光電子微納制造工藝平臺2022年試卷(上半年)及導(dǎo)師確認說明

1、 5武漢光電國家試驗室光電子微納制造工藝平臺2022 年試卷名稱：超凈間根本標(biāo)準(zhǔn)及安全培訓(xùn)考試時間： 2022 年單位：機械科學(xué)與工程學(xué)院 導(dǎo)師姓名黃永安學(xué)生姓名尹 鋒 一 單項選擇擇題60 分化學(xué)試劑濺到身上，馬上承受噴淋頭15 拭皮膚，必要時前往醫(yī)院治療。用腳套包住褲腿。超凈間內(nèi)使用圓珠筆。從風(fēng)淋室進入超凈間。5 輕輕關(guān)門。穿著干凈鞋或者鞋套進入更衣間。連續(xù)清洗。沖洗容器的稀釋液倒入排水槽。馬上更換。酸、堿及有機溶劑容器的蓋子，使用后馬上鎖緊蓋子。超聲清洗及其它清洗中，通風(fēng)柜的門處于半關(guān)閉位置。廢液待溫度降至室溫時，倒入收集桶。將酸漸漸倒入水中?；瘜W(xué)試劑不留神濺到臉上或眼睛里，馬上承受洗眼

2、池，用大量水沖洗 15分鐘以上。聯(lián)系平臺領(lǐng)導(dǎo)及工程師幫助馬上前往醫(yī)院就醫(yī)，同時通知導(dǎo)師。戴防護眼鏡或面罩、耐酸堿手套。發(fā)生火警時，從安全門A 區(qū)北面廣場集合，便于清點人數(shù)。在工藝設(shè)備發(fā)生火災(zāi)時，假設(shè)火苗較小且沒有過多煙霧時，同學(xué)們可使用2CO 滅火器滅火。2密閉房間內(nèi)，氮氣泄漏有窒息威逼。光刻工藝在黃色光條件下進展。20.取得操作許可證，才能獨立操作設(shè)備超凈間級別10000 級、1000 級、100 級。進入超凈間的個人動作挨次為：室；要帶入超凈間的儀器、工具、硅片和掩模盒，請在更衣室進展清潔。全部的瓶罐，不管有無沖洗過，假設(shè)沒有貼上危急物質(zhì)標(biāo)示貼，只能由 工作人員用水清洗。25.用鑷子拿硅片

3、。2后前往特氣室關(guān)閉鋼瓶閥門及供氣面板輸出閥門。27.H為易燃易爆氣體，為防止火星，操作時制止使用手機，制止穿化纖服2裝，制止穿鐵掌皮鞋。同學(xué)們不得自行操作此類氣體。3體。光刻工藝對環(huán)境干凈度、溫濕度要求高，在百級間進展。金相顯微鏡、光刻機使用完畢后，在后續(xù)沒有人使用狀況下，肯定要關(guān)閉電源，延長光源使用時間。二 推斷題40 分錯錯錯錯錯對錯對錯錯錯錯錯119 對錯錯錯對19 錯錯錯錯錯對對錯錯錯錯錯對對對IC 對對錯錯對錯未使用過的藥品及材料帶入超凈間必需經(jīng)微納平臺領(lǐng)導(dǎo)審核批準(zhǔn)。劇毒、對微納平臺試驗計費確認說明光電子微納制造工藝平臺：學(xué)院 尹鋒 (姓名)，2022-06-30日期在光電子微納制造將另行說明。則會按預(yù)約時間段收費。其中：因平臺方面緣由如設(shè)備故障、前期工藝沒做好導(dǎo)致后面試驗不能進