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準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)仿真案例綜述由上文可以看出半導(dǎo)體激光器快慢軸方向上的發(fā)散角具有較大的差異,要提高耦合效率,必須先對(duì)兩個(gè)方向上的光束分別準(zhǔn)直,下面分別對(duì)快軸和慢軸進(jìn)行研究分析:1.1快軸準(zhǔn)直透鏡的設(shè)計(jì)快軸方向上的發(fā)散角較大,準(zhǔn)直后造成的像差也較大,而采用一般的柱透鏡又難以消除像差造成的影響。綜合考慮,選擇非球面柱透鏡對(duì)快軸光束進(jìn)行準(zhǔn)直,以減小像差,提高準(zhǔn)直效率,進(jìn)一步提高耦合效率。在Zemax中,設(shè)光軸為z軸,作為非球面的對(duì)稱軸,以非球面的頂點(diǎn)作為坐標(biāo)原點(diǎn),查資料可得Zemax中的非球面方程表達(dá)式:其中,;r為鏡面孔徑半徑,c為曲率半徑的倒數(shù),k為曲面的圓錐系數(shù),為非球面各階系數(shù)。圖1.1-1光束快軸準(zhǔn)直原理圖光束快軸準(zhǔn)直原理圖如上所示:因?yàn)闇?zhǔn)直之后要求激光光束平行出射,可以根據(jù)費(fèi)馬原理可以得到:可以解得:對(duì)比Zemax中的標(biāo)準(zhǔn)的非球面方程方程可解得:由幾何關(guān)系可知:進(jìn)而可以解得:在半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直后的目標(biāo)光斑半徑已知的情況下,選定一定的材料,即可計(jì)算得到相應(yīng)的非球面參數(shù)。在本文中玻璃材料選擇對(duì)808nm激光有較高折射率的BK7玻璃,其折射率為n=1.5168,出射光斑半徑取y=1mm,可以得到:按照所計(jì)算得到的數(shù)值進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),由于Zemax中在非序列模式下的優(yōu)化較為復(fù)雜,因而選擇在序列模式下采用逆反光路的方法進(jìn)行優(yōu)化,優(yōu)化前后的示意圖如下所示:圖1.1-2優(yōu)化前后光路示意圖(左:優(yōu)化前,右:優(yōu)化后)優(yōu)化后的光斑示意圖如下所示:圖1.1-3快軸透鏡優(yōu)化后SPT光斑圖由上圖可以看出優(yōu)化后的光斑半徑在2.5μm以內(nèi),優(yōu)化后的球差明顯減小,優(yōu)化后的數(shù)值如下所示:圖1.1-4快軸準(zhǔn)直透鏡優(yōu)化后參數(shù)圖將優(yōu)化后的參數(shù)輸入Zemax的非序列模式中進(jìn)行仿真,準(zhǔn)直示意圖如下所示:圖1.1-3快軸準(zhǔn)直示意圖快軸準(zhǔn)直前后發(fā)散角如下圖所示:圖1.1-4快慢軸準(zhǔn)直前后發(fā)散角(左:準(zhǔn)直前;右:準(zhǔn)直后)由以上各圖可以看出,經(jīng)非球面透鏡準(zhǔn)直后的快軸方向光束近似于平行光,發(fā)散角大幅度降低。通過Zemax軟件可以得出,光束快軸方向上的光斑半徑為0.3828mm,發(fā)散半角為0.372度。準(zhǔn)直前后的光參數(shù)積如下:表1.1快軸準(zhǔn)直前后光參數(shù)積光束半徑(mm)發(fā)散半角(mrad)光參數(shù)積(mm·mrad)快軸準(zhǔn)直前0.0005698.13170.3491快軸準(zhǔn)直后0.38286.49262.4851.2慢軸準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì)慢軸準(zhǔn)直透鏡組的準(zhǔn)直原理與快軸準(zhǔn)直透鏡原理基本相同,但是由于慢軸方向上的發(fā)散角較快軸方向上的發(fā)散角小,對(duì)像差要求不是特別高,因而無需采用制作工藝較高的非球面透鏡,但是為了更好的準(zhǔn)直效果,采用兩片普通柱透鏡進(jìn)行準(zhǔn)直,可以起到較好的準(zhǔn)直效果。圖1.2-1慢軸光束準(zhǔn)直原理圖光束準(zhǔn)直原理圖如上所示,根據(jù)物理光學(xué)原理和幾何關(guān)系:為使出射光束發(fā)散角盡可能與光軸平行:可以推導(dǎo)出曲率半徑:在本文中玻璃材料選擇對(duì)808nm激光有較高折射率的BK7玻璃,其折射率為n=1.5168。由于在Zemax的非序列模式中優(yōu)化透鏡參數(shù)十分困難且優(yōu)化得到的參數(shù)準(zhǔn)確度不夠,因而選擇在序列模式下進(jìn)行優(yōu)化,優(yōu)化后光路示意圖如下:圖1.2-2慢軸透鏡組優(yōu)化后光路圖優(yōu)化后的SPT光斑圖如下所示:圖1.2-3慢軸優(yōu)化后光斑圖由上圖可以看出優(yōu)化后的光斑半徑在8μm范圍內(nèi),光斑半徑較小,優(yōu)化后的透鏡參數(shù)如下所示;圖1.2-4慢軸方向透鏡優(yōu)化后參數(shù)將優(yōu)化后的參數(shù)輸入序列模式進(jìn)行仿真可以得到慢軸方向準(zhǔn)直示意圖如下所示:圖1.2-2慢軸方向光束準(zhǔn)直示意圖準(zhǔn)直前后慢軸方向發(fā)散角如下圖所示:圖1.2-3慢軸方向發(fā)散角(左:準(zhǔn)直前;右:準(zhǔn)直后)由以上各仿真圖可以看出,準(zhǔn)直后慢軸方向上的光束近似為平行光。對(duì)于慢軸方向的準(zhǔn)直采用兩片柱透鏡組合進(jìn)行準(zhǔn)直,某種程度上降低了能量的透射率并提高了加工難度,但是降低了發(fā)散角,降低了像差,改善了準(zhǔn)直光束的光束特性。準(zhǔn)直后的發(fā)散半角為0.4112度,準(zhǔn)直前后的光參數(shù)積如下所示:表1.3慢軸準(zhǔn)直前后光參數(shù)積光束半徑(mm)發(fā)散半角(mrad)光參數(shù)積(mm·mrad)慢軸準(zhǔn)直前0.025209.445.236慢軸準(zhǔn)直后1.0797.17687.7437以上分析可以看出經(jīng)準(zhǔn)直后的激光的光參數(shù)積會(huì)變大,這在實(shí)際應(yīng)用中有著更好

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