(高清版)GBT 39158-2020 平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶

H62中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶H國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)ⅠGB／T39158—2020本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC243)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：有研億金新材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院、寧波江豐電子材料股份有限公司、沈陽(yáng)有色金屬加工有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：曾浩、羅俊鋒、韓知為、賀昕、董艷霞、陳明、熊曉東、曹歡歡、萬(wàn)小勇、林若虛、1GB／T39158—2020平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶的術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)本標(biāo)準(zhǔn)適用于平面顯示用各種規(guī)格的4N、4N5、5N高純銅旋轉(zhuǎn)管靶產(chǎn)品。2規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T1804—2000一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差GBT5121.27銅及銅合金化學(xué)分析方法第27部分：電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T14265金屬材料中氫、氧、氮、碳和硫分析方法通則YS/T347銅及銅合金平均晶粒度測(cè)定方法YS/T922高純銅化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素含量的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法YS/T1000—2014銅及銅合金管材超聲波縱波探傷方法3術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1旋轉(zhuǎn)管靶一種平板顯示領(lǐng)域用的管狀靶材。注：主要用于電子薄膜沉積。3.2表面粗糙度Ra加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度。輪廓的平均算術(shù)偏差值Ra，即在一定測(cè)量長(zhǎng)度l范圍內(nèi)，輪廓上各點(diǎn)至中線距離y絕對(duì)值的平均算術(shù)偏差。用下式表示：產(chǎn)品的牌號(hào)按純度分三個(gè)牌號(hào)不同牌號(hào)對(duì)應(yīng)的規(guī)格見(jiàn)表1。示例：銅含量為99.995%的旋轉(zhuǎn)銅靶，表示為RCu-4N5。2GB／T39158—2020表1牌號(hào)與規(guī)格牌號(hào)規(guī)格RCu-4NRCu-4N5RCu-5N5技術(shù)要求平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶的化學(xué)成分要求應(yīng)符合表2規(guī)定。表2化學(xué)成分牌號(hào)RCu-4NRCu-4N5RCu-5N銅含量a（質(zhì)量分?jǐn)?shù)不小于雜質(zhì)元素含量不大于 2Al——05As501Bi102Ca——05Cd—101Co 03Cr 01F11 Fe05Mn0501Ni05P3301Pb5401—301Si 05Sn201Te 201Zn1013GB／T39158—2020牌號(hào)RCu-4NRCu-4N5RCu-5N氣體雜質(zhì)元素含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-4不大于C—N—5O55S1注：需方對(duì)某種特定雜質(zhì)元素含量有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商確認(rèn)。減去表中所列雜質(zhì)實(shí)測(cè)總和的余量（不含C、O、N、S)。產(chǎn)品的晶粒度應(yīng)符合表3的規(guī)定，并且晶粒大小分布均勻。需方如有特殊要求時(shí)，由供需雙方商表3平均晶粒度及允許偏差牌號(hào)平均晶粒度及允許偏差RCu-4N≤60±10RCu-4N5≤80±10RCu-5N≤100±10以?xún)?nèi)多個(gè)不連續(xù)缺陷大小應(yīng)不大于0.4長(zhǎng)度不大于35.4外形尺寸及允許偏差產(chǎn)品應(yīng)按照供需雙方簽訂的技術(shù)圖樣進(jìn)行加工，長(zhǎng)度和直徑允許偏差應(yīng)符合表4的規(guī)定，其他尺寸和允許偏差應(yīng)符合技術(shù)圖樣要求。未注公差產(chǎn)品應(yīng)符合GB/T1804—2000中等級(jí)m的要求。表4外形尺寸及允許偏差單位為毫米外形尺寸允許偏差直徑±0.3±0.2長(zhǎng)度±0.2±0.2±0.2±0.2±0.8GB／T39158—20205.5表面粗糙度產(chǎn)品表面應(yīng)清潔光滑，無(wú)指痕、油污、銹蝕、伸潤(rùn)滑痕跡、顆粒附加物和其他沾污，并無(wú)凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷。6試驗(yàn)方法產(chǎn)品中氣體雜質(zhì)元素C、N、O的分析方法按照GB/T14265的規(guī)定執(zhí)行。牌號(hào)的其他雜質(zhì)元素按照GB/T5121.27的規(guī)定進(jìn)行。牌號(hào)的其他雜質(zhì)元素按照YS/T922規(guī)定進(jìn)行，或由供需雙方協(xié)商確定。產(chǎn)品的晶粒度檢驗(yàn)按照YS/T347的規(guī)定進(jìn)行。產(chǎn)品的內(nèi)部質(zhì)量檢驗(yàn)按YS/T1000—2014的規(guī)定進(jìn)行，超聲檢驗(yàn)質(zhì)量驗(yàn)收等級(jí)需為AAA級(jí)。外形尺寸和允許偏差應(yīng)用相應(yīng)測(cè)量精度的量具進(jìn)行檢測(cè)。未注公差按照GB/T1804—2000中等級(jí)m的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。6.5表面粗糙度產(chǎn)品的表面粗糙度通過(guò)粗糙度測(cè)量?jī)x，按照加工技術(shù)圖樣標(biāo)識(shí)尺寸進(jìn)行測(cè)量，或按照供需雙方約定的方法測(cè)定。產(chǎn)品的外觀質(zhì)量用目視檢查，如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，用放大鏡或數(shù)碼顯微鏡進(jìn)行鑒別。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1.1產(chǎn)品由供方檢驗(yàn)部門(mén)進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本標(biāo)準(zhǔn)和訂貨單（或合同）的規(guī)定，并填寫(xiě)質(zhì)量證明書(shū)。7.1.2需方應(yīng)對(duì)收到的產(chǎn)品按本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)行復(fù)驗(yàn)。如復(fù)驗(yàn)結(jié)果與本標(biāo)準(zhǔn)及訂貨單（或合同）的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個(gè)月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，仲裁取樣應(yīng)由供需雙方在需方共同進(jìn)行。產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批應(yīng)由同一牌號(hào)和規(guī)格的產(chǎn)品組成。45GB／T39158—20207.3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣規(guī)定7.3.1產(chǎn)品檢驗(yàn)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量應(yīng)符合表5的表5檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣規(guī)定檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣位置取樣數(shù)量要求的章條號(hào)檢驗(yàn)的章條號(hào)化學(xué)成分鑄錠縮孔下每批取1件5.16.1晶粒度每批取1件，每件取2個(gè)點(diǎn)5.26.2內(nèi)部質(zhì)量成品前逐件5.36.3外形尺寸成品逐件5.46.4表面粗糙度成品逐件5.56.5外觀質(zhì)量成品逐件5.66.67.3.2在生產(chǎn)過(guò)程中，為了不破壞靶材的整體性，晶粒度的檢測(cè)在高純銅靶成品加工前進(jìn)行。取樣示意圖如圖1所示。圖1晶粒度檢驗(yàn)的取樣示意圖7.4檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.4.1檢驗(yàn)結(jié)果的數(shù)值修約和判定按GB/T8170的規(guī)定進(jìn)行。7.4.2化學(xué)成分不合格時(shí)，判該批靶材不合格。7.4.3晶粒度抽檢合格，則該批產(chǎn)品全部合格；抽檢不合格時(shí)，判該件不合格；再?gòu)脑撆a(chǎn)品中加倍抽樣進(jìn)行復(fù)檢，若復(fù)檢全部合格，判定該批其余產(chǎn)品合格；若復(fù)檢仍有不合格，則判整批產(chǎn)品不合格。7.4.4內(nèi)部質(zhì)量、外形尺寸、表面粗糙度、外觀質(zhì)量檢驗(yàn)任一項(xiàng)不合格時(shí)，判該件產(chǎn)品不合格。8.1.1在檢驗(yàn)合格的靶材上，將生產(chǎn)廠標(biāo)志、成分及生產(chǎn)批號(hào)刻在產(chǎn)品指定位置。8.1.2在每個(gè)外包裝上貼紙質(zhì)標(biāo)貼，內(nèi)容包括：a)制造廠名稱(chēng)與地址；客戶名稱(chēng)；f)訂單編號(hào)；物料編號(hào)；6GB／T39158—2020出廠日期；其他。8.2.1產(chǎn)品的清洗、干燥、包裝應(yīng)在潔凈環(huán)境下進(jìn)行，管靶應(yīng)經(jīng)過(guò)全面清洗，真空干燥后每塊單獨(dú)真空包裝。真空袋封口要平整無(wú)貫通，無(wú)真空泄露。8.2.2外包裝采用木箱包裝。包裝箱內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。將質(zhì)量證明書(shū)用塑封袋裝好后粘貼于包裝箱上。8.3運(yùn)輸和貯存運(yùn)輸和貯運(yùn)過(guò)程中，應(yīng)注意防震、防潮、防壓、防止二次污染。8.4