粉末冶金制作流程的工藝介紹（課堂PPT）

1、1主要內(nèi)容主要內(nèi)容第一章第一章 粉末制備新技術(shù)粉末制備新技術(shù)第二章第二章 成型新技術(shù)成型新技術(shù)第二章第二章 燒結(jié)技術(shù)燒結(jié)技術(shù)2第一章第一章 粉末的制備新技術(shù)粉末的制備新技術(shù)制備粉末的三種途徑：制備粉末的三種途徑： 固態(tài)固態(tài) 液態(tài)液態(tài) 粉末粉末 氣態(tài)氣態(tài)3機(jī) 械 研 磨 氣 流 研 磨機(jī) 械 制 粉液 體 霧 化 蒸 發(fā) 凝 聚物 理 制 粉氣 相 沉 積 還 原 化 合 電 化 學(xué) 法化 學(xué) 制 粉粉 末 的 制 備4 固態(tài)固態(tài) 粉末粉末1 1、金屬（合金）、金屬（合金）金屬粉末：機(jī)械粉碎，電化腐蝕金屬粉末：機(jī)械粉碎，電化腐蝕2 2、金屬氧化物（鹽類）、金屬氧化物（鹽類）金屬粉末：還原法金屬粉

2、末：還原法3 3、金屬非金屬化合物、金屬非金屬化合物 金屬化合物粉末：還原化合法金屬化合物粉末：還原化合法金屬氧化物非金屬化合物金屬氧化物非金屬化合物第一章第一章 粉末的制備新技術(shù)粉末的制備新技術(shù)5 機(jī)械研磨機(jī)械研磨 氣流研磨氣流研磨6機(jī)械制粉方法的實(shí)質(zhì)就是利用動(dòng)能來破壞材料的內(nèi)結(jié)合力，機(jī)械制粉方法的實(shí)質(zhì)就是利用動(dòng)能來破壞材料的內(nèi)結(jié)合力，使材料分裂產(chǎn)生新的界面。使材料分裂產(chǎn)生新的界面。機(jī)械研磨法機(jī)械研磨法 能夠提供動(dòng)能的方法可以設(shè)計(jì)出許多種，例如有錘搗、能夠提供動(dòng)能的方法可以設(shè)計(jì)出許多種，例如有錘搗、研磨、輥軋、等，其中除研磨外，其他幾種粉碎方法主要研磨、輥軋、等，其中除研磨外，其他幾種粉碎方

3、法主要是用于物料破碎及粗粉制備的。是用于物料破碎及粗粉制備的。7 物料顆粒受機(jī)械力作用而被粉碎時(shí)，還會(huì)發(fā)生物質(zhì)結(jié)物料顆粒受機(jī)械力作用而被粉碎時(shí)，還會(huì)發(fā)生物質(zhì)結(jié)構(gòu)及表面物理化學(xué)性質(zhì)的變化，這種因機(jī)械載荷作用導(dǎo)致構(gòu)及表面物理化學(xué)性質(zhì)的變化，這種因機(jī)械載荷作用導(dǎo)致顆粒晶體結(jié)構(gòu)和物理化學(xué)性質(zhì)的變化稱為機(jī)械力化學(xué)。顆粒晶體結(jié)構(gòu)和物理化學(xué)性質(zhì)的變化稱為機(jī)械力化學(xué)。研磨的理論基礎(chǔ)研磨的理論基礎(chǔ) 機(jī)械力化學(xué)機(jī)械力化學(xué)8 顆粒結(jié)構(gòu)變化，如表面結(jié)構(gòu)自發(fā)地重組，形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)顆粒結(jié)構(gòu)變化，如表面結(jié)構(gòu)自發(fā)地重組，形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)或重結(jié)晶或重結(jié)晶 顆粒表面物理化學(xué)性質(zhì)變化，如表面電性、物理與化學(xué)吸顆粒表面物理化學(xué)性質(zhì)變化

4、，如表面電性、物理與化學(xué)吸附、溶解性、分散與團(tuán)聚性質(zhì)附、溶解性、分散與團(tuán)聚性質(zhì) 在局部受反復(fù)應(yīng)力作用區(qū)域產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，如由一種物質(zhì)在局部受反復(fù)應(yīng)力作用區(qū)域產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，如由一種物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N物質(zhì)，釋放出氣體、外來離子進(jìn)入晶體結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N物質(zhì)，釋放出氣體、外來離子進(jìn)入晶體結(jié)構(gòu)中引起原物料中化學(xué)組成變化。中引起原物料中化學(xué)組成變化。9球磨制粉包括四個(gè)基本要素：球磨筒磨球研磨物料研磨介質(zhì)球磨制粉10 在球磨過程中，球磨筒將機(jī)械能傳遞到筒內(nèi)的球磨物料及介質(zhì)上，相互間產(chǎn)生正向沖擊力、側(cè)向擠壓力、摩擦力等，當(dāng)這些復(fù)雜的外力作用到脆性粉末顆粒上時(shí)，細(xì)化過程實(shí)質(zhì)上就是大顆粒的不斷解理過程；如果粉末的塑性

5、較強(qiáng)，則顆粒的細(xì)化過程較為復(fù)雜，存在著磨削、變形、加工硬化、斷裂和冷焊等行為，不論何種性質(zhì)的研磨物料，提高球磨效率的基本原則是一致的。111.動(dòng)能準(zhǔn)則：提高磨球的動(dòng)能2.碰撞幾率準(zhǔn)則：提高磨球的有效碰撞幾率球磨制粉的基本原則12滾筒式行星式振動(dòng)式攪動(dòng)式球磨制粉的基本方式1314轉(zhuǎn)速較低時(shí)，球料混合體與筒壁做相對(duì)滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)并保持一定的斜度。隨轉(zhuǎn)速的增加，球料混合體斜度增加，抬升高度加大，這時(shí)磨球并不脫離筒壁；轉(zhuǎn)速達(dá)一臨界值V臨1時(shí)，磨球開始拋落下來，形成了球與筒及球與球間的碰撞；轉(zhuǎn)速增加到某一值時(shí)，磨球的離心力大于其重力，這時(shí)磨球、粉料與磨筒處于相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，此時(shí)研磨作用停止，這個(gè)轉(zhuǎn)速被稱為臨界轉(zhuǎn)

6、速V臨2。15)/(4 .422分轉(zhuǎn)臨界DVD是磨筒的直徑是磨筒的直徑滾筒球磨的轉(zhuǎn)速應(yīng)有一個(gè)限定條件V臨1 V 實(shí)際 V臨2161718192021橫臂均勻分布在不同高度上，并互成一定角度。球磨過程中，磨球與粉料一起呈螺旋方式上升，到了上端后在中心攪拌棒周圍產(chǎn)生旋渦，然后沿軸線下降，如此循環(huán)往復(fù)。只要轉(zhuǎn)速和裝球量合適，在任何情況下磨筒底部都不會(huì)出現(xiàn)死角由于磨球的動(dòng)能是由轉(zhuǎn)軸橫臂的攪動(dòng)提供的，研磨時(shí)不會(huì)存在象滾筒球磨那樣有臨界轉(zhuǎn)速的限制，因此，磨球的動(dòng)能大大增加。同時(shí)還可以采用提高攪動(dòng)轉(zhuǎn)速。減小磨球直徑的辦法來提高磨球的總撞擊幾率而不減小研磨球的總動(dòng)能，這樣才符合了提高機(jī)械球磨效率的兩個(gè)基本準(zhǔn)則

7、。22氣流研磨法 通過氣體傳輸粉料的一種研磨方法。與機(jī)械研磨法不同的是，氣流研磨不需要磨球及其它輔助研磨介質(zhì)。研磨腔內(nèi)是粉末與氣體的兩相混合物。根據(jù)粉料的化學(xué)性質(zhì)，可采用不同的氣源，如陶瓷粉多采用空氣，而金屬粉末則需要用惰性氣體或還原性氣體。由于不使用研磨球及研磨介質(zhì)，所以氣流研磨粉的化學(xué)純度一般比機(jī)械研磨法的要高。231.動(dòng)能準(zhǔn)則：提高粉末顆粒的動(dòng)能2.碰撞幾率準(zhǔn)則：提高粉末顆粒的碰撞幾率氣流研磨制粉的基本原則24由于粉末顆粒的運(yùn)動(dòng)是從流態(tài)氣體中獲得的，因此，提高顆粒的動(dòng)能必須要提高載流氣體的速度。兩種辦法來實(shí)現(xiàn)兩種辦法來實(shí)現(xiàn)提高氣體的入口壓力氣體噴嘴的氣體動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)通過這兩種辦法使噴嘴出口

8、端的氣體流速達(dá)超音速25氣流研磨三種類型：氣流研磨三種類型：旋渦研磨冷流沖擊流態(tài)化床氣流磨262728加速效應(yīng)：加速后的氣體可超過音速；冷卻效應(yīng)：氣粉混合物的溫度能降到零度以下。這兩點(diǎn)對(duì)于顆粒的粉碎十分有利，其一是顆粒的撞擊動(dòng)能增大，其二是金屬顆粒的冷脆性提高。夾帶有粉料的高壓氣流通過一個(gè)稱為拉瓦爾管型硬質(zhì)合金噴嘴噴向空間時(shí)，氣體壓力急劇下降，形成絕熱膨脹過程。這一過程會(huì)同時(shí)產(chǎn)生兩種效應(yīng)29303132可獲得超細(xì)粉體，并且粉末粒度均勻；可獲得超細(xì)粉體，并且粉末粒度均勻；由于氣體絕熱膨脹造成溫度下降，所以可研磨低熔點(diǎn)物料；由于氣體絕熱膨脹造成溫度下降，所以可研磨低熔點(diǎn)物料；粉末不與研磨系統(tǒng)部件發(fā)

9、生過度的磨損，因此粉末雜質(zhì)含量粉末不與研磨系統(tǒng)部件發(fā)生過度的磨損，因此粉末雜質(zhì)含量少；少；針對(duì)不同的性質(zhì)的粉末，可使用空氣、針對(duì)不同的性質(zhì)的粉末，可使用空氣、N2、Ar等惰性氣體。等惰性氣體。流態(tài)化床氣流磨的特點(diǎn)流態(tài)化床氣流磨的特點(diǎn)：33 液態(tài)液態(tài) 粉末粉末1 1、液態(tài)金屬（合金）、液態(tài)金屬（合金）金屬粉末：霧化法金屬粉末：霧化法2 2、金屬鹽溶液、金屬鹽溶液金屬粉末：置換法，溶液氫還原法，水溶液電解金屬粉末：置換法，溶液氫還原法，水溶液電解法法3 3、金屬熔鹽、金屬熔鹽金屬粉末：熔鹽沉淀法，熔鹽電法金屬粉末：熔鹽沉淀法，熔鹽電法第一章第一章 粉末的制備新技術(shù)粉末的制備新技術(shù)34 霧化法是一種

10、典型的物理制粉方法，霧化法是一種典型的物理制粉方法，是通過高壓霧化介質(zhì)，如氣體或水強(qiáng)烈是通過高壓霧化介質(zhì)，如氣體或水強(qiáng)烈沖擊液流，或通過離心力使之破碎、冷沖擊液流，或通過離心力使之破碎、冷卻凝固來實(shí)現(xiàn)的。卻凝固來實(shí)現(xiàn)的。霧化制粉法35霧化霧化聚并聚并凝固凝固36過程一：大的液珠當(dāng)受到外力沖擊的瞬間，破碎成數(shù)個(gè)小液滴，假設(shè)在破碎瞬間液體溫度不變，則液體的能量變化可近似為液體的表面能增加。很明顯，霧化時(shí)液體吸收的能量與霧化液滴的粒徑存在一個(gè)對(duì)應(yīng)關(guān)系，即：吸收的能量越高則粒徑越?。环粗嗳?。37過程二：液體顆粒破碎的同時(shí)，還可能發(fā)生顆粒間相互接觸，再次成為一個(gè)較大的液體顆粒，并且液體顆粒形狀向球形轉(zhuǎn)

11、化，這個(gè)過程中，體系的總表面能降低，屬于自發(fā)過程。過程三：液體顆粒冷卻形成小的固體顆粒。381、能量交換準(zhǔn)則、能量交換準(zhǔn)則 提高單位時(shí)間、單位質(zhì)量液體從系統(tǒng)中吸提高單位時(shí)間、單位質(zhì)量液體從系統(tǒng)中吸收能量的效率，以克服表面自由能的增加。收能量的效率，以克服表面自由能的增加。2、快速凝固準(zhǔn)則、快速凝固準(zhǔn)則 提高霧化液滴的冷卻速度，防止液體微粒提高霧化液滴的冷卻速度，防止液體微粒的再次聚集。的再次聚集。提高霧化制粉效率基本準(zhǔn)則提高霧化制粉效率基本準(zhǔn)則39雙流霧化雙流霧化 指被霧化的液體流和噴射的介質(zhì)流；單流霧化單流霧化 直接通過離心力、壓力差或機(jī)械沖擊力實(shí)現(xiàn)霧化40 雙流霧化法雙流霧化法氣霧化水霧化

12、注：適合于金屬粉末制備41 金屬液由上方孔流出時(shí)與沿一定角度高速射擊的氣體或金屬液由上方孔流出時(shí)與沿一定角度高速射擊的氣體或水相遇，然后被擊碎成小液滴，隨著液滴與氣體或水流的混水相遇，然后被擊碎成小液滴，隨著液滴與氣體或水流的混合流動(dòng)，液滴的熱量被霧化介質(zhì)迅速帶走，使液滴在很短的合流動(dòng)，液滴的熱量被霧化介質(zhì)迅速帶走，使液滴在很短的時(shí)間內(nèi)凝固成為粉末顆粒。時(shí)間內(nèi)凝固成為粉末顆粒。42霧化過程的四種情況霧化過程的四種情況動(dòng)能交換：霧化介質(zhì)的動(dòng)能轉(zhuǎn)變?yōu)榻饘僖旱蔚谋砻婺埽粺崃拷粨Q：霧化介質(zhì)帶走大量的液固相變潛熱；流變特性變化：液態(tài)金屬的粘度及表面張力隨溫度的降低而不斷發(fā)生變化；化學(xué)反應(yīng)：高比表面積顆粒

13、（液滴或粉粒）的化學(xué)活性很強(qiáng)，會(huì)發(fā)生一定程度的化學(xué)反應(yīng)。43氣霧化的四個(gè)區(qū)域氣霧化的四個(gè)區(qū)域負(fù)壓紊流區(qū)負(fù)壓紊流區(qū)高速氣流的抽吸作用，在噴嘴中心孔下方形成負(fù)壓紊流層；高速氣流的抽吸作用，在噴嘴中心孔下方形成負(fù)壓紊流層；顆粒形成區(qū)顆粒形成區(qū)在氣流沖擊下，金屬液流分裂為許多液滴；在氣流沖擊下，金屬液流分裂為許多液滴；有效霧化區(qū)有效霧化區(qū)氣流匯集點(diǎn)對(duì)原始液滴產(chǎn)生強(qiáng)烈破碎作用，進(jìn)一步細(xì)化；氣流匯集點(diǎn)對(duì)原始液滴產(chǎn)生強(qiáng)烈破碎作用，進(jìn)一步細(xì)化；冷卻凝固區(qū)冷卻凝固區(qū)細(xì)化的液滴的熱量迅速傳遞給霧化介質(zhì)，凝固為粉末顆粒。細(xì)化的液滴的熱量迅速傳遞給霧化介質(zhì)，凝固為粉末顆粒。4445氣霧化制粉的影響因素氣霧化制粉的影響

14、因素（1）氣體動(dòng)能（2）噴嘴結(jié)構(gòu)（3）液流性質(zhì)（4）噴射方式46 離心霧化法離心霧化法離心霧化法是借助離心力的作用將液態(tài)離心霧化法是借助離心力的作用將液態(tài)金屬破碎為小液滴，然后凝固為固態(tài)粉金屬破碎為小液滴，然后凝固為固態(tài)粉末顆粒的方法。末顆粒的方法。1974年，首先由美國提年，首先由美國提出旋轉(zhuǎn)電極霧化制粉法，后來又發(fā)展了出旋轉(zhuǎn)電極霧化制粉法，后來又發(fā)展了旋轉(zhuǎn)錠模、旋轉(zhuǎn)園盤等離心霧化方法。旋轉(zhuǎn)錠模、旋轉(zhuǎn)園盤等離心霧化方法。47旋轉(zhuǎn)電極法旋轉(zhuǎn)電極法粉末平均粒度為粉末平均粒度為D=（M0。12/wd0。64）(r/ m)0。43式中式中 M 熔化速度熔化速度 d陽極直徑陽極直徑 W角速度角速度 D

15、熔體表面張力熔體表面張力 m密度密度484950旋轉(zhuǎn)錠模法（又稱旋轉(zhuǎn)坩堝法）：旋轉(zhuǎn)錠模法（又稱旋轉(zhuǎn)坩堝法）：51旋轉(zhuǎn)盤法旋轉(zhuǎn)盤法：旋轉(zhuǎn)盤法最早于1976的美國Pratt & Whitney 飛機(jī)制造公司研制出，用來制備超合金粉末。這種方法獲得的粉末平均粒度同園盤轉(zhuǎn)速有關(guān)，轉(zhuǎn)速越高，則平均粒度越小，細(xì)粉收得率越高。52霧化盤轉(zhuǎn)速，r/minRevolution of atomizing disc12000 24000 36000粉末平均粒度，mMean powder particle size187 154 135100 目粉末收得率，Recovery rate of 100 mech

16、powder33.0 44.5 56.0粉末平均粒度及100目以下粉末收得率隨霧化盤轉(zhuǎn)速而變化的情況535455旋轉(zhuǎn)輪法旋轉(zhuǎn)輪法56旋轉(zhuǎn)杯旋轉(zhuǎn)杯57旋轉(zhuǎn)網(wǎng)旋轉(zhuǎn)網(wǎng)58 氣態(tài)氣態(tài) 粉末粉末1 1、金屬蒸汽、金屬蒸汽金屬粉末：蒸汽冷凝法金屬粉末：蒸汽冷凝法2 2、氣態(tài)金屬羰基物、氣態(tài)金屬羰基物金屬粉末：羰基物熱離解法金屬粉末：羰基物熱離解法3 3、氣態(tài)金屬鹵化物、氣態(tài)金屬鹵化物金屬粉末：氣相氫還原法金屬粉末：氣相氫還原法4 4、氣態(tài)金屬鹵化物、氣態(tài)金屬鹵化物金屬化合物粉末：化學(xué)氣相沉積法金屬化合物粉末：化學(xué)氣相沉積法第一章第一章 粉末的制備新技術(shù)粉末的制備新技術(shù)59 氣相沉積制粉是通過某種形式氣相沉

17、積制粉是通過某種形式的能量輸入，使氣相物質(zhì)發(fā)生氣的能量輸入，使氣相物質(zhì)發(fā)生氣固相變或氣相化學(xué)反應(yīng)，生成金屬固相變或氣相化學(xué)反應(yīng)，生成金屬或陶瓷粉體?；蛱沾煞垠w。v 物理氣相沉積法物理氣相沉積法v 化學(xué)氣相沉積法化學(xué)氣相沉積法60一、化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)類型一、化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)類型分解反應(yīng))()()(氣固氣nNmMaA8 化學(xué)氣相沉積法化學(xué)氣相沉積法)()()()(氣固氣氣nNmMbBaA化合反應(yīng)61二、化學(xué)氣相沉積制粉原理二、化學(xué)氣相沉積制粉原理1. 化學(xué)反應(yīng)化學(xué)反應(yīng)2. 2. 均相形核均相形核3. 3. 晶粒生長晶粒生長4. 4. 團(tuán)團(tuán) 聚聚制粉過程包括四個(gè)步驟制粉過程包括四個(gè)步驟：620l

18、nbBnNoPPRTGG化合反應(yīng)化合反應(yīng)由上式可知，化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的控制因素包括：1）反應(yīng)溫度、2）氣相反應(yīng)物濃度、3）氣相生成物濃度1.1.化學(xué)反應(yīng)化學(xué)反應(yīng)對(duì)一個(gè)確定的化學(xué)反應(yīng)，判斷其能否進(jìn)行的熱力學(xué)判據(jù)為：0lnaAnNoPPRTGG分解反應(yīng)分解反應(yīng)63 氣相反應(yīng)發(fā)生后的瞬間，在反應(yīng)區(qū)內(nèi)形成了產(chǎn)物蒸氣，氣相反應(yīng)發(fā)生后的瞬間，在反應(yīng)區(qū)內(nèi)形成了產(chǎn)物蒸氣，當(dāng)反應(yīng)進(jìn)行到一定程度時(shí)，產(chǎn)物蒸氣濃度達(dá)到過飽和狀態(tài)，當(dāng)反應(yīng)進(jìn)行到一定程度時(shí)，產(chǎn)物蒸氣濃度達(dá)到過飽和狀態(tài)，這時(shí)產(chǎn)物晶核就會(huì)形成。由于體系中無晶種或晶核生成基這時(shí)產(chǎn)物晶核就會(huì)形成。由于體系中無晶種或晶核生成基底，因此反應(yīng)產(chǎn)物晶核的形成是個(gè)均勻形核

19、過程。底，因此反應(yīng)產(chǎn)物晶核的形成是個(gè)均勻形核過程。假設(shè)晶核為球形，半徑為假設(shè)晶核為球形，半徑為r r，則形成一個(gè)晶核，體系自由能，則形成一個(gè)晶核，體系自由能的變化為：的變化為：23434rGrGr2.2.均勻形核均勻形核為固氣相的體積自由能差為晶核的表面能rG64臨界形核半徑rr對(duì)應(yīng)大小的晶核則被稱為臨界晶核Gr6520ln2PPKTr202222ln316PPTKG晶核的表面能晶核中原子或分子的體積玻爾茲曼常數(shù)產(chǎn)物的氣相分壓產(chǎn)物的飽和蒸氣壓，過飽和程度。KPP0P/P066結(jié)論： 溫度越高，過飽和度越大，則臨界晶核尺寸越小，晶核形成能越低，對(duì)晶體生成越有利。67 均相晶核形成之后，穩(wěn)定存在的

20、晶核便開始晶粒生長過程。小晶粒通過對(duì)氣相產(chǎn)物分子的吸附或重構(gòu)，使自身不斷長大。理論和實(shí)踐都表明：晶粒生長過程主要受產(chǎn)物分子從反應(yīng)體系中向晶粒表面的擴(kuò)散遷移速率所控制。3.3.晶粒生長晶粒生長 68 顆粒之間由于存在著較弱的吸附力作用，主要包括范德華力、靜電引力等，顆粒之間會(huì)發(fā)生聚集，顆粒越小，則聚集效果越明顯，這一現(xiàn)象被稱為團(tuán)聚。對(duì)于超微粉末，團(tuán)聚是一個(gè)普遍存在并不容忽視的問題，在實(shí)際使用超微粉末時(shí)，如果不能有效地解決團(tuán)聚問題，則粉末就可能失去其特有的性質(zhì)。4.4.團(tuán)團(tuán) 聚聚 69三、化學(xué)氣相沉積類型三、化學(xué)氣相沉積類型 熱分解法熱分解法 氣固氣242HCCH熱分解法中最為典型的就是羰基物熱分

21、解，它是一種由金屬羰基化合物加熱分解制取粉末的方法，整個(gè)過程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)就是制備金屬羰基化合物neCOM70 )(44氣固CONiCONi第一步：合成羰基鎳第一步：合成羰基鎳第二步：羰基鎳熱分解第二步：羰基鎳熱分解CONiCONi4)(4氣71氣 相 氫 還 原 還原劑-氫氣氣相金屬熱還原 還原劑-低熔點(diǎn)、低沸點(diǎn)的金屬（Mg、Ca、Na）兩類反應(yīng)的反應(yīng)物均選用低沸點(diǎn)的金屬鹵化物且以氯化物為主HClMeHMeCln2 氣相還原法氣相還原法72 復(fù)合反應(yīng)法是一種重要的制取無機(jī)化合物，包括碳化物、氮化物、硼化物和硅化物等方法，這種方法既可制備各種陶瓷粉體也可進(jìn)行陶瓷薄膜的沉積。所用的原料是金屬鹵化物(以氯化物為主)，在一定溫度下，以氣態(tài)參與化學(xué)反應(yīng)。 復(fù)合反應(yīng)法復(fù)合反應(yīng)法73HClCMeHHCMeClbanmx2 氣固氣氣HClTiCHHCTiCl63228341. 碳化物反應(yīng)通式碳化物反應(yīng)通式74HClNMeNHMeClbax3HClNMeHNMeClbax22 氣固氣HClNSiNHSiCl2443342. 氮化物反應(yīng)通式氮化物反應(yīng)通式75HClBMeHBClMeClbax23HClTiBHBClTiCl10522234氣氣3. 硼化物反應(yīng)通式硼化物反應(yīng)通式76HClSiMeHSiClMeClbax24HClMoSiHSiClMoCl16284222454