滑片式真空泵精品課件

1、滑片式真空泵第1頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五真空知識(shí)真空表，U形真空計(jì)，測(cè)得是相對(duì)壓力，麥?zhǔn)险婵沼?jì)，電子真空測(cè)出的是絕對(duì)壓力？第2頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五真空泵定義2、真空泵是根據(jù)一定的工作原理，用來產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境的裝置。解釋： 真空泵的工作原理：機(jī)械、物理、化學(xué)。 真空泵的工作目的：排出氣體，獲得真空。 真空泵的定位：系統(tǒng)中完成真空獲得功能的單元。 真空泵的分類方法：利用獲得真空的原理方法，或用途。解釋： 真空泵的工作原理：機(jī)械、物理、化學(xué)。 真空泵的工作目的：排出氣體，獲得真空。 真空泵的定位：系統(tǒng)中完成真空獲得功能的單

2、元。 真空泵的分類方法：利用獲得真空的原理方法，或用途。第3頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五真空泵應(yīng)用方面粗低真空食品行業(yè)化工行業(yè)冷凍干燥輕工行業(yè)制藥行業(yè)導(dǎo)電(真空放電燈具)超高真空空間模擬材料科學(xué)分析物理現(xiàn)象研究表面分析高純材料制備(如MBE)高真空 冶煉真空熱處理、真空焊接集成電路、半導(dǎo)體制造各種鍍膜工藝各種表面加工工藝化學(xué)研究離子注入隔離作用（絕熱）第4頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五真空系統(tǒng)的組成1真空室2高真空泵（主泵）3預(yù)抽泵3a前級(jí)泵4高真空閥門5低真空閥門6前級(jí)管道7放氣閥8低真空計(jì)9高真空計(jì)第5頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20

3、日，2點(diǎn)17分，星期五真空泵的類型（按真空獲得方式）第6頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五真空泵的分類（按真空泵用途）主泵(Main pump):在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求真空度的真空泵； 粗抽泵(Roughing vacuum pump):從大氣壓開始降低系統(tǒng)的壓力到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵； 前級(jí)泵(Backing vacuum pump):用來維持另外一個(gè)泵的前級(jí)壓力在其臨界前級(jí)壓力以下的真空泵； 維持泵(Holding vacuum pump):在真空系統(tǒng)中，當(dāng)氣體量很小，不能有效的利用主前級(jí)泵。此時(shí)，可以利用容量較小的輔助前級(jí)泵來維持主泵工作或維持容器所需

4、真空度； 粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump):從大氣壓力開始并用來獲得低真空度的真空泵； 高真空泵(High vacuum pump):在高真空范圍工作的真空泵； 超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump):在超高真空范圍工作的真空泵； 增壓真空泵(Booster vacuum pump):安裝在低真空和高真空泵之間，用來提高系統(tǒng)工作效率或降低前級(jí)泵容量要求的真空泵。參見國(guó)標(biāo)：GB/T 3163-2007真空技術(shù) 術(shù)語第7頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五機(jī)械真空泵凡是利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)（轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng)）來獲得真空的泵，稱為機(jī)械真空泵。變?nèi)菡婵?/p>

5、泵（Positive displacement pump）：泵腔容積的周期性變化來完成抽氣。動(dòng)量傳輸泵（Kinetic vacuum pump）：依靠高速葉片、射流，將動(dòng)量傳遞給氣體，完成抽氣。第8頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五常見機(jī)械真空泵圖形符號(hào)參見國(guó)標(biāo)：GB/T 3164-2007真空技術(shù) 圖形符號(hào)第9頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五機(jī)械真空泵性能參量抽氣速率（Flow rate）：在相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下，從測(cè)試罩流過的氣體流量和在測(cè)試罩指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。極限壓力（Ultimate pressure）：在標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下，不引入氣體

6、正常工作條件下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。啟動(dòng)壓力（Stating pressure）: 泵無損壞啟動(dòng)并且有抽氣作用的壓力。前級(jí)壓力（Backing pressure）:排氣壓力低于一個(gè)大氣壓，真空泵的出口壓力。最大前級(jí)壓力（Maximum backing pressure）:能使泵損壞的前級(jí)壓力。最大工作壓力（Maximum working pressure）:對(duì)應(yīng)最大抽氣量的入口壓力。抽氣量（Throughout of vacuum pump）:流經(jīng)泵入口的氣體流量。壓縮比（Compression ratio）:泵對(duì)給定氣體的出口壓力和入口壓力之比。第10頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2

7、點(diǎn)17分，星期五機(jī)械真空泵性能參量幾點(diǎn)說明： 實(shí)際應(yīng)用中真空泵的抽氣速率和極限壓力是真空泵選配的最重要參量；真空泵的性能測(cè)試必須嚴(yán)格按照相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的項(xiàng)目和測(cè)試條件來執(zhí)行；性能測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)由國(guó)標(biāo)、部標(biāo)、企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)幾個(gè)等級(jí)；真空泵在不同使用條件下，強(qiáng)調(diào)的性能參數(shù)是不同的；對(duì)于不同類型真空泵，所需測(cè)試的項(xiàng)目差別很大；真空泵性能和真空系統(tǒng)性能是兩個(gè)概念。第11頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五機(jī)械真空泵規(guī)格及型號(hào)參見標(biāo)準(zhǔn)：JB/T 7673-2011真空技術(shù) 真空設(shè)備型號(hào)編制方法第12頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五機(jī)械真空泵型號(hào)示例變?nèi)菔綑C(jī)械泵的抽速分檔

8、：0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。第13頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五真空泵的使用范圍第14頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵(簡(jiǎn)稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為1013251.3310-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。旋片泵可以抽除密封容器中的干

9、燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。第15頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵工作原理旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.3310-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。 旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等

10、組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。第16頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵工作原理兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔 和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相 通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)，氣體壓強(qiáng)

11、降 低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)(低真空級(jí))，由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。 第17頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵工作原理第18頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的構(gòu)成

12、第19頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的構(gòu)成第20頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的構(gòu)成第21頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的構(gòu)成第22頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的工作第23頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的工作第24頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的工作第25頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五旋片式真空泵的使用使用前，應(yīng)首先仔細(xì)閱讀產(chǎn)品說明書，開箱后

13、應(yīng)檢查裝運(yùn)質(zhì)量。收好備品備件和技術(shù)文件，拆除排氣口防護(hù)件。按要求安裝，接線，試轉(zhuǎn)向。水冷泵接水。 為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油，應(yīng)先開啟泵口，按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中。同時(shí)查看油位，應(yīng)在油標(biāo)中心以上，但不要滿油標(biāo)，多了要放出。判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法。把護(hù)套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常響是反向。相對(duì)濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時(shí)，應(yīng)使用氣鎮(zhèn)閥。 按說明書推薦選用真空泵油。注意酯類真空泵油不可與礦物油型真空泵油和其他油類混用，必須嚴(yán)格清洗后才能換入酯類真空泵油。 第26頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五故障判斷與診

14、斷例舉1泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手能盤動(dòng)和不能盤動(dòng)。 1.1泵能盤動(dòng)而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障；皮帶打滑；電機(jī)接線有誤；電機(jī)損壞；電源沒電等。 1.2不能盤動(dòng)或盤起來很重的，原因可以是因?yàn)槠饎?dòng)泵溫太低，泵油粘度太高；設(shè)計(jì)制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結(jié)，或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中)；有異物在泵內(nèi)(進(jìn)氣管中的焊渣、氧化物；旋片彈簧等泵零件的碎屑；旋片變形卡住；發(fā)生了咬合(銅套、轉(zhuǎn)子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。 2泵溫太高。指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的最高油溫超過使用說明書規(guī)定值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽

15、壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降；使橡膠件容易老化；熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙，影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入口壓力太高；水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳；溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。 第27頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五故障判斷與診斷例舉3漏油?？梢园l(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮(zhèn)閥(例如2X-8)等部位?？捎擅芊饧匣?，安裝不當(dāng)，損壞失效，表面不平整、有雜質(zhì)、粗糙和鑄件疏松等引起。如果

16、停泵后返油，油會(huì)進(jìn)入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會(huì)漏油。 自制橡膠墊時(shí)，一定要用耐油橡膠，要按照原設(shè)計(jì)形狀，密封面太大時(shí)壓不緊會(huì)漏油。 4漏水可以發(fā)生在水管接頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導(dǎo)致漏水。 5大功率超標(biāo)?？捎砷L(zhǎng)期連續(xù)作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進(jìn)人發(fā)生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內(nèi)太多等引起，會(huì)使電機(jī)損壞。應(yīng)盡量避免在最大功率附近長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。如果表面有沉積物，要定期拆開清除。 第28頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五故障判斷與診斷例舉6極限壓力不達(dá)標(biāo)。 6.1可由外漏、內(nèi)漏、油孔堵塞、泵油

17、質(zhì)量不良或污染變質(zhì)、有水汽等可凝性物質(zhì)、儀器儀表失真、泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常等引起。外漏較多時(shí)，排氣口可看到白色蒸汽。油標(biāo)處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力。低級(jí)排氣閥處油面有較多氣泡。功率會(huì)有所增加。這時(shí)，首先應(yīng)檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關(guān)好。6.2由于新泵出廠每臺(tái)都在泵口測(cè)極限壓力，所以如有外漏現(xiàn)象，應(yīng)對(duì)泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。內(nèi)漏可由泵內(nèi)的運(yùn)動(dòng)間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內(nèi)軸封、泵蓋平面、進(jìn)氣管、氣鎮(zhèn)閥密封件等引起。磨損、腐蝕、咬合會(huì)使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙加大。油孔阻塞時(shí)，打開加油孔聽，泵的噪聲會(huì)較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的

18、感覺，排氣閥可能失效。 第29頁(yè)，共32頁(yè)，2022年，5月20日，2點(diǎn)17分，星期五故障判斷與診斷例舉6.3如果泵油清潔，長(zhǎng)期存放未用，可開氣鎮(zhèn)閥凈化泵內(nèi)水汽。若無效，要檢杏儀表。若泵油發(fā)黃發(fā)白已乳化，可全開氣鎮(zhèn)，調(diào)大氣鎮(zhèn)量?jī)艋\(yùn)轉(zhuǎn)，必要時(shí)可在泵口放入適量氣體運(yùn)轉(zhuǎn)，可加快凈化過程。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體，要及時(shí)換油，必要時(shí)請(qǐng)洗油箱。有些泵，在級(jí)間氣道里會(huì)沉積泵液，為取得好的換油效果，要設(shè)法把沉積泵液排出。 6.4極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計(jì)測(cè)量的。用經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計(jì)等全壓力計(jì)測(cè)量時(shí)，測(cè)得值會(huì)增加。注意熱偶真空計(jì)的規(guī)管要配對(duì)校準(zhǔn)。建議備用一只同時(shí)校準(zhǔn)的規(guī)管，以備懷疑規(guī)管污染失真時(shí)進(jìn)行對(duì)比。極限壓力升高會(huì)使高真空時(shí)段的抽