標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 36646-2018 制備氮化物半導(dǎo)體材料用氫化物氣相外延設(shè)備》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)主要針對用于制備氮化物半導(dǎo)體材料的氫化物氣相外延（HVPE）設(shè)備提出了具體的技術(shù)要求。根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)備需滿足一定的設(shè)計(jì)與制造規(guī)范，以確保其在生產(chǎn)過程中能夠高效、穩(wěn)定地運(yùn)行，并且保證所制備出的氮化物半導(dǎo)體材料具有良好的性能。

標(biāo)準(zhǔn)首先定義了適用范圍，明確了適用于采用氫化物氣相外延技術(shù)進(jìn)行氮化鎵基半導(dǎo)體薄膜生長的專用設(shè)備。接著對術(shù)語和定義進(jìn)行了詳細(xì)說明，包括但不限于“反應(yīng)室”、“載氣系統(tǒng)”等關(guān)鍵組件的專業(yè)解釋，為后續(xù)內(nèi)容的理解打下基礎(chǔ)。

對于設(shè)備的基本參數(shù)和技術(shù)指標(biāo)，該標(biāo)準(zhǔn)給出了明確的規(guī)定，比如溫度控制精度、氣體流量穩(wěn)定性等方面的要求，這些都是影響最終產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素。此外，還特別強(qiáng)調(diào)了安全防護(hù)措施的重要性，如防爆設(shè)計(jì)、緊急停機(jī)功能等，以保障操作人員的人身安全及生產(chǎn)設(shè)備的安全運(yùn)行。

關(guān)于測試方法部分，《GB/T 36646-2018》也做了詳盡描述，涵蓋了從安裝調(diào)試到正式投入使用前所需完成的各項(xiàng)檢測項(xiàng)目及其具體實(shí)施步驟，旨在通過科學(xué)合理的檢驗(yàn)手段來驗(yàn)證設(shè)備是否符合既定標(biāo)準(zhǔn)。


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....

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  • 2018-09-17 頒布
  • 2019-01-01 實(shí)施
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文檔簡介

ICS31220

L95.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36646—2018

制備氮化物半導(dǎo)體材料用

氫化物氣相外延設(shè)備

Equipmentforpreparationofnitridesemiconductormaterialsby

hydridevaporphaseepitaxy

2018-09-17發(fā)布2019-01-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T36646—2018

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

產(chǎn)品分類和標(biāo)記

4…………………………2

分類

4.1…………………2

型號標(biāo)記

4.2……………2

工作條件

5…………………3

電源

5.1…………………3

環(huán)境溫度

5.2……………3

相對濕度

5.3……………3

大氣壓力

5.4……………3

潔凈室等級

5.5…………………………4

冷卻水

5.6………………4

動力氣體

5.7……………4

要求

6………………………4

壓升率

6.1………………4

氣體輸運(yùn)系統(tǒng)

6.2………………………4

電氣系統(tǒng)

6.3……………4

控制軟件

6.4……………4

整機(jī)性能

6.5……………5

安全防護(hù)

6.6……………5

檢測方法

7…………………6

壓升率測試

7.1…………………………6

氣體輸運(yùn)系統(tǒng)檢測

7.2…………………6

電氣系統(tǒng)檢測

7.3………………………6

控制軟件檢測

7.4………………………7

整機(jī)性能檢測

7.5………………………7

安全防護(hù)檢測

7.6………………………9

檢驗(yàn)規(guī)則

8…………………9

檢驗(yàn)分類

8.1……………9

型式檢驗(yàn)

8.2……………9

出廠檢驗(yàn)

8.3……………10

Ⅰ

GB/T36646—2018

判定規(guī)則

8.4……………10

標(biāo)志包裝運(yùn)輸和儲存

9、、…………………10

標(biāo)志

9.1…………………10

包裝

9.2…………………11

運(yùn)輸

9.3…………………11

儲存

9.4…………………11

附錄規(guī)范性附錄氮化物外延材料厚度測量

A()………12

Ⅱ

GB/T36646—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉鵬孫永健丁曉民馮亞彬王健輝

:、、、、。

Ⅲ

GB/T36646—2018

制備氮化物半導(dǎo)體材料用

氫化物氣相外延設(shè)備

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了制備氮化物半導(dǎo)體材料用氫化物氣相外延設(shè)備以下簡稱設(shè)備的產(chǎn)品分

(“HVPE”)

類和標(biāo)記工作條件要求檢測方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸和儲存

、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于制備直徑氮化物半導(dǎo)體材料的設(shè)備

50.8mm~152.4mmHVPE。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191—2008

聲學(xué)聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面上方包絡(luò)測量面

GB/T3768—2017

的簡易法

設(shè)備可靠性試驗(yàn)恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無故障時間的驗(yàn)證試

GB/T5080.7—1986

驗(yàn)方案

機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第部分通用技術(shù)條件

GB5226.1—20081:

運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志

GB/T6388—1986

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264—2009

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073—2013

工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范

GB/T50087—2013

特種

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