GB/T 28632-2012表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率測(cè)定

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜橫向分辨率測(cè)定

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

photoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution

(ISO18516:2006,IDT)

2012-07-31發(fā)布2013-02-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語(yǔ)定義符號(hào)和縮略語(yǔ)………………

3、、1

一般信息…………………

42

直邊法測(cè)量橫向分辨率…………………

53

柵格法測(cè)量橫向分辨率…………………

68

金島法測(cè)量橫向分辨率…………………

710

附錄資料性附錄帶聚焦射線束斑的儀器橫向分辨率測(cè)定……………

A()XXPS14

附錄資料性附錄二次電子線掃描譜橫向分辨率測(cè)定……………

B()16

附錄資料性附錄俄歇電子線掃描譜橫向分辨率測(cè)定……………

C()17

參考文獻(xiàn)……………………

19

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)采用翻譯法等同采用表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子能

ISO18516:2006《X

譜橫向分辨率測(cè)定

》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院納米技術(shù)及應(yīng)用國(guó)家工程研究中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人徐建陸敏吳立敏朱麗娜辛立輝何丹農(nóng)張冰

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜橫向分辨率測(cè)定

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三種條件下測(cè)量俄歇電子能譜儀和射線光電子能譜儀橫向分辨率的方法直邊

X。

法適用于橫向分辨率預(yù)期值大于的儀器柵格法適合于橫向分辨率預(yù)期值大于小于

1μm。20nm,

的儀器金島法則適用于橫向分辨率預(yù)期值小于的儀器

1μm。50nm。

附錄附錄和附錄給出了測(cè)量橫向分辨率的帶圖的實(shí)例

A、BC。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3術(shù)語(yǔ)定義符號(hào)和縮略語(yǔ)

、、

31術(shù)語(yǔ)和定義

.

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義均適用本文件

GB/T22461—2008。

311

..

橫向分辨率resolutionlateral

,

在樣品表面平面內(nèi)或在與成像光軸成直角的平面內(nèi)能可信地區(qū)分確定成分改變時(shí)所測(cè)試的距離

,。

注1應(yīng)說明平面的選取

:。

注2實(shí)際中橫向分辨率可以認(rèn)識(shí)為樣品上非常小的發(fā)射點(diǎn)發(fā)出的強(qiáng)度分布的半高寬或沿著樣

:,:(i)(FWHM)(ii)

品上與要分辨性質(zhì)有關(guān)的信號(hào)且含有意義明確的臺(tái)階函數(shù)部分進(jìn)行線掃描時(shí)強(qiáng)度在和兩點(diǎn)之間

,12%88%

的距離對(duì)高斯型強(qiáng)度分布而言這兩個(gè)值是相等的對(duì)其他分布而言選擇其他參數(shù)也許更合適對(duì)臺(tái)階

,,。,。

函數(shù)在線掃描譜中常應(yīng)用強(qiáng)度在和兩點(diǎn)之間的距離或和兩點(diǎn)之間的距離對(duì)高斯分布

,20%80%16%84%。

函數(shù)后一對(duì)給出寬度

,2σ。

定義

GB/T22461—2008,5.255

注3對(duì)本標(biāo)準(zhǔn)而言首選樣品的平面測(cè)量

:,。

32符號(hào)和縮略語(yǔ)

.

俄歇電子能譜

AES———;

d入射在樣品表面上電子束軸對(duì)稱束徑