TQGCML 4573-2024 高精度超潔凈晶圓電化學電鍍腔體網(wǎng)格盤生產制造規(guī)范

ICS31.020CCSH80團 體 標 準T/QGCML4573—2024高精度超潔凈晶圓電化學電鍍腔體網(wǎng)格盤生產制造規(guī)范Manufacturingspecificationforhighprecisionandultracleanwaferelectrochemicalelectroplatingchambergriddisk2024-08-12發(fā)布 2024-08-27實施全國城市工業(yè)品貿易中心聯(lián)合會??發(fā)布T/QGCML4573T/QGCML4573—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次前言 II范圍 1規(guī)范性引用文件 1術語和定義 1縮略語 2場地和人員 2設備 2材料 2加工流程 3成品質量 3環(huán)境保護 3安全 4前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。本文件由常熟市兆恒眾力精密機械有限公司提出。本文件由全國城市工業(yè)品貿易中心聯(lián)合會歸口。本文件主要起草人：羅中平、雷超、趙鵬志。T/QGCML4573T/QGCML4573—2024PAGEPAGE1高精度超潔凈晶圓電化學電鍍腔體網(wǎng)格盤生產制造規(guī)范范圍本文件適用于高精度超潔凈晶圓電化學電鍍腔體網(wǎng)格盤（以下簡稱“網(wǎng)格盤”）的生產制造。規(guī)范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB12348 工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準GB/T12801 生產過程安全衛(wèi)生要求總則GB13456 鋼鐵工業(yè)水污染物排放標準GB15577 粉塵防爆安全規(guī)程GB/T15605 粉塵爆炸泄壓指南GB16297大氣污染物綜合排放標準GB18597危險廢物貯存污染控制標準GB18599一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準術語和定義下列術語和定義適用于本文件。晶圓 wafer硅半導體集成電路制作所用的圓形硅晶片。鍍銅用網(wǎng)格盤 griddiskforcopperplating在晶圓的加工過程中對晶圓進行鍍銅操作時用到網(wǎng)格盤。開粗 opencoarse零件加工過程中的第一個工序，通常從毛坯開始加工。倒角 chamfer把工件的棱角切削成一定斜面的機械加工方式。工裝加工 fixtureprocessing一般指機械加工設備及工裝?？s略語下列縮略語適用于本文件。ABS：丙烯腈-丁二烯-苯乙烯塑料（AcrylonitrileButadieneStyreneplastic）CNC：數(shù)控車床（CNClathe）場地和人員場地應遠離居民生產、生活區(qū)，避免環(huán)境污染、噪音污染、粉塵污染。宜靠近已有的交通運輸線路，電力配套設施應完善。應適應加工規(guī)模需要。布局應合理、分隔清晰。應具備通風換氣設施。人員應掌握網(wǎng)格盤生產制造技術相關的基礎知識，并經過專業(yè)崗位技術培訓，考核合格后，持證上崗。應掌握環(huán)境保護和職業(yè)健康安全相關的基礎知識，能應急生產制造過程中可能出現(xiàn)的問題。應了解廠房的管理制度，并自覺遵守人員著裝和污染防控的各項規(guī)定。應熟練掌握生產設備的操作方法。操作人員應穿戴安全帽、防護眼鏡、耳塞、防護口罩、防護手套、防護服、防護鞋進行加工作業(yè)。操作人員應接受安全生產教育和培訓。新職工上崗前、調換工種人員應進行專門的安全教育培訓。設備主要使用以下加工設備：立式加工中心；數(shù)控車床；鋸床；加熱箱；液氮去毛刺機；內冷鉆；工裝；銑刀等。材料材料選擇選用剛性強、耐磨性好、硬度高、耐高溫沖擊的聚丙烯作為原料。材料接收材料入廠后，倉庫管理人員應確認其生產廠家、產品名稱、規(guī)格及數(shù)量與采購計劃相符，并有相應的質量證明文件（如合格證、出廠檢驗報告等）。材料儲存材料儲存環(huán)境應清潔、通風、干燥、防雨、防潮。加工流程用鋸床將聚丙烯材料切割為整塊板料。上加工中心壓板壓住開粗，外圓銑削一圈工藝凸臺，CNC11011010h，然后空冷至室溫。1mmCNC正面內圓及各臺階尺寸、銑腰型孔到位加工。銑在圓周一圈沉頭孔尺寸到位打正面各孔、牙孔，內腔筋倒角，用工裝打側面孔，控制孔深。ABS1mm上四軸轉角度打內壁側面孔的尺寸到位。采用內冷合金鉆頭進行加工，鉆頭加工前先用銑刀將斜0.1mm，銑反面槽及孔、銑密封槽到位。采用液氮去毛刺機調制聚丙烯材料至合適溫度，將工件放入進機器內，合上后逐步降溫冷凍。旋轉工件并將專用沙噴在表面去除毛刺。上車床去除夾位后，將外徑尺寸到位，刀紋應不粗糙。0.05Mpa，觀察各小孔出水是否均勻且高度一致，不允許有不出水或者斷續(xù)的情況，確認無異常后安裝鈦合金堵頭。采用符合精度要求的量具測量尺寸，合格后進行包裝。采用緩沖泡棉包裹，放入圓形珍珠棉內，檢查是否晃動，確認無異常后貼標簽出貨。出庫前應經倉庫登記和審核，有序出庫。成品質量網(wǎng)格盤表面干凈平整，無氣泡、黑點、變形、劃傷等缺陷。出液孔角度應一致且不貫穿漏液。環(huán)境保護廢氣、廢水生產制造應配套適宜的污染物治理設施。GB16297的規(guī)定。GB13456固體廢棄物貯存生產制造產生的固體廢棄物貯存應符合GB18597、GB18599的規(guī)定。噪聲GB12348應建立、健全安全生產責任制，并做好安全生產計劃工作。GB/T12801