真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀課件

真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀劉甲朋真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀劉甲朋一、真空概述一、真空概述1643年。伽利略（GalileoGalilei）的弟子托里拆利（EvangelistaTorricelli）在意大利佛羅倫薩市（Florence）做了一個(gè)著名的實(shí)驗(yàn)，將一端密封的長(zhǎng)管注滿水銀并倒置在盛有Hg（汞）的槽里時(shí)，發(fā)現(xiàn)了密封的玻璃管中760mm水銀柱頂端產(chǎn)生的真空。從而證實(shí)了大氣的壓力可支撐760mm汞柱的重量。托里拆利實(shí)驗(yàn)1643年。伽利略（GalileoGalilei）的弟子托1654年，德國(guó)工程師蓋利克（OttovonGuericke）利用其發(fā)明的活塞抽氣泵在馬德堡市（Magdeburg）公開表演馬德堡半球?qū)嶒?yàn)，即兩邊各用八匹馬，也不能將合攏在一起的已抽真空的兩個(gè)半球拉開。從此，人們對(duì)大氣壓力有了認(rèn)識(shí)，物理學(xué)家們開始對(duì)低氣壓中的現(xiàn)象進(jìn)行研究，工程師們發(fā)明了各種抽氣機(jī)。馬德堡半球?qū)嶒?yàn)1654年，德國(guó)工程師蓋利克（OttovonGueric陰極射線（Goldstein，1876年）碳絲燈泡（T.A.Edison，1879年）X射線（W.Rontgen,1895年）真空二極管（A.Fleming，1902年）真空三極管（L.Forest，1907年）充氣日光燈（I.Langmuir，1915年）X射線管（W.D.Coolidge，1915年）早期真空相關(guān)發(fā)現(xiàn)和發(fā)明：陰極射線（Goldstein，1876年）早期真空相關(guān)發(fā)現(xiàn)和真空泛指低于地區(qū)大氣壓力的氣體狀態(tài)1、真空的定義：2、真空的特點(diǎn)：與大氣壓有壓力差分子數(shù)密度低平均自由程長(zhǎng)在表面形成單分子層的時(shí)間長(zhǎng)真空泛指低于地區(qū)大氣壓力的氣體狀態(tài)1、真空的定義：2、真空的3、描述真空度的單位：帕斯卡（Pa）：1Pa=1N/m2標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（atm）：1atm=101325Pa巴（bar）：1bar=105Pa托（Torr）：1Torr=1/760atm≈133Pa3、描述真空度的單位：帕斯卡（Pa）：1Pa=1N/m24、真空區(qū)域的劃分根據(jù)GB/T3163-93，真空區(qū)域大致劃分如下：低真空：105Pa~102Pa中真空：102Pa~10-1Pa高真空：10-1Pa~10-5Pa超高真空：10-5Pa~10-9Pa極高真空：<10-9Pa4、真空區(qū)域的劃分根據(jù)GB/T3163-93，真空區(qū)域大致劃二、真空系統(tǒng)用于滿足某種真空工藝要求，具有獲得并測(cè)量、控制有特定真空度的系統(tǒng)稱為真空系統(tǒng)二、真空系統(tǒng)用于滿足某種真空工藝要求，具有獲得并測(cè)量、控制有真空系統(tǒng)的組成1、真空容器2、真空獲得設(shè)備3、真空測(cè)量設(shè)備4、真空控制系統(tǒng)5、真空檢漏真空系統(tǒng)的組成1、真空容器1、真空容器（vacuumchamber）根據(jù)力學(xué)計(jì)算能允許容器的壓力低于環(huán)境壓力的真空密封容器1、真空容器（vacuumchamber）根據(jù)力學(xué)計(jì)算能允常用的真空容器主要有圓形和方形兩種，圓形又分為立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)材質(zhì)通常為304不銹鋼，有特殊要求時(shí)，可以選用其他材料常用的真空容器主要有圓形和方形兩種，圓形又分為立式和臥式兩種2、真空獲得設(shè)備用來(lái)獲得真空的設(shè)備，稱為真空泵，按其工作原理，分為兩大類：壓縮型真空泵：將氣體從泵的入口端壓縮到出口端，并排出泵體外。吸附型真空泵：利用各種吸氣作用將氣體吸附在泵體內(nèi)以達(dá)到降低真空度的作用。2、真空獲得設(shè)備用來(lái)獲得真空的設(shè)備，稱為真空泵，按其工作原理真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀課件羅茨真空泵旋片真空泵螺桿泵分子泵低溫泵羅茨真空泵旋片真空泵螺桿泵分子泵低溫泵羅茨泵機(jī)組羅茨泵機(jī)組真空系統(tǒng)泵組組合真空系統(tǒng)泵組組合3、真空測(cè)量設(shè)備真空度的高低通常用氣體壓強(qiáng)來(lái)表示，氣體壓強(qiáng)越低，真空度越高；反之，氣體壓強(qiáng)越高，真空度越低。真空測(cè)量，就是測(cè)量真空系統(tǒng)的氣體壓強(qiáng)。3、真空測(cè)量設(shè)備真空度的高低通常用氣體壓強(qiáng)來(lái)表示，氣體壓強(qiáng)越按照測(cè)量原理的不同，可將真空計(jì)分為以下三種：（1）壓縮真空計(jì)：先將氣體壓縮，讓其壓強(qiáng)升高，測(cè)出升高后的壓強(qiáng)后，再設(shè)法計(jì)算出原來(lái)的壓強(qiáng)。（2）熱傳導(dǎo)真空計(jì)：利用一根熱的導(dǎo)絲，測(cè)量氣體導(dǎo)熱造成的某些效應(yīng)，如溫度的變化等。（3）電離式真空計(jì)：利用電子碰撞氣體分子，使其電離，然后測(cè)量所得的離子流。按照測(cè)量原理的不同，可將真空計(jì)分為以下三種：各種真空計(jì)適用壓力范圍各種真空計(jì)適用壓力范圍幾種常用真空計(jì)簡(jiǎn)介電容薄膜真空計(jì)原理：壓強(qiáng)改變時(shí)薄膜發(fā)生形變，它和感知電極間的距離改變，從而其間的電容量改變，用電學(xué)的方法測(cè)出電容量，便可通過(guò)校準(zhǔn)確定氣體壓強(qiáng)。量程：其量程有四個(gè)數(shù)量級(jí)，105Pa~10Pa、104Pa~1Pa、103Pa~10-1Pa、102Pa~10-2Pa特點(diǎn)：量程寬(1×105Pa~1×10-2Pa)，精度高，穩(wěn)定性好，測(cè)量結(jié)果與氣體種類無(wú)關(guān)，特別是可以測(cè)量蒸汽和腐蝕性氣體的壓力幾種常用真空計(jì)簡(jiǎn)介電容薄膜真空計(jì)熱陰極電離真空計(jì)原理：使待測(cè)空間的氣體電離，測(cè)量所產(chǎn)生的離子濃度，離子濃度正比于氣體濃度，故在一定壓強(qiáng)范圍內(nèi)常能得到線性的關(guān)系。量程：1~1×10-5Pa優(yōu)點(diǎn)：（1）測(cè)出的為總壓強(qiáng)（2）反應(yīng)迅速，可連續(xù)讀數(shù)，還可遠(yuǎn)距離控制；（3）對(duì)機(jī)械振動(dòng)不敏感缺點(diǎn)：（1）靈敏度與氣體種類有關(guān)（2）壓強(qiáng)高于10-1Pa時(shí)，燈絲易于燒毀。熱陰極電離真空計(jì)4、真空控制系統(tǒng)控制真空系統(tǒng)中機(jī)組的啟停，大門的開、閉，真空系統(tǒng)真空度、溫度的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，稱為真空控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括控制操作界面、顯示界面等。4、真空控制系統(tǒng)控制真空系統(tǒng)中機(jī)組的啟停，大門的開、閉，真空5、真空檢漏技術(shù)一個(gè)理想的真空容器，當(dāng)達(dá)到真空狀態(tài)后，與對(duì)其工作的真空泵隔離，該容器內(nèi)的真空度不應(yīng)改變。而一個(gè)真正容器內(nèi)，則壓強(qiáng)會(huì)上升，這是由于容器壁表面出氣、滲透和漏氣等因素構(gòu)成的。任何一個(gè)真空系統(tǒng)，漏氣時(shí)絕對(duì)的，不漏時(shí)相對(duì)的。一個(gè)真空系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)，實(shí)際就是抽氣與漏氣達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)的壓強(qiáng)。5、真空檢漏技術(shù)一個(gè)理想的真空容器，當(dāng)達(dá)到真空狀態(tài)后，與對(duì)其真空系統(tǒng)的漏氣分為實(shí)漏和虛漏虛漏是指真空容器內(nèi)部有漏源，如材料內(nèi)部有孔洞，或結(jié)構(gòu)上有死空間，其中的氣體不能有效的被真空泵抽走，而是通過(guò)縫隙緩慢地，源源不斷地漏向真空系統(tǒng)，就像有漏孔存在一樣，但又無(wú)法從外部檢測(cè)出來(lái)。它可以通過(guò)選用優(yōu)質(zhì)材料或改變?cè)O(shè)計(jì)方案解決實(shí)漏指與外界連接的漏孔造成的漏氣。它可以通過(guò)適當(dāng)?shù)臋z漏方法和檢漏儀器檢測(cè)出來(lái)。真空系統(tǒng)的漏氣分為實(shí)漏和虛漏真空泄漏測(cè)量指標(biāo)：漏率，單位：Pa?m3/s真空泄漏常用測(cè)量方法：氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏真空泄漏測(cè)量指標(biāo)：漏率，單位：Pa?m3/s6、真空容器設(shè)計(jì)參數(shù)示例容器直徑：DN5000mm；筒體壁厚：20mm（局部加強(qiáng)筋）極限真空：5×10-5Pa（液氮低溫）漏率：

優(yōu)于2×10-5Pa·L/s泵組：羅茨泵干泵機(jī)組、分子泵、低溫泵6、真空容器設(shè)計(jì)參數(shù)示例容器直徑：DN5000mm；容器直徑：DN2500mm；筒體壁厚：16mm極限真空：7×10-5Pa（液氮低溫）漏率：

優(yōu)于2×10-5Pa·L/s泵組：羅茨泵機(jī)組、分子泵、低溫泵容器直徑：DN2500mm；容器直徑：DN1600mm；筒體壁厚：12mm極限真空：2×10-4Pa漏率：

優(yōu)于2×10-5Pa·L/s泵組：雙旋片泵、雙分子泵容器直徑：DN1600mm；三、真空技術(shù)的應(yīng)用從電氣除塵器到食品的真空包裝等日常應(yīng)用，到薄膜合成，核聚變，加速器，宇宙航行領(lǐng)域?yàn)橹?，真空技術(shù)得到廣泛的應(yīng)用三、真空技術(shù)的應(yīng)用從電氣除塵器到食品的真空包裝等日常應(yīng)用，到真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀課件真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀課件與真空技術(shù)有關(guān)的各種行業(yè)及其應(yīng)用實(shí)例與真空技術(shù)有關(guān)的各種行業(yè)及其應(yīng)用實(shí)例四、真空系統(tǒng)示例四、真空系統(tǒng)示例真空鍍膜機(jī)在真空下對(duì)需要鍍膜的產(chǎn)品進(jìn)行鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。應(yīng)用示例：如：衛(wèi)浴五金（如水龍頭、眼鏡片、汽車輪轂、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾（金銀）納米膜和納米疊層膜。真空鍍膜機(jī)在真空下對(duì)需要鍍膜的產(chǎn)品進(jìn)行鍍膜，具體包括很多種類真空爐真空燒結(jié)真空淬火真空釬焊真空冶煉真空爐真空燒結(jié)熱真空環(huán)境模擬設(shè)備用以模擬真空、冷黑和太陽(yáng)輻射3項(xiàng)宇宙空間基本參數(shù)，用于進(jìn)行航天器的熱真空試驗(yàn)和熱平衡試驗(yàn)。熱真空環(huán)境模擬設(shè)備用以模擬真空、冷黑和太陽(yáng)輻射3項(xiàng)宇宙空間大型強(qiáng)子對(duì)撞機(jī)（LHC）大型強(qiáng)子對(duì)撞機(jī)是世界上最大、能量最高的粒子加速器，由34個(gè)國(guó)家超過(guò)兩千位物理學(xué)家所屬的大學(xué)與實(shí)驗(yàn)室所共同出資合作興建的。有大約80個(gè)國(guó)家的7000名科學(xué)家和工程師參與項(xiàng)目建設(shè)。它包含了一個(gè)圓周長(zhǎng)為27公里的圓形隧道，位于地下50至150米之間。隧道本身直徑三米，位于同一平面上，坐落于在瑞士日內(nèi)瓦的歐洲核子研究中心（又名歐洲粒子物理實(shí)驗(yàn)室），橫跨法國(guó)和瑞士的邊境。大型強(qiáng)子對(duì)撞機(jī)（LHC）大型強(qiáng)子對(duì)撞機(jī)是世界上最大、能量最高其他應(yīng)用真空包裝真空干燥真空蒸餾真空輸送真空解凍真空含浸吸塵器其他應(yīng)用真空包裝五、真空列車與真空真空列車是指在密閉的真空管道內(nèi)行駛，不受空氣阻力、摩擦及天氣影響五、真空列車與真空真空列車是指在密閉的真空管道內(nèi)行駛，不受空1、真空管道目前，直徑六米以上，真空度-5、-6量級(jí)的真空容器已可輕易加工完成1、真空管道目前，直徑六米以上，真空度-5、-6量級(jí)的真空容2、真空度獲得各種真空泵技術(shù)已經(jīng)非常完善，但是如何更經(jīng)濟(jì)，更環(huán)保，更快速的獲得項(xiàng)目運(yùn)行所需的真空度，是我們目前需要解決的難題。2、真空度獲得各種真空泵技術(shù)已經(jīng)非常完善，但是如何更經(jīng)濟(jì)，更3、真空度維持各種檢漏技術(shù)已非常完善，對(duì)于特高真空的保持已不再是難題。3、真空度維持各種檢漏技術(shù)已非常完善，對(duì)于特高真空的保持已不結(jié)束語(yǔ)真空技術(shù)近10年間的發(fā)展，核聚變裝置及加速器的研究，幾百m3超高真空容器的制造，10-11Pa的極高真空也能簡(jiǎn)單的獲得。真空技術(shù)在各領(lǐng)域的應(yīng)用不斷擴(kuò)大。今后，作為一項(xiàng)尖端科學(xué)技術(shù)，真空技術(shù)將不斷發(fā)展并在各領(lǐng)域擴(kuò)大其用途。結(jié)束語(yǔ)真空技術(shù)近10年間的發(fā)展，核聚變裝置及加速器的研究，幾謝謝大家！謝謝大家！真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀劉甲朋真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀劉甲朋一、真空概述一、真空概述1643年。伽利略（GalileoGalilei）的弟子托里拆利（EvangelistaTorricelli）在意大利佛羅倫薩市（Florence）做了一個(gè)著名的實(shí)驗(yàn)，將一端密封的長(zhǎng)管注滿水銀并倒置在盛有Hg（汞）的槽里時(shí)，發(fā)現(xiàn)了密封的玻璃管中760mm水銀柱頂端產(chǎn)生的真空。從而證實(shí)了大氣的壓力可支撐760mm汞柱的重量。托里拆利實(shí)驗(yàn)1643年。伽利略（GalileoGalilei）的弟子托1654年，德國(guó)工程師蓋利克（OttovonGuericke）利用其發(fā)明的活塞抽氣泵在馬德堡市（Magdeburg）公開表演馬德堡半球?qū)嶒?yàn)，即兩邊各用八匹馬，也不能將合攏在一起的已抽真空的兩個(gè)半球拉開。從此，人們對(duì)大氣壓力有了認(rèn)識(shí)，物理學(xué)家們開始對(duì)低氣壓中的現(xiàn)象進(jìn)行研究，工程師們發(fā)明了各種抽氣機(jī)。馬德堡半球?qū)嶒?yàn)1654年，德國(guó)工程師蓋利克（OttovonGueric陰極射線（Goldstein，1876年）碳絲燈泡（T.A.Edison，1879年）X射線（W.Rontgen,1895年）真空二極管（A.Fleming，1902年）真空三極管（L.Forest，1907年）充氣日光燈（I.Langmuir，1915年）X射線管（W.D.Coolidge，1915年）早期真空相關(guān)發(fā)現(xiàn)和發(fā)明：陰極射線（Goldstein，1876年）早期真空相關(guān)發(fā)現(xiàn)和真空泛指低于地區(qū)大氣壓力的氣體狀態(tài)1、真空的定義：2、真空的特點(diǎn)：與大氣壓有壓力差分子數(shù)密度低平均自由程長(zhǎng)在表面形成單分子層的時(shí)間長(zhǎng)真空泛指低于地區(qū)大氣壓力的氣體狀態(tài)1、真空的定義：2、真空的3、描述真空度的單位：帕斯卡（Pa）：1Pa=1N/m2標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（atm）：1atm=101325Pa巴（bar）：1bar=105Pa托（Torr）：1Torr=1/760atm≈133Pa3、描述真空度的單位：帕斯卡（Pa）：1Pa=1N/m24、真空區(qū)域的劃分根據(jù)GB/T3163-93，真空區(qū)域大致劃分如下：低真空：105Pa~102Pa中真空：102Pa~10-1Pa高真空：10-1Pa~10-5Pa超高真空：10-5Pa~10-9Pa極高真空：<10-9Pa4、真空區(qū)域的劃分根據(jù)GB/T3163-93，真空區(qū)域大致劃二、真空系統(tǒng)用于滿足某種真空工藝要求，具有獲得并測(cè)量、控制有特定真空度的系統(tǒng)稱為真空系統(tǒng)二、真空系統(tǒng)用于滿足某種真空工藝要求，具有獲得并測(cè)量、控制有真空系統(tǒng)的組成1、真空容器2、真空獲得設(shè)備3、真空測(cè)量設(shè)備4、真空控制系統(tǒng)5、真空檢漏真空系統(tǒng)的組成1、真空容器1、真空容器（vacuumchamber）根據(jù)力學(xué)計(jì)算能允許容器的壓力低于環(huán)境壓力的真空密封容器1、真空容器（vacuumchamber）根據(jù)力學(xué)計(jì)算能允常用的真空容器主要有圓形和方形兩種，圓形又分為立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)材質(zhì)通常為304不銹鋼，有特殊要求時(shí)，可以選用其他材料常用的真空容器主要有圓形和方形兩種，圓形又分為立式和臥式兩種2、真空獲得設(shè)備用來(lái)獲得真空的設(shè)備，稱為真空泵，按其工作原理，分為兩大類：壓縮型真空泵：將氣體從泵的入口端壓縮到出口端，并排出泵體外。吸附型真空泵：利用各種吸氣作用將氣體吸附在泵體內(nèi)以達(dá)到降低真空度的作用。2、真空獲得設(shè)備用來(lái)獲得真空的設(shè)備，稱為真空泵，按其工作原理真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀課件羅茨真空泵旋片真空泵螺桿泵分子泵低溫泵羅茨真空泵旋片真空泵螺桿泵分子泵低溫泵羅茨泵機(jī)組羅茨泵機(jī)組真空系統(tǒng)泵組組合真空系統(tǒng)泵組組合3、真空測(cè)量設(shè)備真空度的高低通常用氣體壓強(qiáng)來(lái)表示，氣體壓強(qiáng)越低，真空度越高；反之，氣體壓強(qiáng)越高，真空度越低。真空測(cè)量，就是測(cè)量真空系統(tǒng)的氣體壓強(qiáng)。3、真空測(cè)量設(shè)備真空度的高低通常用氣體壓強(qiáng)來(lái)表示，氣體壓強(qiáng)越按照測(cè)量原理的不同，可將真空計(jì)分為以下三種：（1）壓縮真空計(jì)：先將氣體壓縮，讓其壓強(qiáng)升高，測(cè)出升高后的壓強(qiáng)后，再設(shè)法計(jì)算出原來(lái)的壓強(qiáng)。（2）熱傳導(dǎo)真空計(jì)：利用一根熱的導(dǎo)絲，測(cè)量氣體導(dǎo)熱造成的某些效應(yīng)，如溫度的變化等。（3）電離式真空計(jì)：利用電子碰撞氣體分子，使其電離，然后測(cè)量所得的離子流。按照測(cè)量原理的不同，可將真空計(jì)分為以下三種：各種真空計(jì)適用壓力范圍各種真空計(jì)適用壓力范圍幾種常用真空計(jì)簡(jiǎn)介電容薄膜真空計(jì)原理：壓強(qiáng)改變時(shí)薄膜發(fā)生形變，它和感知電極間的距離改變，從而其間的電容量改變，用電學(xué)的方法測(cè)出電容量，便可通過(guò)校準(zhǔn)確定氣體壓強(qiáng)。量程：其量程有四個(gè)數(shù)量級(jí)，105Pa~10Pa、104Pa~1Pa、103Pa~10-1Pa、102Pa~10-2Pa特點(diǎn)：量程寬(1×105Pa~1×10-2Pa)，精度高，穩(wěn)定性好，測(cè)量結(jié)果與氣體種類無(wú)關(guān)，特別是可以測(cè)量蒸汽和腐蝕性氣體的壓力幾種常用真空計(jì)簡(jiǎn)介電容薄膜真空計(jì)熱陰極電離真空計(jì)原理：使待測(cè)空間的氣體電離，測(cè)量所產(chǎn)生的離子濃度，離子濃度正比于氣體濃度，故在一定壓強(qiáng)范圍內(nèi)常能得到線性的關(guān)系。量程：1~1×10-5Pa優(yōu)點(diǎn)：（1）測(cè)出的為總壓強(qiáng)（2）反應(yīng)迅速，可連續(xù)讀數(shù)，還可遠(yuǎn)距離控制；（3）對(duì)機(jī)械振動(dòng)不敏感缺點(diǎn)：（1）靈敏度與氣體種類有關(guān)（2）壓強(qiáng)高于10-1Pa時(shí)，燈絲易于燒毀。熱陰極電離真空計(jì)4、真空控制系統(tǒng)控制真空系統(tǒng)中機(jī)組的啟停，大門的開、閉，真空系統(tǒng)真空度、溫度的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，稱為真空控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括控制操作界面、顯示界面等。4、真空控制系統(tǒng)控制真空系統(tǒng)中機(jī)組的啟停，大門的開、閉，真空5、真空檢漏技術(shù)一個(gè)理想的真空容器，當(dāng)達(dá)到真空狀態(tài)后，與對(duì)其工作的真空泵隔離，該容器內(nèi)的真空度不應(yīng)改變。而一個(gè)真正容器內(nèi)，則壓強(qiáng)會(huì)上升，這是由于容器壁表面出氣、滲透和漏氣等因素構(gòu)成的。任何一個(gè)真空系統(tǒng)，漏氣時(shí)絕對(duì)的，不漏時(shí)相對(duì)的。一個(gè)真空系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)，實(shí)際就是抽氣與漏氣達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)的壓強(qiáng)。5、真空檢漏技術(shù)一個(gè)理想的真空容器，當(dāng)達(dá)到真空狀態(tài)后，與對(duì)其真空系統(tǒng)的漏氣分為實(shí)漏和虛漏虛漏是指真空容器內(nèi)部有漏源，如材料內(nèi)部有孔洞，或結(jié)構(gòu)上有死空間，其中的氣體不能有效的被真空泵抽走，而是通過(guò)縫隙緩慢地，源源不斷地漏向真空系統(tǒng)，就像有漏孔存在一樣，但又無(wú)法從外部檢測(cè)出來(lái)。它可以通過(guò)選用優(yōu)質(zhì)材料或改變?cè)O(shè)計(jì)方案解決實(shí)漏指與外界連接的漏孔造成的漏氣。它可以通過(guò)適當(dāng)?shù)臋z漏方法和檢漏儀器檢測(cè)出來(lái)。真空系統(tǒng)的漏氣分為實(shí)漏和虛漏真空泄漏測(cè)量指標(biāo)：漏率，單位：Pa?m3/s真空泄漏常用測(cè)量方法：氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏真空泄漏測(cè)量指標(biāo)：漏率，單位：Pa?m3/s6、真空容器設(shè)計(jì)參數(shù)示例容器直徑：DN5000mm；筒體壁厚：20mm（局部加強(qiáng)筋）極限真空：5×10-5Pa（液氮低溫）漏率：

優(yōu)于2×10-5Pa·L/s泵組：羅茨泵干泵機(jī)組、分子泵、低溫泵6、真空容器設(shè)計(jì)參數(shù)示例容器直徑：DN5000mm；容器直徑：DN2500mm；筒體壁厚：16mm極限真空：7×10-5Pa（液氮低溫）漏率：

優(yōu)于2×10-5Pa·L/s泵組：羅茨泵機(jī)組、分子泵、低溫泵容器直徑：DN2500mm；容器直徑：DN1600mm；筒體壁厚：12mm極限真空：2×10-4Pa漏率：

優(yōu)于2×10-5Pa·L/s泵組：雙旋片泵、雙分子泵容器直徑：DN1600mm；三、真空技術(shù)的應(yīng)用從電氣除塵器到食品的真空包裝等日常應(yīng)用，到薄膜合成，核聚變，加速器，宇宙航行領(lǐng)域?yàn)橹?，真空技術(shù)得到廣泛的應(yīng)用三、真空技術(shù)的應(yīng)用從電氣除塵器到食品的真空包裝等日常應(yīng)用，到真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀課件真空技術(shù)基礎(chǔ)及其應(yīng)用現(xiàn)狀課件與真空技術(shù)有關(guān)的各種行業(yè)及其應(yīng)用實(shí)例與真空技術(shù)有關(guān)的各種行業(yè)及其應(yīng)用實(shí)例四、真空系統(tǒng)示例四、真空系統(tǒng)示例真空鍍膜機(jī)在真空下對(duì)需要鍍膜的產(chǎn)品進(jìn)行鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。應(yīng)用示例：如：衛(wèi)浴五金（如水龍頭、眼鏡片、汽車輪轂、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾（金銀）納米膜和納米疊層膜。真空鍍膜機(jī)在真空下對(duì)需要鍍膜