




已閱讀5頁,還剩7頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
質(zhì)量流量控制器簡介,上海堀場貿(mào)易有限公司,質(zhì)量流量控制器主要是由傳感器、電路板和驅(qū)動閥三大部分組成。是能夠?qū)怏w流量做精密測量和控制的一種儀器。主要使用在半導(dǎo)體工業(yè)和平面顯示器制造和太陽能電子方面。 質(zhì)量流量:質(zhì)量流量控制器感測的是通過的氣體的分子量,工作時(shí)不受外界的溫度和壓力的影響。,CONTROL ELECTRONICS (P-I-D),SIGNAL PROCESSING,電源: +/- 15VDC,設(shè)定信號: 05V,輸出信號: 05V,進(jìn)氣端,出氣端,什么是質(zhì)量流量控制器,閥驅(qū)動,傳感器,控制閥,側(cè)流管,MFC 的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖,傳感器的結(jié)構(gòu),熱傳感器,. 根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu),當(dāng)沒有氣體流入時(shí), 傳感器兩邊的溫度呈拋物線狀均勻分布。 當(dāng)有氣體流過時(shí),上流端的自加熱電阻 產(chǎn)生的熱量被帶走,從而兩端形成一定 的溫度差,使傳感器兩邊的溫度曲線分 布不再平衡。,傳感器側(cè)流管,傳感器在不同壓力下的特征,必須使側(cè)流管設(shè)計(jì)為層流結(jié)構(gòu),這樣才能流 出相對穩(wěn)定和精準(zhǔn)的流量 。 (実用新案第號),側(cè)流管在不同壓力下的特征,壓電陶瓷驅(qū)動器,陶瓷的堆棧結(jié)構(gòu),外殼構(gòu)造,干燥的氮?dú)?連接端口,陶瓷驅(qū)動器的內(nèi)部結(jié)構(gòu),MFC 的閥結(jié)構(gòu),陶瓷閥的工作效果圖,提供高的直流電壓,壓電元件,移動方向,壓電元件的伸長,MFC 的閥結(jié)構(gòu),零點(diǎn)對實(shí)際流量的影響,+200mv,-200mv,200mV 5000mV(5V) 0.04(4) 100SCCM44SCCM,SCCM 標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘 SLM 標(biāo)準(zhǔn)立方升每分鐘 1000sccm = 1slm SCCM和SLM是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下的體積單位。標(biāo)準(zhǔn)條件指溫度為零攝氏度,一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的條件。 在美國,標(biāo)準(zhǔn)條件被廣泛接受和認(rèn)同。 .然而,在其它不同的國家通常使用的流量單位除了SCCM和SLM外還有 CCM/ LM (日本) 溫度為 25C, 一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 NCCM/ NLM (日本) 溫度為20C, 一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 CCM作流量單位和SCCM作流量單位的MFC之間的流量相差大約為9.1%。,什么是SCCM /SLM 及區(qū)別,氣體 A,N2,真實(shí)流量,需要流量,QA = C.F.A * QN2,QA : 氣體 A的流量 C.F.A: 氣體A 到N2的轉(zhuǎn)換因數(shù) QN2: N2的流量,轉(zhuǎn)換因數(shù)是一個(gè)平均值。但是實(shí)際的轉(zhuǎn)換因數(shù)可能會因?yàn)榱髁康姆秶屯饨绲膲毫蜏囟鹊挠绊懚杂胁煌?轉(zhuǎn)換因數(shù)是使用氮?dú)膺M(jìn)行轉(zhuǎn)換,如果是用其它氣體作為測量氣體,那么測出的氣體流量值則會偏差很大。,N2,什么是MFC的轉(zhuǎn)換因數(shù),如何選擇合適的質(zhì)量流量控制器,SEC-7330 M C UC Ar 100SCCM 1/4VCR 型號 *1 *2 *3 *4 *5 *6 *1: 選擇密封圈的材質(zhì) M:金屬密封圈 R: 橡膠密封圈 *2: 選擇閥在不供電的情況下的狀態(tài) O: 常開 C: 常
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 第1課神奇的小畫冊(說課稿)
- 《社會學(xué)概論》授課教案
- 座椅發(fā)泡設(shè)計(jì)指南
- 兒童心理障礙的早期干預(yù)和家庭支持
- 浙江省臺州市六校聯(lián)盟2024-2025學(xué)年高一下學(xué)期4月期中語文試卷(含答案)
- 湖北省武漢市部分重點(diǎn)中學(xué)2024-2025學(xué)年高一下學(xué)期期末聯(lián)考語文試卷(含答案)
- 河南省安陽市滑縣2024-2025學(xué)年七年級下學(xué)期5月月考生物試卷(含答案)
- 工廠體驗(yàn)體察活動方案
- 工行信用卡品牌活動方案
- 工廠囤貨活動方案
- Unit 1 Happy Holiday 第6課時(shí)(Project Reading Plus) 2025-2026學(xué)年人教版英語八年級下冊
- 部編人教版三年級上冊語文必記必背
- 2024年西藏公安機(jī)關(guān)招聘警務(wù)輔助人員筆試真題
- 2025江蘇省射陽中等專業(yè)學(xué)校工作人員招聘考試真題
- 2025-2030中國顯示驅(qū)動芯片行業(yè)競爭風(fēng)險(xiǎn)及前景發(fā)展創(chuàng)新研判報(bào)告
- 2025河南省豫地科技集團(tuán)有限公司社會招聘169人筆試參考題庫附帶答案詳解析集合
- 江蘇省2024年普通類本科批次平行志愿投檔線(物理等科目類)
- 《陸上風(fēng)電場工程概算定額》NBT 31010-2019
- 2023 版《中國近現(xiàn)代史綱要》 課后習(xí)題答案
- (完整版)Delmia仿真入門
- QJ165A1995航天電子電氣產(chǎn)品安裝通用技術(shù)要求
評論
0/150
提交評論