TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡介

TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡介Contents減薄的作用1減薄工藝簡介2常見的減薄不良32減薄的作用1.減少占有的空間2.使Glass達(dá)到一定的柔性3減薄工藝簡介用酸堿對Glass進(jìn)行刻蝕，從而達(dá)到減薄的目的。防止酸堿溶液從邊緣處進(jìn)入液晶盒內(nèi)，破壞封框膠，進(jìn)入Cell內(nèi)部，影響產(chǎn)品性能。獲得光亮、平整的表面。封膠減薄研磨4封膠

封膠工藝防止強(qiáng)酸破壞Cell封框膠以及進(jìn)入Cell內(nèi)部1.加蓋遮光墊

2.涂膠

3.擦膠

4.UV固化UV膠破壞TFT結(jié)構(gòu)一般在這之前還會進(jìn)行檢查。涂膠后靜置1min。清除多的UV膠。

UV固化后檢查5封膠UV固化UV燈GLS邊框膠涂膠后檢查涂膠加蓋遮光墊6原理及方式單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡原理1234減薄原理及方式6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O液體+固體（玻璃）->液體7大家有疑問的，可以詢問和交流可以互相討論下，但要小聲點(diǎn)8單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡優(yōu)點(diǎn)：1.可以同時間處理多片玻璃。缺點(diǎn)：1.裝置大型。2.外圍產(chǎn)生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。優(yōu)點(diǎn)：1.可以滿足兩面不同蝕刻要求。多片缺點(diǎn)：1.蝕刻表面易產(chǎn)生凹點(diǎn)。優(yōu)點(diǎn)：

1.表面最光滑，甚至可以不用拋光三種方式優(yōu)缺點(diǎn)9Textinhere蝕刻清洗減薄清洗減薄流程Slimming10減薄設(shè)備其余組件：供酸裝置HF酸濃度計溫度控制器洗氣裝置Loader單元預(yù)清洗單元蝕刻單元清洗單元干燥單元Unloader單元11減薄工藝參數(shù)1.反應(yīng)時間與玻璃質(zhì)量損失的關(guān)系圖1.反應(yīng)時間與玻璃質(zhì)量損失之間的關(guān)系12減薄工藝參數(shù)2.反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度的關(guān)系圖2.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度之間的關(guān)系13減薄工藝參數(shù)3.反應(yīng)速率與HF酸濃度的關(guān)系圖3.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與HF酸濃度之間的關(guān)系說明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因為以氫鍵形式存在的H－F鍵比HF分子中的H－F鍵更脆弱，與SiO2反應(yīng)時更容易斷裂。14減薄清洗單元（后）DI浸泡堿浸泡酸浸泡DI浸泡a.5-10%NaOHb.45℃鼓泡C.10mina.3%HClb.或常溫C.1mina.DI水b.常溫C.5mina.DI水b.常溫C.5min清洗15清洗外觀檢查Polishing外觀檢查Reject研磨1516減薄工藝自身不良1.不可擦拭臟污2.薄化不勻17減薄工藝自身不良玻璃本身含有雜質(zhì).1.除膠未干凈，有殘留2.PT等未清洗干凈1.設(shè)備故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蝕刻方式）3.Nozzle堵塞（噴淋式蝕刻方式）玻璃被蝕刻時局部蝕刻不一致工藝設(shè)備玻璃表面玻璃本身18Slimming后劃傷Slimming前發(fā)生輕微ScratchSlimming后Scratch程度加重HumaneyeinvisibleSlimming19Slimming后劃傷LiftPin凹點(diǎn)20Slimming后劃傷2.Robot吸盤凹點(diǎn)21Slimming后劃傷3.輪印22造成B-ITO不良現(xiàn)象：ADS產(chǎn)品做完B-ITO后，產(chǎn)品與BOX接觸的位置ITO被嚴(yán)重腐蝕，類似產(chǎn)品表面水干燥后殘留的印記。原因：BOX在Slimm