YS/T 1025-2015電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

ICS7715099

H63..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1025—2015

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

High-puritytungstenandtungstenalloysputteringtargetused

inelectronicfilm

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國有色金屬

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

YS/T1025—2015

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20161

*

書號(hào)

:155066·2-29184

版權(quán)專有侵權(quán)必究

YS/T1025—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位寧波江豐電子材料股份有限公司有研億金新材料有限公司北京天龍鎢鉬科技

:、、

股份有限公司株洲凱特實(shí)業(yè)有限公司西安方科新材料科技有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人姚力軍王學(xué)澤丁照崇張濤扶元初袁海軍鄭文翔宋佳蘇國平錢紅兵

:、、、、、、、、、、

袁潔王興權(quán)張玉利王越杜鐵路

、、、、。

Ⅰ

YS/T1025—2015

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)

、、、、

輸貯存訂貨單或合同等內(nèi)容

、、()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材以下簡稱高純鎢及鎢合金靶

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1031(GPS)

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804

致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測定方法

GB/T3850

鎢化學(xué)分析方法第部分硫量的測定燃燒電導(dǎo)法和高頻燃燒紅外吸收法

GB/T4324.2323:

鎢化學(xué)分析方法第部分氧量的測定脈沖加熱惰氣熔融紅外吸收法

GB/T4324.2525:-

鎢化學(xué)分析方法第部分氮量的測定脈沖加熱惰氣熔融熱導(dǎo)法和奈氏試

GB/T4324.2626:-

劑分光光度法

鎢化學(xué)分析方法第部分碳量的測定高頻燃燒紅外吸收法

GB/T4324.2727:

金屬平均晶粒度測定法

GB/T6394

金屬板材超聲波板探傷方法

GB/T8651

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

YS/T837-

高純鎢化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

YS/T900

高純鎢化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T901

3要求

31產(chǎn)品分類

.

311產(chǎn)品按外形分為圓形矩形和異形如三角形等

..、()。

312靶材的背板為銅及銅合金或鋁及鋁合金

..。

313根據(jù)合金材料不同分為純鎢靶鎢鈦合金靶鎢硅合金靶三種靶材

..,、、。

314產(chǎn)品按化學(xué)成分分為

..W-99.999、WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999、

八個(gè)牌號(hào)

WSi-99.99、WSi-99.999。

表示方法和標(biāo)記示例如下

:

-