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正電子譜學(xué)原理n 正電子n 正電子湮沒n 雙光子湮沒n = 2n 正電子壽命n 湮沒光子的能量和Doppler展寬n 湮沒光子的角關(guān)聯(lián)2g湮滅過程中動(dòng)量守恒的矢量圖Doppler展寬的線性參數(shù)n 正電子源= 放射性同位素= 單能慢正電子束正電子實(shí)驗(yàn)n 正電子湮沒技術(shù)(70年代)n 正電子湮沒譜學(xué)(80年代)n 正電子譜學(xué)(90年代后期)n 正電子譜學(xué)的主要特點(diǎn): = 對(duì)固體中原子尺度的缺陷研究和微結(jié)構(gòu)變化十分敏感,是其他手段無法比擬的。= 對(duì)研究材料完全無損傷,可進(jìn)行生產(chǎn)過程中的實(shí)時(shí)測(cè)量,能夠滿足某些特點(diǎn)的測(cè)量要求。= 理論比較完善,可以精確計(jì)算很多觀測(cè)量同實(shí)驗(yàn)進(jìn)行比較。= 固體內(nèi)部的信息由光子毫無失真的帶出,對(duì)樣品要求低,不需特別制備或處理,不受半導(dǎo)體導(dǎo)電類型和載流子濃度等因素影響。= 作為電子的反粒子,正電子容易鑒別,又能形成電子偶素,可以替代電子探針來獲得材料中更多的信息,在許多實(shí)驗(yàn)中能夠大大降低電子本底。正電子譜學(xué)基本實(shí)驗(yàn)技術(shù)n 正電子壽命譜n 湮滅能譜的Doppler展寬及其S參數(shù)n 湮沒輻射的角關(guān)聯(lián)n 慢正電子束= 慢正電子束裝置= 單能正電子的注入深度= 正電子擴(kuò)散慢正電子束流的慢化體結(jié)構(gòu)其中,S: 22Na源 P: 鉛屏蔽 M: 鎢慢化體 T: 靶材料 C: 有補(bǔ)償線圈 D: 高純鍺探測(cè)器 E: 液氮冷卻裝置Slowpos-USTC:慢電子束流裝置示意圖Slowpos-USTC:慢電子束的數(shù)據(jù)測(cè)量和控制系統(tǒng)= 慢正電子束特點(diǎn):u 可探測(cè)真實(shí)表面(幾個(gè)原子層)的物理化學(xué)信息u 探測(cè)物體內(nèi)部局域電子密度及動(dòng)量分布u 可獲得缺陷沿樣品深度的分布n 單能正電子平均注入深度的經(jīng)驗(yàn)公式:正電子譜學(xué)應(yīng)用之一Open volume defects of superconducting thin film YBa2Cu3O7-d高溫超導(dǎo)體中空位型缺陷不僅是不可避免的,而且也是必須的。外延薄膜的臨界電流密度比相應(yīng)的塊材單晶高約三個(gè)量級(jí)。單能慢正電子束是研究薄膜空位型缺陷的有效方法。n Open volume defects of superconducting thin film YBa2Cu3O7-d= 空位型缺陷與沉積條件的關(guān)系X Y Zhou et al , J Phys. CM 9, L61Phys.Rev. B54, 1398Phys.Lett. A225, 143Physica C 281, 335= 相同空氣分壓,襯底溫度越高,正電子平均壽命越小= 相同襯底溫度,空氣分壓越高,正電子平均壽命越大= 空位型缺陷的正電子壽命(360ps)不變= 結(jié)論u 空位型缺陷的類型與沉積條件無關(guān)u 相同空氣分壓,襯底溫度越高,缺陷越少;相同襯底溫度,空氣分壓越高,缺陷越多u 空位型缺陷對(duì)應(yīng)的是陽離子空位及其復(fù)合體n 正電子壽命的溫度依賴關(guān)系= 平均壽命隨溫度的降低而降低= I2 隨溫度的降低而降低= Tau2隨著溫度的降低而升高= (塊材)平均壽命隨溫度的降低而升高= (塊材)Tau2 與和摻雜量溫度無關(guān)= Summaryu 深淺捕獲中心共存u 深捕獲中心(缺陷)在低溫下有長(zhǎng)大的趨勢(shì),可能形成心的磁通釘扎中心n 結(jié)論= 高溫超導(dǎo)薄膜中存在兩類缺陷u 淺捕獲中心位錯(cuò)、孿生晶界等u 深捕獲中心陽離子空位及其復(fù)合體= 陽離子空位及其復(fù)合體的尺度與沉積條件無關(guān)= 低溫下,缺陷有長(zhǎng)大的趨勢(shì)正電子譜學(xué)應(yīng)用之二分子束外延硅薄膜的質(zhì)量評(píng)價(jià)分子束外延生長(zhǎng)半導(dǎo)體薄膜襯底溫度的重要性最佳生長(zhǎng)溫度LTMBE慢正電子束技術(shù)無損檢測(cè)外延膜質(zhì)量n 實(shí)驗(yàn)結(jié)果樣品號(hào)108010791087108610031078外延層厚(nm)9209206706807401130生長(zhǎng)溫度()RT400475525575700Sd/Sb1.1361.1071.0231.0221.0031.002Sd/Sb空位型缺陷類型1.021.03單空位1.031.04雙空位1.5大的空位或空位團(tuán)不同生長(zhǎng)溫度下分子束外延樣品S參數(shù)X Y Zhou et al, Materials Science Forum 363-365 (2001), 475 ;n 結(jié)論 生長(zhǎng)溫度與薄膜質(zhì)量室溫小空位團(tuán)500左右單空位575空位型缺陷基本消失700銻擴(kuò)散的影響正電子譜學(xué)應(yīng)用之三離子注入硅產(chǎn)生的缺陷及其退火行為注入及退火條件E(keV)I(A)D(ions/cm2)t2(min)P+900.52101420P2+1800.251101420P+注入樣品的實(shí)驗(yàn)S參數(shù)P+注入硅引起的缺陷及其退火行為退火溫度未退火450()475()500()525()x1(nm)94.387.474.869.263.7x2(nm)250.1240.1200.7194.7186.8Sd/Sb1.0261.0191.0221.0171.008K(b)3228262523x(nm)155.8152.7125.9125.5123.1P2+注入樣品的實(shí)驗(yàn)S參數(shù)P2+注入硅引起的缺陷及其退火行為退火溫度未退火450()475()500()525()x1(nm)71.367.577.164.857.4x2(nm)248.1234.1201.7214.8201.0Sd/Sb1.0251.0201.0221.0311.011K(b)3427302724x(nm)176.8166.6124.6150.0143.0n 結(jié)論(方勢(shì)阱擬合)= 注入引起的缺陷類型= 損傷區(qū)域隨退火溫度增加而變窄;即前沿、后沿均向注入面移動(dòng) = 退火不改變?nèi)毕蓊愋停灰鹑毕轁舛鹊淖兓? P分子離子注入的缺陷層厚一些正電子譜學(xué)應(yīng)用之四界面微結(jié)構(gòu)變化的慢正電子研究n 描述界面的模型S = FSSS+

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