GB/T 34002-2017微束分析透射電子顯微術(shù)用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

微束分析透射電子顯微術(shù)用周期結(jié)

構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法

Microbeamanalysis—Analyticaltransmissionelectronmicroscopy—

Methodsforcalibratingimagemagnificationbyusingreference

materialshavingperiodicstructures

(ISO29301:2010,IDT)

2017-07-12發(fā)布2018-06-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語定義和縮寫

3、…………………………1

圖像放大倍率

4……………5

圖像放大倍率的定義

4.1………………5

放大倍率的表示

4.2……………………5

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

5…………………6

總則

5.1…………………6

對(duì)的要求

5.2CRM/RM………………6

儲(chǔ)存與裝卸

5.3…………………………6

校準(zhǔn)步驟

6…………………6

總則

6.1…………………6

安裝

6.2CRM/RM……………………6

設(shè)置校準(zhǔn)的操作條件

6.3TEM………………………7

數(shù)字化圖像的獲得

6.4…………………8

照相底片圖像的數(shù)字化

6.5……………8

數(shù)字圖像上角度修正距離D的測(cè)量

6.6t………………9

校準(zhǔn)像素尺寸的參考標(biāo)尺的數(shù)字化

6.7………………12

圖像放大倍率的校準(zhǔn)

6.8………………13

標(biāo)尺的校準(zhǔn)

6.9…………………………14

僅用光學(xué)底片測(cè)量長(zhǎng)度的校準(zhǔn)法

6.10………………14

圖像放大倍率的精度

7……………………15

測(cè)量結(jié)果的不確定度

8……………………15

校準(zhǔn)報(bào)告

9…………………16

概述

9.1…………………16

校準(zhǔn)報(bào)告的內(nèi)容

9.2……………………16

附錄資料性附錄影響放大倍率的因素

A()TEM……………………18

附錄規(guī)范性附錄圖像放大倍率校準(zhǔn)步驟流程圖

B()…………………19

附錄規(guī)范性附錄平均化線條數(shù)目的確定

C()…………20

確定線條數(shù)目以得到平滑輪廓線的方法

C.1…………20

實(shí)驗(yàn)結(jié)果舉例

C.2………………………20

附錄資料性附錄校準(zhǔn)放大倍率用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

D()……………………22

校準(zhǔn)放大倍率標(biāo)尺的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

D.1(RM)……………22

Ⅰ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

校準(zhǔn)像素尺寸的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

D.2(RM)…………………22

一些純?cè)氐木骈g距

D.3……………23

具有周期性結(jié)構(gòu)的圖像示例

D.4………………………23

附錄資料性附錄放大倍率校準(zhǔn)測(cè)試報(bào)告樣本

E()TEM……………24

參考文獻(xiàn)

……………………32

Ⅱ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用微束分析透射電子顯微術(shù)用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

ISO29301:2010《

校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法

》。

與本標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對(duì)應(yīng)關(guān)系的我國文件如下

:

檢測(cè)和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求

———GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)原文中的下列錯(cuò)誤進(jìn)行了修正

:

圖中數(shù)碼相機(jī)放大倍率MM修改為MM

———111s<gs<f;

中修改為

———6.6.2b)“SRM/RM”“CRM/RM”;

第行將修改為將N和L分別修改為N和L

———6.9.351nm1μm,u(nm)u(nm)u(μm)u(μm);

將第章引用的補(bǔ)充到規(guī)范性引用文件中

———7ISO5725-1:1994;

表中的銀修改為硅是硅的化學(xué)符號(hào)點(diǎn)陣常數(shù)為銀的化

———D.1(Si)(Si),Si(Silicon),0.543nm,

學(xué)符號(hào)是點(diǎn)陣常數(shù)為

Ag,0.409nm。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京科技大學(xué)

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人柳得櫓郜欣權(quán)茂華

:、、。

Ⅲ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

引言

透射電子顯微鏡廣泛地應(yīng)用于一系列重要材料微納米結(jié)構(gòu)的研究例如半導(dǎo)體金屬納米粒子

/,、、、

聚合物陶瓷玻璃食品以及生物材料本標(biāo)準(zhǔn)適用于圖像放大倍率的校準(zhǔn)規(guī)范了應(yīng)用具有周期結(jié)構(gòu)

、、、。,

的有證參考物質(zhì)或參考物質(zhì)校準(zhǔn)透射電鏡圖像放大倍率的要求

。

Ⅳ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

微束分析透射電子顯微術(shù)用周期結(jié)

構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了透射電鏡在很大放大倍率范圍內(nèi)所記錄的圖像的校準(zhǔn)方法用于校準(zhǔn)的標(biāo)

(TEM)。

準(zhǔn)物質(zhì)具有周期性結(jié)構(gòu)例如衍射光柵復(fù)型半導(dǎo)體的超點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)或射線分析的分光晶體以及碳金

,、X、

或硅的晶體晶格像

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于記錄在照相膠片上或成像板上或數(shù)字相機(jī)內(nèi)置傳感器采集的圖像的放大倍

TEM

率本標(biāo)準(zhǔn)也可用于校準(zhǔn)標(biāo)尺但不適用于專用的臨界尺寸測(cè)長(zhǎng)透射電鏡和掃描透射電鏡

。,(CD-TEM)

(STEM)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測(cè)和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

指南與參考物質(zhì)相關(guān)的術(shù)語和定義

ISOGuide30:1992ISO30:1992(Termsanddefinitions

usedinconnectionwithreferencematerials)

指南參考物質(zhì)制造者技能的一般要求

ISOGuide34:2000ISO34:2000(Generalrequirements

forthecompetenceofreferencematerialproducer)

指南參考物質(zhì)認(rèn)證的一般原則和統(tǒng)計(jì)原理

ISOGuide35:2006ISO35:2006