蔡司場發(fā)射掃描電鏡操作培訓(xùn)-zlm

1、蔡司場發(fā)射掃描電鏡操作培訓(xùn)安全規(guī)則 設(shè)備的電源一定要確保持續(xù)和穩(wěn)定。 當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)短路，起火等重大緊急故障時，切斷設(shè)備電源和UPS電源。電源開關(guān)見下圖紅圈 當(dāng)樣品臺移動的時候，一定要在TV模式下，確保其不會碰撞到探頭。（尤其是在樣品臺上升的過程中）要要求求WD8mm 平時觀測時，注意不要碰到左邊的操縱桿，以免樣品高度和傾斜度發(fā)生變化，損壞鏡頭和探測器！ 開關(guān)倉門時必須輕拉輕推，避免撞擊，震動極易損壞探測器。安全規(guī)則 樣品一定要粘牢在樣品臺上，樣品高度應(yīng)基本一致，樣品表面平整，樣品大小不得超出大樣品臺邊緣（3英寸硅片一次只能放入一片），高度不得超過30mm,重量不得超過500g。 不允許放入：液體

2、、有機(jī)、生物、不耐熱、熔融蒸發(fā)、松動粉末或碎屑等有揮發(fā)物樣品?。婄R鏡筒最怕污染，無VP模式） 凡是不導(dǎo)電樣品必須鍍導(dǎo)電膜。 樣品臺一定要卡緊在樣品室基座上，左右不得晃動！樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向樣品臺背面：卡槽樣品臺背面：卡槽 樣品觀測結(jié)束后，一律將高壓關(guān)掉（EHT OFF），否則會影響燈絲壽命。 如需要回收樣品，則取出樣品后必須抽真空，否則會增加抽真空的時間和難度。 關(guān)上氮?dú)馄块y門。 把重新設(shè)定的參數(shù)改回。 數(shù)據(jù)刻錄一定要用實(shí)驗(yàn)室提供的光盤專門在此機(jī)器上刻錄，禁止使用在其它機(jī)器上刻錄過的光盤，禁止使用U盤和移動硬盤。 設(shè)備的電源一定要保持持續(xù)和穩(wěn)

3、定，無需開關(guān)硬件電源，每次實(shí)驗(yàn)后只需關(guān)閉電腦顯示器電源。注注 意意 事事 項(xiàng)項(xiàng) 制樣過程中，手不能直接接觸小樣品架及樣品臺，防止手上的油脂等雜質(zhì)污染真空系統(tǒng)，要戴手套。 需要傾斜樣品時，需經(jīng)電鏡管理老師同意，不得自行傾斜樣品！ 放置電鏡的臺子不能放置其它物體，不能將身體靠在臺子上！ 電鏡室溫度范圍：214C；濕度65。 使用者不得更改計算機(jī)內(nèi)之任何設(shè)定或私自加載任何軟件，不得將樣品臺、小樣品架等電鏡室內(nèi)的物品攜出SEM實(shí)驗(yàn)室。 樣品臺須放在干凈的培養(yǎng)皿中操作，不能直接放在桌子上或其它不潔凈物體上面。用完后，樣品臺放入培養(yǎng)皿中蓋好。 測試時須換鞋，不得攜帶任何食物入內(nèi)，測試完后打掃衛(wèi)生，保持掃描

4、電鏡室干凈整潔。 測試完后必須進(jìn)行登記！電鏡室隔間電鏡室隔間隔間放有高純氮?dú)怃摳糸g放有高純氮?dú)怃撈?、水循環(huán)機(jī)、瓶、水循環(huán)機(jī)、UPS電電源、干泵、空氣壓縮源、干泵、空氣壓縮機(jī)。機(jī)。由于隔間內(nèi)無空調(diào)，由于隔間內(nèi)無空調(diào)，水循環(huán)機(jī)給機(jī)器降溫水循環(huán)機(jī)給機(jī)器降溫散熱量很大，所以隔散熱量很大，所以隔間門要打開，不得關(guān)間門要打開，不得關(guān)閉，尤其在夏天，否閉，尤其在夏天，否則水循環(huán)機(jī)負(fù)荷太大則水循環(huán)機(jī)負(fù)荷太大會損壞。會損壞。開關(guān)機(jī)操作說明FESEM 主機(jī)的開機(jī)首先將水冷機(jī)打開。確認(rèn)控制面板上的3個燈亮（紅圈中）。右側(cè)的水機(jī)溫度下降到左側(cè)的設(shè)定溫度。檢查水機(jī)后面的壓力表的讀數(shù)。如果有壓縮空氣機(jī)的話，打開壓縮空氣機(jī)

5、。確保輸出壓力達(dá)到6 bar。注意：本機(jī)長時間開機(jī)，一般操作人員只需在Standby按鈕亮起時，按下旁邊ON按鈕，綠燈長亮后即可進(jìn)行下一步操作。FESEM 主機(jī)的關(guān)機(jī)按下黃色的Standby按鈕（設(shè)備除真空和MPSU電路板外的所有電路板關(guān)閉電源）。等待30秒后。按下紅色的Off按鈕。設(shè)備的所有電路板關(guān)閉。15分鐘后關(guān)閉水冷機(jī)和壓縮空氣機(jī)。注意事項(xiàng)：開機(jī)以前，一定要提前把空調(diào)打開。讓房間里的溫度控制到指定要求。并很穩(wěn)12小時。當(dāng)空調(diào)停機(jī)的時候，應(yīng)立即關(guān)閉主機(jī)和水機(jī)！注意：關(guān)機(jī)由管理員進(jìn)行，一般測試人員不需要進(jìn)行此項(xiàng)操作，只需按下進(jìn)行EHT off，關(guān)閉軟件，按下Standby按鈕。操作軟件簡介說

6、明Smart軟件的啟動雙擊桌面上的快捷鍵 或者在開始菜單中選擇START PROGRAMS SMARTSEM SMARTSEM USER INTERFACE 軟件啟動后，自動對設(shè)備的硬件進(jìn)行檢測。當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)硬件問題時，軟件將自動出現(xiàn)提示自檢完畢后，在EM server log on 對話框中輸入用戶名和密碼，進(jìn)入SmartSem軟件。system無密碼軟件簡介：SEM Control 面板（啟動快捷鍵Ctrlg)操作軟件簡介點(diǎn)擊此處，可以選擇燈絲的開關(guān)和高壓的開關(guān)嚴(yán)禁擅自更改Fil I和Extractor V處的數(shù)值。如需更改，請先取得服務(wù)工程師的同意。雙擊或者拉動滑塊可以改變不同的EHTSE

7、M Control: Gun 界面SEM control: Detector 面板選擇不同的探頭選擇SE2 探頭收集極電壓值選擇兩種不同探頭的信號進(jìn)行混合混合信號時，兩個探頭的信號比例調(diào)節(jié)圖像的亮度調(diào)節(jié)圖像對比度SEM Control: Aperture 面板選擇不同的尺寸的光闌激活此處，可進(jìn)行光闌對中光闌對中燈絲對中像散校準(zhǔn)電子束移動高電流模式觀察六孔光闌的位置和形狀SEM Control: Scan 面板選擇圖像存儲的分辨率掃描速度圖像的凍結(jié)是以手動形式還是掃完整幅圖片后積分次數(shù)或者是平均次數(shù)圖像噪音去除的六種方式選擇：幀平均，幀積分，線平均，線積分，像素平均，連續(xù)平均。SEM Contr

8、ol：Stage界面樣品臺目前所在的位置雙擊數(shù)據(jù)區(qū)，輸入你想要去的位置。輸入后，樣品臺移動到你輸入的位置。點(diǎn)擊功能塊，輸入你要移動的距離。例如：現(xiàn)在樣品臺X，Y的位置在64.125，64.485 你想讓X和Y方向各移動2mm，你可在XY 激活后輸入2，2后點(diǎn)擊OK即可。激活此處：樣品臺泄真空時，Z方向自動下降到最低點(diǎn)激活此處：樣品的上升時，SEM的工作距離自動進(jìn)行更改。激活此處：樣品臺控制器失效SEM Control：Vacuum界面點(diǎn)擊Pump，樣品室開始抽真空。點(diǎn)擊Vent，泄掉樣品室內(nèi)的真空。激活此處：當(dāng)機(jī)器在Standby狀態(tài)時，真空泵停止工作?？旖萱I：詳細(xì)說明見下。操作軟件簡介操作軟

9、件簡介操作軟件簡介操作軟件簡介數(shù)據(jù)區(qū)：顯示電鏡當(dāng)前的一些參數(shù)控制真空，燈絲開關(guān)，EHT的開關(guān)。當(dāng)Gun或者EHT出現(xiàn)綠勾時，代表正在工作。Vac出現(xiàn)綠勾時，代表真空已經(jīng)達(dá)到工作要求操作軟件簡介顯示鼠標(biāo)左鍵和中鍵當(dāng)前的功能操作軟件簡介基本介紹操作軟件簡介導(dǎo)出保存設(shè)定保存設(shè)定預(yù)覽或更改保存設(shè)定導(dǎo)入注解保存設(shè)定管理保存注解操作軟件簡介點(diǎn)擊Display LUT可以對圖片的明亮對比度，三元色進(jìn)行修改跳出對話框操作軟件簡介雙擊Toolbar有管理權(quán)限的人員才可以對菜單上的快捷鍵進(jìn)行修改跳出對話框操作軟件簡介雙擊或者Ctrl+A跳出注解對話框操作軟件簡介選擇注解對象選擇鼠標(biāo)控制撤銷上次更改導(dǎo)入注解保存注解

10、刪除所有注解導(dǎo)出區(qū)域選擇加入文字注解導(dǎo)出參數(shù)插入用戶bmp格式圖片圓型注解區(qū)長方形注解區(qū)注解區(qū)直線粘帖面板放大區(qū)域微標(biāo)尺固定長度標(biāo)尺點(diǎn)對點(diǎn)距離測量角度測量正四邊形測量圓測量左右寬測量上下寬測量可移動左右寬測量可移動上下寬測量操作軟件簡介激活對話框后調(diào)出狀態(tài)欄激活對話框后調(diào)出用戶工具欄操作軟件簡介數(shù)據(jù)區(qū)控制激活后，屏幕上顯示米字準(zhǔn)線操作軟件簡介可以確定SEM Control 面板上的Fil I & Extractor V的數(shù)據(jù)是否正確（圖片數(shù)據(jù)為模擬，每臺機(jī)器，燈絲數(shù)據(jù)都不同）操作軟件簡介常見問題：當(dāng)使用AsB探頭時，如果看不見影像。請先檢查一下左圖的設(shè)置是否在“high”,然后檢查工作

11、距離，EHT是否過低。光闌尺寸是否過小。操作軟件簡介樣品臺進(jìn)行初始化。常見問題：當(dāng)水冷機(jī)出現(xiàn)不正常工作后，重新啟動水冷機(jī)并使之正常工作。有時會發(fā)生樣品臺不能動，重新啟動電鏡，EM Server 提示樣品臺沒有初始化。這時需要初始化樣品臺操作軟件簡介樣品臺位置的保存和調(diào)取常見問題：調(diào)取樣品臺位置的時候，一定要確定是同一個樣品臺和樣品。以防止不同樣品臺和樣品尺寸的不同，會碰撞到儀器的探測器或物鏡。操作軟件簡介連續(xù)中心點(diǎn)：激活此功能后，屏幕上出現(xiàn)一個十字座標(biāo)。拖動十字座標(biāo)到感興趣點(diǎn)，點(diǎn)擊鼠標(biāo)左鍵。感興趣點(diǎn)將自動移到屏幕中心。操作軟件簡介樣品臺導(dǎo)航器：顯示樣品座的位置和一些參數(shù)。請注意：這只代表樣品座

12、的位置。不是樣品的位置。操作軟件簡介用戶名和密碼的設(shè)定：在Tools下來菜單中選擇Administrator輸入管理者的用戶名和密碼后出現(xiàn)以下對話框選擇Users中的New操作軟件簡介在下面填入相應(yīng)的用戶名，密碼，保存目錄和選擇不同的權(quán)限操作電鏡的基本流程 將樣品放入樣品室，抽真空（抽真空時手推緊一下倉門）。真空度達(dá)到5.00e-005mbar以下時，可打開設(shè)定的高壓，取像。 移動樣品臺，使樣品在物鏡正下方，調(diào)節(jié)樣品和物鏡之間的工作距離。選擇需要的光闌和探頭。放大倍率到最小。使用鼠標(biāo)聚焦，調(diào)節(jié)光闌對中和像散。提高放大倍數(shù)，再聚焦，調(diào)節(jié)光闌對中和像散。如此類推，至需要的放大倍數(shù)。 用去除噪音的模

13、式，取得高質(zhì)量的圖片保存到指定的硬盤目錄中。 關(guān)閉高壓，泄真空，取出樣品。操作電鏡的基本流程樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向操作電鏡的基本流程關(guān)于光闌，EHT和工作距離設(shè)定的一些原則不同的EHT，最大的工作距離也不同。詳見下表操作電鏡的基本流程樣品臺控制器：當(dāng)1號操縱桿上下移動，控制樣品臺上下移動。當(dāng)1號操縱桿左右移動，控制樣品臺左右傾斜。當(dāng)2號操縱桿上下左右移動，控制樣品臺前后左右移動。當(dāng)旋擰2號操縱桿，控制樣品臺順時或逆時旋轉(zhuǎn)。圖片保存：當(dāng)圖片凍結(jié)后，鼠標(biāo)移動到圖片上，點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵后， 選擇Send to，然后選擇需要保存圖片的格式操作電鏡的基本流程選中需要保存的圖片格式后，跳出左邊的對

14、話框選擇你要保存的目錄輸入要保存圖片的名字保存圖片操作電鏡的基本流程調(diào)出圖片(請注意只有TIFF格式的圖片才能SmartSem軟件中調(diào)出）：鼠標(biāo)移動到屏幕中央。點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵，點(diǎn)擊Import Tiff操作電鏡的基本流程點(diǎn)擊Import TIFF后，跳出以下對話框選擇要調(diào)入圖片的文件夾選擇要調(diào)入的圖片電鏡離子泵烘烤流程第1步：關(guān)閉電子槍和高壓請注意：這個一定不能忘記！如果沒有關(guān)閉，會發(fā)生危險第2步：用3mm的內(nèi)六角，松開電纜線頭部的四顆螺絲第3步：拔出電纜線，并用鋁箔紙蓋住上面的孔洞和電纜頭第4步：在Tools Goto Panel Bakeout選擇需要烘烤的時間，點(diǎn)擊bakeout start第5步：插入還原請