X射線光電子能譜(XPS)數據處理方法

1、X射線光電子能譜（射線光電子能譜（XPS）XPSXPS是一種基于光電效應的電子能譜是一種基于光電效應的電子能譜，也也叫做化學分析電子能譜（叫做化學分析電子能譜（ESCAESCA）。）。XPS數據處理數據處理系統(tǒng)系統(tǒng)能量能量 分析器分析器 探測器探測器 X射線源射線源AlK 或或MgK 光電子光電子樣品樣品 基本構造基本構造愛因斯坦光電愛因斯坦光電定律定律: : Ek = h h E Eb b 基本原理基本原理元素的定性分析元素的定性分析。根據能譜圖中出現(xiàn)的特征譜線的位置鑒定除H、He以外的所有元素。元素半定量分析元素半定量分析。根據光電子譜線強度（光電子峰的面積）反應原子的含量或相對濃度 。固

2、體表面分析固體表面分析。包括表面的化學組成或元素組成，原子價態(tài)，表面能態(tài)分布，測定表面電子的電子云分布和能級結構等 。 化合物的結構化合物的結構。對內層電子結合能的化學位移精確測量，提供化學鍵和電荷分布的信息 。 分子生物學中的應用分子生物學中的應用。利用XPS鑒定維生素B12中的少量的Co。用途用途 固體樣品用量小，不需要進行樣品固體樣品用量小，不需要進行樣品前處理，避免了引入前處理，避免了引入或或丟失元素所造成丟失元素所造成的錯誤分析的錯誤分析 表面表面靈敏度高，一般信息深度靈敏度高，一般信息深度 10nm 10nm 分析速度快，可多元素同時分析速度快，可多元素同時測定測定 給給出原子序數

3、出原子序數3-923-92的的元素信息元素信息，以獲得，以獲得元素成分分析元素成分分析 給給出元素化學態(tài)信息，出元素化學態(tài)信息，進而分析進而分析出出元素的元素的化學態(tài)或官能團化學態(tài)或官能團 樣品不受導體、半導體、絕緣體的限制等樣品不受導體、半導體、絕緣體的限制等 是非破壞性分析方法是非破壞性分析方法。結合。結合離子濺射離子濺射，可作可作深度剖析深度剖析 優(yōu)點及特點優(yōu)點及特點 能譜圖能譜圖生成生成text: 選擇選擇要進行要進行擬合擬合的數據點，的數據點，copy至至txt文本文本中中，即即ABC三列數據三列數據(其中其中B列為空的列為空的,只包含兩列數據只包含兩列數據)分峰擬合分峰擬合導導入數據：入數據：xps peak 41分峰分峰軟件軟件， Data Import (ASCII)分峰擬合分峰擬合扣背景：扣背景：Backgrond，Boundary的默認的默認值值，Type一般選擇一般選擇Shirley類型類型分峰擬合分峰擬合加峰：加峰：Add Peak，PeakType、Position、FWHM、%Lorentzian-Gaussian分峰擬合分峰擬合擬合：擬合：Optimise All數據輸出：數據