可靠性是IGZO 實用化的最大課題

1、【IDW】可靠性是氧化物TFT實用化面臨的最大課題2013/12/12        顯示器相關(guān)國際會議“20th International Display Workshops（IDW'13）”（2013年12月46日，札幌會議中心）共迎來了約1150位與會者。人數(shù)雖然略少于與“Asia Display”在京都聯(lián)合舉辦、為期4天的上屆IDW（2012年），但考慮到此次的地點設(shè)在北海道，而且會期僅為3天，本屆會議可以說取得了圓滿成功。 表1：在“AMD（Active Matrix Displays）”會議上

2、發(fā)表的論文紅字是與氧化物TFT相關(guān)的論文，綠底色是與提高氧化物TFT可靠性相關(guān)的論文，黃底色框是以應用于柔性顯示器為目標的論文。另外，IGZO是InGaZnO的縮寫。 （點擊放大）       表1匯總了在“AMD（Active Matrix Displays）”會議上發(fā)表的論文的概要。雖說話題的中心仍是氧化物，但今年還特別設(shè)置了副標題為“Special Topics on Interest on Oxide TFT”的四場分會。七場分會中，四場的主題都是關(guān)于氧化物TFT的課題，其中兩場與提高可靠性有關(guān)（表中綠框）。也就是說

3、，會議的安排反映出了業(yè)內(nèi)的共識：確?？煽啃允茄趸颰FT實用化的首要課題。        按照國家和地區(qū)來統(tǒng)計這30篇論文的第一作者，結(jié)果如下： ·日本11篇 ·臺灣地區(qū)6篇 ·韓國5篇 ·中國大陸地區(qū)3篇 ·歐洲地區(qū)3篇 ·美國2篇        其中，韓國的論文數(shù)量不及從前，中國大陸和臺灣地區(qū)的論文數(shù)量則有所增加。

4、就在幾年前，中國大陸和臺灣地區(qū)的論文數(shù)量還比韓國落后了好幾年。但從2013年的論文數(shù)量來看，其實力穩(wěn)步增長，研發(fā)水平也在不斷攀升。特別是大陸地區(qū)，論文數(shù)量在今后估計還將持續(xù)增加。 關(guān)于氧化物TFT的論文引人注目        提高氧化物TFT可靠性的分會上共有8篇論文，韓國占據(jù)了其中4篇。由此可見，無論是對量產(chǎn)猶豫不決的三星，還是已經(jīng)開始少量量產(chǎn)有機EL電視、但遲遲未能拿出業(yè)務擴大戰(zhàn)略的LG，確保氧化物TFT的可靠性都是首要課題。三星顯示器建議為確保可靠性使用UV退火工藝（論文序號：AMD4-2）。LG顯

5、示器也認為，通過優(yōu)化退火條件，可以確?？煽啃詽M足要求（論文序號：AMD5-4L）。        但氧化物TFT的優(yōu)勢在于“只需部分改造非晶硅（a-Si）TFT的生產(chǎn)線即可投產(chǎn)”，這一點受到了很高的期待，倘若“需要退火工藝”，在成本競爭力方面，難免會大幅落后于a-Si。因此，希望研究人員能實現(xiàn)技術(shù)突破、用盡可能簡單的工藝確保足夠的可靠性。        深圳市華星光電技術(shù)有限公司使用IGZO TFT試制了32英寸UHD(4K)液晶電視（

6、論文序號：AMD4-4）。布線使用銅線，一開始便將目標對準了高清電視。中國企業(yè)如今也達到了能夠試制出這種先進面板的水平。        柔性顯示器雖然另行開設(shè)了研討會，但AMD中也不乏涉及柔性的論文（表中黃底色）?！把趸?柔性”的組合儼然正在成為一種趨勢。        友達光電此次的表現(xiàn)十分突出，共發(fā)表了三篇關(guān)于氧化物TFT的論文，分別是使用氧化物TFT背板、通過分涂蒸鍍方式試制的65英寸有機EL電視（論文序號：AMD2-1），22

7、0下在塑料基板上形成的IGZO TFT（論文序號：AMD2-3），采用涂布工藝制成的IGZO TFT（論文序號：AMD5-2）。還有一篇論文是關(guān)于512ppi窄邊框低溫多晶硅（LTPS）TFT液晶面板（論文序號：6-4L）。 柔性和觸摸相關(guān)研討會盛況空前        除了AMD，在其他研討會上，與柔性和觸摸面板相關(guān)的內(nèi)容也比比皆是。村田制作所發(fā)布了使用高透明度壓電薄膜的傳感器器件（論文序號：INP1-2）。該薄膜能夠檢測出彎曲和扭曲，通過結(jié)合已有的靜電容量式傳感器，有望催生出嶄新的應用。如果嵌入柔性顯示器中，或許可以實現(xiàn)許多有趣的操作。比如，安裝在“Wii Fit”（任天堂的游戲軟件）的可穿戴輸入系統(tǒng)中，就能讓全家人玩得盡興，而且，如果能通過握拍的方式來區(qū)分抽擊和旋轉(zhuǎn)球，網(wǎng)球游戲或許還能更加真實。        展板會議上還有不少關(guān)于三維（3D）顯示器和觸摸面板的論文，令筆者大飽眼福。筆者心中不禁感慨：尚未投入實用的技術(shù)萌芽竟然如此之多。對于關(guān)系到用戶接口的技術(shù)，在展板會議上發(fā)表或許更加簡明易懂。