照、攝像、飲食、接打手機(jī)必須保持工作環(huán)境整潔有序在非緊急狀況下，嚴(yán)禁使用應(yīng)急設(shè)備和設(shè)施關(guān)于電腦1.設(shè)備配備電腦只能用于機(jī)器控制，嚴(yán)禁其他用途2.超凈預(yù)約電腦只能用于工藝預(yù)約與審核，嚴(yán)禁其他用途3.一樓走廊電腦用于數(shù)據(jù)傳輸和照片拷貝，嚴(yán)禁其他用途關(guān)于預(yù)約時(shí)間1.工作時(shí)間（上午9:00-12:00，下午13:30-18:00）可以隨時(shí)預(yù)約（僅限可以自己操作設(shè)備的用戶(hù)）2.中午12:00

3、-13:30，需提前1小時(shí)以上預(yù)約,下午18:00以后的工藝需在下午17:00前預(yù)約.3.周日時(shí)間需在周六下午16:00前預(yù)約。安全知識(shí)水電氣安全：水（漏水、滲水或水管破裂等）電（線路打火、短路或漏電等）氣（泄漏、氣壓過(guò)低或過(guò)高等）迅速通知平臺(tái)工作人員，由平臺(tái)工作人員應(yīng)急處理遇到火災(zāi)（1）呼救并按下緊急按鈕（2）第一時(shí)間嘗試滅火（3）無(wú)效后，立即撤退到危險(xiǎn)區(qū)域外，報(bào)警，等待救援（4）要清楚消防器材的位置燃燒的三要素可燃物質(zhì)（隔離法）、助燃物（窒息法）、燃點(diǎn)（冷卻法）使用冷卻法注意（1）堿金屬不能用水撲滅：水與堿全屬反應(yīng)生成氫，易引起爆炸（2）用噴霧水撲救的物品：三酸（硫酸、硝酸、鹽酸）、油（原

4、油、重油）、溶于水的可燃液體（乙二醇）滅火器（滅火器就倆，操作是一拔二壓）二氧化碳滅火器（設(shè)備旁邊）：不導(dǎo)電，無(wú)污損，適用于撲救電器等高價(jià)物品。缺點(diǎn)是不能撲滅金屬鉀、鈉、鎂、鋁等物質(zhì)的火災(zāi)，因?yàn)槎趸寂c以上物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。干粉滅火器（消防栓旁邊）：滅火效率高、不導(dǎo)電、不腐蝕、毒性低、不溶化、不分解、可以長(zhǎng)期保存，適用于撲救石油產(chǎn)品、油漆、有機(jī)溶劑和電器火災(zāi)。缺點(diǎn)是不能防止復(fù)燃。消防栓：緊急情況下可擊碎玻璃門(mén)取出水帶甩開(kāi)水帶后一端接水槍?zhuān)欢诉B接消防栓技術(shù)要求是對(duì)準(zhǔn)卡口，順時(shí)旋轉(zhuǎn)90度帶子不夠長(zhǎng)度時(shí)，可另取一條按上述方法連接水管和水帶的閥門(mén)是不同的防火棉無(wú)機(jī)清洗間的清洗臺(tái)上有機(jī)清洗間的藥品柜

5、上（無(wú)機(jī)、有機(jī)清洗間都有）用力拉扯黑色拉帶，展開(kāi)，覆蓋燃燒液體排煙口開(kāi)放裝置當(dāng)火災(zāi)產(chǎn)生很濃煙霧或有毒氣體泄漏時(shí)，迅速按下所在區(qū)域的排煙口開(kāi)放裝置緊急逃生1.有毒氣體、氫氣泄漏、發(fā)生火災(zāi)，需要緊急逃生。2.除了1樓B逃生門(mén)內(nèi)推，其他逃生樓全是外推 清洗間操作流程清洗間1.使用之后要保持整潔2.使用之后要關(guān)門(mén)1. 預(yù)約，并仔細(xì)閱讀化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)（MSDSCSDS）(共16項(xiàng))一份關(guān)于危險(xiǎn)化學(xué)品燃爆、毒性和環(huán)境危害以及安全使用、泄漏應(yīng)急處置、主要理化參數(shù)、法律法規(guī)等方面信息的綜合性文件。國(guó)際上稱(chēng)作化學(xué)品安全信息卡，簡(jiǎn)稱(chēng)MSDS或CSDS。2. 化學(xué)品和器皿準(zhǔn)備常規(guī)化學(xué)品在清洗間已有，特殊化學(xué)品

6、需向平臺(tái)管理員申請(qǐng)，公用器皿已在清洗間已有一些，額外的器皿需向平臺(tái)管理員申請(qǐng)。3. 填寫(xiě)加工平臺(tái)清洗臺(tái)使用記錄表開(kāi)始時(shí)間4. 防護(hù)用品準(zhǔn)備和穿戴手部防護(hù)：防護(hù)橡膠手套眼部防護(hù)：防護(hù)眼鏡面部防護(hù)：防護(hù)面罩身體防護(hù)：圍裙、護(hù)袖所有無(wú)機(jī)化藥和有機(jī)中的三氯乙烯、四氯化碳、氯苯均需要穿戴完整防護(hù)，其余有機(jī)化藥需要佩戴防護(hù)眼鏡和手套5. 化學(xué)品操作（1）均須在通風(fēng)柜內(nèi)進(jìn)行，使用后立即蓋緊蓋子（3）對(duì)于不明化學(xué)品，嚴(yán)禁任何操作，并通知平臺(tái)工作人員（4）在使用8槽清洗機(jī)（需要考試）進(jìn)行清洗樣片時(shí)，必須使用指定的公共清洗器皿，按照平臺(tái)清洗機(jī)的操作規(guī)程進(jìn)行操作。未經(jīng)平臺(tái)規(guī)定的培訓(xùn)、未通過(guò)資格認(rèn)證考試的人員不得擅自

7、使用和操作清洗設(shè)備（ 8槽清洗機(jī)和甩干機(jī)等）。（5）不可將氫氟酸放置在石英和玻璃類(lèi)器皿中（6）在進(jìn)行無(wú)機(jī)加熱時(shí)需選擇石英制品，并觀察石英外觀，有裂痕或破損不能使用 （7）工作姿勢(shì)：上身應(yīng)避免前傾至清洗槽上方，防止危險(xiǎn)污染（8）在用而無(wú)人看管情況下而放置于公開(kāi)、公共位置的任何溶液必須放置清晰明確的指示標(biāo)志 （ 誰(shuí)的 、 什么溶液 、 放多長(zhǎng)時(shí)間 ）（9）原則上有機(jī)清洗需在有機(jī)清洗間進(jìn)行，無(wú)機(jī)清洗、酸堿腐蝕在無(wú)機(jī)腐蝕間進(jìn)行。嚴(yán)禁在同一排風(fēng)柜同時(shí)進(jìn)行有機(jī)和無(wú)機(jī)清洗（10）清洗操作時(shí)，要節(jié)約使用化藥和無(wú)塵紙等耗材。新液化藥只能用于清洗樣品，嚴(yán)禁新液用于其他用途。要選用適合的器皿，不得用大的器皿清洗小的

8、樣品。化藥用量參考：液面蓋過(guò)樣品不要超過(guò)1CM。（11）處理無(wú)機(jī)廢液時(shí)，要注意選擇好相應(yīng)的廢液桶，倒廢液之前加入5倍以上的去離子水稀釋?zhuān)饬蛩岢猓?，其中廢液稀釋的水包括原溶液中的水。（12）廢濃硫酸桶中存放廢液有：廢濃硫酸占總體積大于50以上的廢液；廢純濃硫酸。兩者廢液都不需要稀釋?zhuān)苯拥谷霃U濃硫酸桶。如果廢液中濃硫酸總體積比小于50，則需要加5倍以上去離子水稀釋?zhuān)◤U濃硫酸加入水）倒入廢酸桶。PS：1. 超聲機(jī)用完后關(guān)閉電源及蓋子2. 化藥高度不要超過(guò)樣品1cm3. 傾倒廢液時(shí)，面部?jī)A斜離開(kāi)廢液桶口，防止廢液倒錯(cuò)桶噴射出來(lái)，濺到面部6. 操作結(jié)束（1）廢液必須按照要求和指示倒入相應(yīng)的廢液回收

9、桶，嚴(yán)禁直接倒入下水道內(nèi)（2）所用化學(xué)藥品歸放原位（裝有自行配制化學(xué)制劑的容器：必須有明確的標(biāo)識(shí)及帶可以旋緊的蓋子，并放入相應(yīng)藥品柜內(nèi)）（3）認(rèn)真清洗使用過(guò)的器皿和工具，干燥后，拿走妥善保管（4）清洗臺(tái)面并務(wù)必保持臺(tái)面整潔干爽（5）所用個(gè)人防護(hù)用品使用完畢，必須沖洗干凈避免化學(xué)藥品殘留在防護(hù)用品上，影響他人使用，使用完畢后放回原位（6）有機(jī)無(wú)機(jī)分開(kāi)，酸堿分開(kāi)，濃酸和稀酸分開(kāi)的原則（7）HF和BOE一起回收和存放，丙酮、乙醇、異丙醇有機(jī)溶劑一起回收和存放（8）稀堿單獨(dú)回收和存放（9）按照每個(gè)桶貼上標(biāo)簽或標(biāo)識(shí)，傾倒和回收化學(xué)廢液（10）桶蓋不要擰緊7. 防護(hù)用品脫下8. 填寫(xiě)加工平臺(tái)清洗臺(tái)使用記錄

10、表相關(guān)內(nèi)容與結(jié)束時(shí)間并簽名化學(xué)藥品知識(shí)化學(xué)品侵入人體三途徑：（1）皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用大量流動(dòng)清水沖洗至少15分鐘，就醫(yī)（安全淋浴器）（2）眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動(dòng)清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘，就醫(yī)（洗眼裝置 ）（3）吸入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢如呼吸困難，給輸氧，如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)（3）食入：腐蝕性：用水漱口，不可催吐。就醫(yī)非腐蝕性：飲足量溫水，催吐。就醫(yī)。（4）小量泄漏：用大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統(tǒng)（5）遇到玻璃割傷時(shí)，必須先將傷口中的玻璃碎片全部取出，然后用酒精消毒，再用消毒棉和繃帶包好，就醫(yī)（6）如燒傷或高溫燙傷，皮

11、膚起泡，可用醫(yī)用酒精洗滌，再用消毒的紗布包好，切不可把泡弄破，就醫(yī)。應(yīng)急處理常識(shí)1. 遇到玻璃割傷時(shí)，必須先將傷口中的玻璃碎片全部取出，然后用酒精消毒，再用消毒棉和繃帶包好，就醫(yī)。2. 如燒傷或高溫燙傷，皮膚起泡，可用醫(yī)用酒精洗滌，再用消毒的紗布包好，切不可把泡弄破，就醫(yī)。急救箱103室不銹鋼貨架的左邊最底層急救箱主要用于緊急止血、消毒、包扎酸類(lèi)腐蝕：氫氟酸、BOE：易揮發(fā)、強(qiáng)腐蝕性、強(qiáng)刺激性，可致人體灼傷（1）皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用“六氟靈”沖洗（一分鐘內(nèi)），流水繼續(xù)沖洗至少15分鐘就醫(yī)。（2）眼睛接觸：立即提起眼瞼，用“六氟靈”沖洗（一分鐘內(nèi)），流水繼續(xù)沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。（

12、3）吸入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。（4）食入：用水漱口，不可催吐。就醫(yī)。（5）小量泄漏：用大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統(tǒng)。六氟靈在1樓有機(jī)、2樓無(wú)機(jī)清洗間都有其他酸類(lèi)：皮膚接觸：流水沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。眼睛接觸：流水沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。吸入：空氣新鮮處、輸氧、人工呼吸。就醫(yī)。小量泄漏：大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統(tǒng)。（1）硝酸、硫酸、磷酸、鹽酸、氫溴酸、甲酸、冰乙酸強(qiáng)腐蝕性、強(qiáng)刺激性，可致人體灼傷用水漱口，不可催吐。就醫(yī)。（2）草酸本品可燃，有毒，具強(qiáng)腐蝕性、強(qiáng)刺激性，可致人體灼傷盡快用清水洗胃。就醫(yī)。（

13、3）檸檬酸本品可燃，具刺激性飲足量溫水，催吐。就醫(yī)堿類(lèi)皮膚接觸：流水沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。眼睛接觸：流水沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。吸入：空氣新鮮處、輸氧、人工呼吸。就醫(yī)。（1）氫氧化鉀、氫氧化鈉 氨水、 氨水、TMAH用水漱口，不可催吐。就醫(yī)。（2）重鉻酸鉀本品助燃，強(qiáng)氧化劑，為致癌物，具強(qiáng)腐蝕性、刺激性，可致人體灼傷。食入：用水漱口，不可催吐。就醫(yī)。（3）氟化氨有毒，具強(qiáng)刺激性、易分解食入：用水漱口，就醫(yī)。（4）碘化鉀有毒，還原劑食入：飲足量溫水，催吐。就醫(yī)。有機(jī)物皮膚接觸：流水充分沖洗。就醫(yī)。眼睛接觸：流水充分沖洗。就醫(yī)。吸入：空氣新鮮處、輸氧、人工呼吸。就醫(yī)。小量泄漏：大量水沖洗，洗水稀

14、釋后放入廢水系統(tǒng)。（1）甲醇 乙醇 異丙醇本品易燃，具刺激性食入：飲足量溫水，催吐。就醫(yī)（2）丙酮本品極度易燃，易揮發(fā)，具刺激性 、有毒食入：飲足量溫水，催吐。就醫(yī)。（3）酯類(lèi)、醚、烯類(lèi)（乙酸正戊脂、丙二醇甲醚醋酸酯）（脂類(lèi)性質(zhì)一般都相同）低毒 、易燃食入：飲足量溫水，催吐。就醫(yī)。其他類(lèi)皮膚接觸：流水沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。眼睛接觸：流水沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。吸入：空氣新鮮處、輸氧、人工呼吸。就醫(yī)。小量泄漏：大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統(tǒng)。（1）溴酸性腐蝕品，有毒，氧化劑食入：用水漱口，不可催吐。就醫(yī)。（2）碘刺激性，有毒，可能灼傷食入：飲足量溫水，催吐。就醫(yī)。（3）雙氧水本品助燃，具強(qiáng)

15、刺激性、爆炸性強(qiáng)氧化劑食入：飲足量溫水，催吐。就醫(yī)。回收時(shí)要求稀釋后放至廢堿桶常用小型設(shè)備快速退火爐溫度范圍：150-1300度冷卻水：運(yùn)行前一定要打開(kāi)溫度降到300度以下才能關(guān)閉溫度曲線設(shè)定應(yīng)有預(yù)熱段：一般預(yù)熱溫度為200度，時(shí)間為100-150秒，這樣可以延長(zhǎng)燈的壽命和提高溫度重復(fù)性。臺(tái)階儀禁止在探針掃描過(guò)程中接觸操作臺(tái)禁止在探針掃描過(guò)程中移動(dòng)樣品禁止在探針落下?tīng)顟B(tài)時(shí)更換樣品膜厚儀膜厚儀是精密的光學(xué)部件構(gòu)成, 外界的沖擊或拆卸儀器都可能造成無(wú)法恢復(fù)的損傷，所以在使用和移動(dòng)時(shí)需要格外小心用于調(diào)焦的標(biāo)樣要注意表面的保護(hù)光學(xué)輪廓儀樣片要求：非金屬膜層，非透明膜層，上下臺(tái)面平整。1.保證所測(cè)樣品的

16、清潔度,背面不要有油脂類(lèi)/腐蝕類(lèi)物質(zhì)2.在放置樣品的時(shí)候盡量放置在載片臺(tái)中心位置,盡量避免使用鑷子滑動(dòng)樣品,可通過(guò)拖動(dòng)軟件圖形中的箭頭,用步進(jìn)電機(jī)來(lái)調(diào)整,避免劃傷載片臺(tái)面3.注意開(kāi)關(guān)機(jī)的順序,保證 硬件設(shè)備都打開(kāi)后再開(kāi)測(cè)試 軟件4.在調(diào)整臺(tái)面傾斜度的時(shí)候,注意觀察鏡頭與樣品的距離,防止樣品劃傷鏡頭5.如果短時(shí)間不使用設(shè)備請(qǐng)把設(shè)備光源強(qiáng)度調(diào)整到最暗6.PSI模式：粗糙度小于160nm7.VSI模式：粗糙度大于160nm，最高達(dá)1mm.數(shù)碼顯微鏡1.不能讓鏡頭與樣品或者載物臺(tái)接觸2.未使用的光纖頭必須罩上保護(hù)帽3.光纖頭與計(jì)算機(jī)連接時(shí)要小心，以免損壞4.攝像頭更換要小心，卡口對(duì)準(zhǔn)，以免損壞5.高倍顯微鏡未使用時(shí)必須用 保護(hù)蓋保護(hù)鏡頭6.未使用的顯微鏡，必須用保護(hù)蓋保護(hù)攝像頭與顯微鏡的連接處7.暫不使用或使用結(jié)束后，必須將燈光調(diào)到最暗，以延長(zhǎng)燈的使用壽命，然后關(guān)機(jī)萊卡金相顯微鏡1.不能讓鏡頭與樣品或者載物臺(tái)接觸，旋轉(zhuǎn)改變鏡頭時(shí)，切不可把著鏡頭旋轉(zhuǎn)，而應(yīng)旋轉(zhuǎn)整個(gè)卡盤(pán)2.調(diào)節(jié)樣品臺(tái)高度時(shí)，必須用手扶好整個(gè)載臺(tái)3.暫不使用或使用結(jié)束后，必須將燈光調(diào)到最暗