玻璃的減薄技術及不良影響（課堂PPT）

1、LOGO1玻璃的減薄（玻璃的減?。⊿limming） 工藝工藝.2Contents減薄的作用1減薄工藝簡介2常見的減薄不良33減薄的作用減薄的作用1.減少占有的空間2.使Glass達到一定的柔性4減薄工藝簡介減薄工藝簡介蝕刻蝕刻激光激光離子離子穩(wěn)流穩(wěn)流漸開漸開減減薄薄方方法法5技術一：蝕刻技術一：蝕刻 蝕刻工藝蝕刻工藝以以HF溶液作為蝕刻溶液溶液作為蝕刻溶液1.以固定流速以固定流速沿玻璃基材沿玻璃基材垂直下流垂直下流 2.蝕刻溶液依蝕刻溶液依靠重力下流，靠重力下流，蝕刻玻璃基材蝕刻玻璃基材表面表面 。6Text in here蝕刻蝕刻清洗清洗清洗清洗技術一：蝕刻技術一：蝕刻Slimming減薄

2、流程減薄流程7減薄設備減薄設備其余組件： 供酸裝置 HF酸濃度計 溫度控制器 洗氣裝置Loader單元單元預清洗單元蝕刻單元清洗單元干燥單元Unloader單元 8技術二：真空激光減薄技術二：真空激光減薄所謂真空激光減薄技術所謂真空激光減薄技術, 是指利用激光器發(fā)是指利用激光器發(fā)出的出的脈沖激光束脈沖激光束聚焦成直徑很小的光斑聚焦成直徑很小的光斑, 并并調節(jié)到適當的能量密度調節(jié)到適當的能量密度,對于處在真空環(huán)境對于處在真空環(huán)境中的待減薄膜層進行高速掃描中的待減薄膜層進行高速掃描,使膜層汽化使膜層汽化, 從而達到減薄膜層的目的。從而達到減薄膜層的目的。9技術二：真空激光減薄技術二：真空激光減薄系

3、統(tǒng)原理系統(tǒng)原理： 激光束經過聚焦、偏轉后激光束經過聚焦、偏轉后, 經經由石英窗口由石英窗口, 照射放置在真空度為照射放置在真空度為10- 3 Pa 高真空環(huán)境中的待加工高真空環(huán)境中的待加工晶片晶片, 以實現對晶片表面銀電極層以實現對晶片表面銀電極層的激光減薄。的激光減薄。系統(tǒng)工作原理圖如圖。系統(tǒng)工作原理圖如圖。10技術二：真空激光減薄技術二：真空激光減薄優(yōu)點優(yōu)點：( 1) 可以實現對膜層的精確減薄, 且減薄后的膜層不存在性能漂移不存在性能漂移現象; ( 2) 工作在真空環(huán)境下,膜層減薄過程中不會出現對膜層污染、氧化不會出現對膜層污染、氧化等問題,加之激光加工為非接觸加工, 不會對膜不會對膜層產

4、生機械損傷層產生機械損傷; ( 3) 利用激光移動靈活的特點, 可以實現快速的多片薄膜大面積的薄膜減薄多片薄膜大面積的薄膜減薄。11技術三：離子減薄技術技術三：離子減薄技術兩個離子槍兩個離子槍從真空室兩側插入從真空室兩側插入 離子束以一定的離子束以一定的掠射角掠射角(連續(xù)可調連續(xù)可調) 從樣品的兩側轟擊樣品。從樣品的兩側轟擊樣品。聚光燈從樣品聚光燈從樣品背面照明背面照明 當樣品出現微孔時當樣品出現微孔時停止減薄。停止減薄。123412縱向和橫向縱向和橫向控制好錫液控制好錫液流動流動控制好玻璃控制好玻璃液的溫度液的溫度合理配置好合理配置好拉邊機進行拉邊機進行雙向拉薄雙向拉薄技術四：雙向穩(wěn)流拉薄法

5、技術四：雙向穩(wěn)流拉薄法關鍵點關鍵點：圍繞玻璃厚薄差和微觀波紋度，在：圍繞玻璃厚薄差和微觀波紋度，在“ 穩(wěn)穩(wěn)” 字上采取有效的技術措施。字上采取有效的技術措施。適用范圍適用范圍：超薄玻璃的生產。：超薄玻璃的生產。13技術五：逐級漸開拉薄法技術五：逐級漸開拉薄法1、是在試驗的基礎上建立起來的；2、是在超薄浮法玻璃的實際生產當中, 通過參照普通浮法玻璃的拉薄方法, 對原有的拉薄方法( 強冷重熱拉薄法、徐冷拉薄法和雙向展薄法) 進行了試驗探索；3、其整板厚度、厚薄差、微觀波紋度均能滿足用戶的質量指標要求。14減薄工藝自身不良1.不可擦拭臟污2.薄化不勻薄化不勻15減薄工藝自身不良減薄工藝自身不良玻璃本身含有雜質.1. 除膠未干除膠未干凈，有殘留凈，有殘留2. PT等未清等未清洗干凈洗干凈 玻璃被蝕刻時玻璃被蝕刻時局部蝕刻不一致局部蝕刻不一致工藝設備工藝設備玻璃表面玻璃表面玻璃本身玻璃本身16Slimming后劃傷后劃傷Slimming前發(fā)生前發(fā)生輕微輕微ScratchSlimming后后Scratch程度加重程度加重Human eye invisibleHuman eye invisibleSlimming17Slimming后劃傷后劃傷 Lif