防靜電檢測(cè)方法精編版

1、 最新資料推薦 防靜電檢測(cè)方法1術(shù)語(yǔ)和定義表面電阻（ surface resistance ）： 兩個(gè)特定的放置于材料同一面的電極之間的電壓與它們通過(guò)電流的比值。體電阻（ volume resistance ）：?jiǎn)挝缓穸壬系闹绷麟妷?，與通過(guò)材料的單位面積電流的比值，測(cè)試電極放置于材料相對(duì)面的對(duì)應(yīng)位置。接地電阻（ Earth Resistance ）： 被接地體與地下零電位面之間的接地引線電阻、接地器電阻、接地器與土壤之間的過(guò)渡電阻和土壤的溢流電阻之和。摩擦起電（ Triboelectrification ）： 用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號(hào)電荷的過(guò)程。衰減時(shí)間（ decay time ）

2、： 靜電電壓從峰值電壓降低到給定比例的時(shí)間。例如：在 15%相對(duì)濕度的情況下，靜電電壓從 2000V降低到 100V的衰減時(shí)間小于等于 1秒。屏蔽泄漏電壓： 因屏蔽體外部的高電場(chǎng)而使屏蔽體內(nèi)部獲得的感應(yīng)電場(chǎng)電壓或外部高電場(chǎng)穿透屏蔽體衰減的殘留電場(chǎng)電壓，又稱屏蔽殘余電壓。靜電中和（ Electrostatic Neutralization ）：帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號(hào)的電荷（電子或離子）的復(fù)合而使所帶靜電部分或全部消失的現(xiàn)象。2 防靜電參數(shù)測(cè)試方法防靜電主要參數(shù)及測(cè)試儀器測(cè)試項(xiàng)目測(cè)試儀器表面電阻 表面電阻測(cè)試儀兆歐表體電阻、系統(tǒng)電阻 兆歐表萬(wàn)用表接地電阻 接地電阻測(cè)試儀萬(wàn)用表兆歐表靜

3、電電壓、摩擦電壓、衰減時(shí)間 靜電場(chǎng)測(cè)試儀/ 靜電電壓測(cè)試儀1 最新資料推薦 秒表離子風(fēng)機(jī)離子平衡度 靜電場(chǎng)測(cè)試儀、 CHARGE PLATE MONITOR屏蔽殘余電壓 屏蔽殘余電壓測(cè)試儀檢驗(yàn)所使用的儀器必須經(jīng)計(jì)量檢定合格（有準(zhǔn)用標(biāo)簽），并在有效期內(nèi)。2.1 防靜電測(cè)試儀器介紹專用防靜電測(cè)試儀器主要有：簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀、兆歐表、靜電場(chǎng)測(cè)試儀、離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀、屏蔽殘余電壓測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀和人體綜合電阻測(cè)試儀的校準(zhǔn)儀。2.1.1 手持式簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀，測(cè)試量程為1031012 ，適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)

4、體類、靜電耗散類和絕緣類。4 1111 檔（面板 由于靜電耗散材料的表面電阻為110 Rs110 ，因此測(cè)試儀面板指示的 10的黑色圓圈處）修正為絕緣材料，不是靜電耗散材料。簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀配有一根專用接地線， 把接地線的香蕉插頭插入儀器表面的接地孔， 另一度端的鱷魚(yú)夾夾在接地母線上，把表面電阻測(cè)試儀平壓在防靜電臺(tái)墊上，可以測(cè)試臺(tái)墊的接地電阻。便攜式表面電阻測(cè)試儀OHMS PER SQUARE103 10 4 10 5 106 107 10 8 10 9 1010 1011 1011CONDUCTIVE STATIC DISSIPATIVEINSULATIVE測(cè)試電極TEST GROUND被

5、測(cè)材料絕緣平板圖1簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀兆歐表公司表面電阻測(cè)試儀，配有兩根連線和 2Kg重的測(cè)試電極兩個(gè)，適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)體類、 靜電耗散類和絕緣類， 可以測(cè)試材料表面電阻和體積電阻 （或系統(tǒng)電阻） ，把兩根連線把測(cè)試儀和兩個(gè)測(cè)試電極連接起來(lái)，兩個(gè)電極放置在材料的同一表面即可測(cè)試表面電阻， 兩個(gè)電極放置在材料的兩個(gè)表面的相對(duì)位置可以測(cè)試體積電阻。 型號(hào)為BM80/2的測(cè)試儀可直接使用兆歐2 最新資料推薦 表和兩根連線來(lái)測(cè)試接地電阻和低阻。圖2 表面電阻測(cè)試儀2.1.2 靜電場(chǎng)測(cè)試儀靜電場(chǎng)測(cè)試儀有兩種型號(hào)，普通型 ESD42721，高精度型 MODEL 520，都

6、采用非接觸型的電場(chǎng)感應(yīng)測(cè)試方式。兩個(gè)儀器都配有一根接地線，靜電電壓測(cè)試時(shí)接地線接地可以提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。ESD42721的測(cè)試量程 20KV，精確度為10V，適于測(cè)試較大的平面分布電場(chǎng)。MODEL 520的的測(cè)試量程 2KV，精確度為1V，適于平面和某點(diǎn)電場(chǎng)精確測(cè)試。圖3 靜電場(chǎng)測(cè)試儀MODEL 520圖4 靜電場(chǎng)測(cè)試儀ESD427212.1.3 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀由靜電電壓發(fā)生器、靜電場(chǎng)測(cè)試儀ESD42721、金屬隔離測(cè)試板組成，靜電電壓發(fā)生器產(chǎn)生 1000V靜電電壓。參見(jiàn)圖5。3 最新資料推薦 圖5 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀2.1.4 CHARGE PLATE

7、 MONITORCHARGE PLATE MONIT型OR號(hào)為MODE 156A 可用于測(cè)試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度和衰減時(shí)間，靜電電壓發(fā)生器產(chǎn)生 1000V靜電電壓。參見(jiàn)圖6。圖6 CHARGE PLATE MONITOR 156A2.1.5 屏蔽殘余電壓測(cè)試儀屏蔽殘余電壓測(cè)試儀型號(hào)為Charleswater 19380，由靜電電壓發(fā)生器、測(cè)試電極、輔助金屬板、靜電探測(cè)器組成，靜電發(fā)生器產(chǎn)生 1000V的靜電電壓，靜電探測(cè)器的測(cè)試量程為10V 300V。參加圖7。圖7 屏蔽殘余電壓測(cè)試儀表面電阻測(cè)試12 。 測(cè)試表面電阻需要把被測(cè)材料放置在絕緣平面上進(jìn)行，絕緣平面表面電阻要求 1 102.1.6

8、 簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀WRSTG330測(cè)試表面電阻簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀的兩測(cè)試極間距依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)固定不變，測(cè)試時(shí)把被測(cè)材料放置在絕緣的平面上，表面電阻測(cè)試儀平置在材料表面，手指施加適當(dāng)壓力（ 24千克力）壓觸測(cè)試按鈕，使測(cè)試電極和材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為測(cè)試讀數(shù)。參見(jiàn)圖 8。4 最新資料推薦 11簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀的 10 檔修正為絕緣材料類別，不是靜電耗散材料。使用簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀測(cè)試表面粗糙不平的軟性材料時(shí)，如泡沫板、氣珠袋等，需要加大測(cè)試壓力，可以施加到 46千克力的壓力，以保證測(cè)試電極和材料表面接觸良好，測(cè)試準(zhǔn)確。圖8 表面電阻測(cè)試2.1.7 采用表面電阻測(cè)試儀測(cè)試表面電阻測(cè)試材料

9、表面電阻選擇100V D C檔，把被測(cè)材料放置在絕緣平面上，測(cè)試電極平穩(wěn)地放在材料表面，撥動(dòng)測(cè)試按鈕可以直接讀取數(shù)值。測(cè)試電極的距離一般可以選擇 1m左右，根據(jù)測(cè)試對(duì)象的不同測(cè)試電極的間距可以適度調(diào)整。測(cè)試電極 100V DC 兆歐表50 2kgR1m被測(cè)對(duì)象絕緣平面圖9 表面電阻測(cè)試測(cè)試時(shí)要保持被測(cè)試表面和探頭與被測(cè)體的接觸面清潔、測(cè)試電極和被測(cè)表面接觸良好。每個(gè)樣本在內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)試五次取平均值。只有每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都符合防靜電性能指標(biāo)才為合格，否則為不合格。2.2 靜電電壓、摩擦電壓及其衰減時(shí)間測(cè)試測(cè)試靜電電壓采用非接觸靜電場(chǎng)測(cè)試儀，主要兩種，一種是能精確到 1伏T

10、REK公司 520型，如圖12；另一種是只能精確到 10伏ESD SYSTEM公S司 42721 型，如圖13。測(cè)試靜電電壓時(shí)測(cè)試探頭與被測(cè)件的距離保持在 1英寸左右5 最新資料推薦 圖12 靜電場(chǎng)測(cè)試儀圖13 靜電場(chǎng)測(cè)試儀測(cè)試時(shí)靜電場(chǎng)測(cè)試儀的接地端要接地， 保證測(cè)試讀數(shù)準(zhǔn)確。 TRCK公司 520型可以測(cè)試小面積的和一點(diǎn)的靜電，而 ESD SYSTEM公S司 42721 型只能測(cè)試較大面積的靜電。1) 摩擦電壓測(cè)試方法：手持干燥和干凈的棉布以每分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?24千克力），單向摩擦待測(cè)物品表面，摩擦次數(shù)為20次。再用測(cè)試儀測(cè)其靜電壓。2) 靜電衰減時(shí)間測(cè)試方法：被測(cè)物體

11、充電或摩擦后具有較高的靜電電場(chǎng)強(qiáng)度， 采用靜電場(chǎng)測(cè)試儀立即測(cè)試其靜電電壓并記錄開(kāi)始時(shí)間，保持測(cè)試狀態(tài)不變，觀察靜電電壓逐步降低到要求數(shù)值時(shí)的時(shí)間段即為靜電衰減時(shí)間。每個(gè)樣本內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)試五次取平均值。只有每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都符合防靜電指標(biāo)才為合格，否則為不合格。2.3 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度測(cè)試采用簡(jiǎn)易離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀，參見(jiàn)圖 15。首先用靜電發(fā)生器產(chǎn)生 1KV 靜電并傳導(dǎo)到靜電探測(cè)儀的隔離金屬測(cè)試板上， 如圖15所示， 然后將帶隔離測(cè)試板的靜電探測(cè)儀a. 移至如圖10所示的測(cè)試點(diǎn)和，檢驗(yàn)離子風(fēng)機(jī)的消電時(shí)間（從 1KV 下降至 100V）；b.

12、 移至有效范圍（長(zhǎng)度：距離離子風(fēng)機(jī) 14feet；寬度：距離中心線 6英寸）內(nèi)的任意測(cè)試點(diǎn)，檢驗(yàn)離子平衡度（即消電所能達(dá)到的最低值）。隔離測(cè)試板靜電探測(cè)儀靜電發(fā)生器離子風(fēng)機(jī)1ft 2ft 3ft 4ft 5ft 6in1.0 中心線1 2 3 46in測(cè)試點(diǎn)6 最新資料推薦 圖15 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試注意：測(cè)試過(guò)程中隔離金屬板不能碰觸任何物體。2.4 接地電阻測(cè)試2.4.1 防靜電地極的接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：接地電阻測(cè)量?jī)x測(cè)試方法，參見(jiàn)圖17。1) 將被測(cè)試地極用導(dǎo)線接于儀器端子 E；2) 在相同直線方向 20m、40m潮濕土地處，分別插入電位探測(cè)針及電流探測(cè)針，各接于儀器端子 P、C；3

13、)設(shè)置“倍率盤(pán)”倍數(shù)；4) 自緩至快搖動(dòng)儀器手柄，達(dá)到約120r/min ，調(diào)整“測(cè)量標(biāo)度盤(pán)”，指針指于零位時(shí)，讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻值；5) 按測(cè)試步驟c、 d反復(fù)測(cè)試35次，取平均值。EPC地電阻測(cè)量?jī)x地極電位探針電流探針20m40m圖17 防靜電地極接地電阻測(cè)試2.4.2 防靜電地面接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：兆歐表和探頭測(cè)試方法，參見(jiàn)圖18。1) 按圖18的a、b所示，劃分測(cè)試網(wǎng)格；2) 按圖18的c、d所示，隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)；3) 將待測(cè)地面全部網(wǎng)格看做樣本大小 （批量范圍） ，以一般檢查水平 II ，確定樣本大小字碼；再用“正常檢查一次抽樣方案”。4) 按圖18的e 所示，測(cè)試地面

14、表面電阻。7 最新資料推薦 5) 按圖18的f 所示，測(cè)試地面對(duì)地極母線電阻。 地網(wǎng)銅帶測(cè)試點(diǎn)間隔尺寸 材料尺寸c、平行地線網(wǎng)a、水磨石地面 b、鋪設(shè)地面 地網(wǎng)銅帶測(cè)試點(diǎn)測(cè)試電極 50 2kg100V DC 兆歐表濕濾紙墊R0.9 1.0m防靜電鋪設(shè)地面 e 地面表面電阻測(cè)試d、方格地線網(wǎng)100V DC 兆歐表R測(cè)試電極 接地母線50 2kg防靜電地面f 地面對(duì)地極母線電阻測(cè)試圖18 地面表面電阻和地面接地電阻測(cè)試2.4.3 設(shè)備、儀器、工具的接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：兆歐表和萬(wàn)用表測(cè)試方法：分硬接地測(cè)試和軟接地測(cè)試硬接地測(cè)試：用兆歐表或萬(wàn)用表的歐姆檔測(cè)試儀器、設(shè)備、工具上的金屬接地點(diǎn)到接地母線之

15、間的電阻。軟接地測(cè)試：用兆歐表的 M檔、測(cè)試極一端連接測(cè)試點(diǎn)，另一端連接接地母線，采用系統(tǒng)電阻測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)試。8 最新資料推薦 2.5 防靜電臺(tái)墊、地墊的防靜電性能測(cè)試防靜電臺(tái)墊和地墊的測(cè)試方法相同，主要測(cè)試表面電阻和接地系統(tǒng)電阻。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)工作臺(tái)墊/ 地墊的每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于 3個(gè)測(cè)試點(diǎn)，取平均值。測(cè)試方法：按照表面電阻測(cè)試方法測(cè)試臺(tái)墊、地墊表面電阻；按圖19-a 所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻；按圖19-b 所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻 / 接地電阻。100V DC 兆歐表100V DC 兆歐表R測(cè)試電極50 2kgR測(cè)試電極 50 2kg腕帶插孔a 工作

16、臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻 b 工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻圖19 工作臺(tái)面防靜電測(cè)試2.6 人員防靜電裝備的防靜電性能測(cè)試2.6.1 工衣、工帽、手套的測(cè)試方法工衣、工帽、手套主要測(cè)試表面電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于 5點(diǎn)，取平均值。工衣、工帽、手套的表面電阻測(cè)試方法相同，在絕緣平面上進(jìn)行測(cè)試。工衣需要測(cè)試袖對(duì)袖、片對(duì)片、同一片上兩點(diǎn)之間的表面電阻。工衣表面電阻測(cè)試參見(jiàn)圖20。9 最新資料推薦 圖20 工衣表面電阻測(cè)試2.6.2 工鞋、鞋跟的測(cè)試方法工鞋主要測(cè)試體積電阻和人體穿著時(shí)的系統(tǒng)電阻。按圖21所示，用兆歐表測(cè)試鞋底體積電阻（內(nèi)電極由總重量為4KG，直徑為5MM的鋼球組

17、成）。由于工鞋底面過(guò)笮或不平，電極重量有限，壓力不足，電極和工鞋底面不能良好接觸導(dǎo)致測(cè)試誤差較大。因此工鞋的測(cè)試可以按照人體穿著工鞋的實(shí)際情況測(cè)試人體和工鞋的系統(tǒng)電阻。100V DC 兆歐表R測(cè)試電極50 2kg輔助電極圖21 工鞋體積電阻測(cè)試防靜電鞋跟需要測(cè)試鞋跟的體積電阻和鞋跟帶到鞋跟底部的系統(tǒng)電阻。鞋跟的系統(tǒng)電阻可以按照人體穿著鞋跟的實(shí)際情況進(jìn)行測(cè)試（人體和鞋跟的系統(tǒng)電阻）。2.6.3 腕帶的測(cè)試方法腕帶的內(nèi)表面表面電阻、腕帶的外表面表面電阻、腕帶的電纜連接系統(tǒng)電阻、人體佩帶腕帶的系統(tǒng)接地電阻需要進(jìn)行分別測(cè)試。測(cè)試方法：按圖22-a 所示，用萬(wàn)用表測(cè)試腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣的表面電阻。按圖2

18、2-b 所示，用萬(wàn)用表測(cè)試腕帶連接電纜系統(tǒng)電阻。腕帶的外表面表面電阻就是用兆歐表測(cè)試腕帶外表面對(duì)電纜扣的表面電阻。萬(wàn)用表（10k ）腕帶扣a 腕帶內(nèi)表面表面電阻圖22 腕帶系統(tǒng)電阻測(cè)試10 最新資料推薦 2.7 周轉(zhuǎn)工具的防靜電性能測(cè)試2.7.1 周轉(zhuǎn)箱、托盤(pán)、器件盒的測(cè)試周轉(zhuǎn)箱、托盤(pán)、器件盒主要測(cè)試表面電阻、體積電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于 3點(diǎn)，取平均值。按照?qǐng)D23，用兆歐表測(cè)試器具的表面電阻和體積電阻。100V DC 兆歐表 100V DC 兆歐表R器具 R測(cè)試電極50 2kg 測(cè)試電極 50 2kg板狀輔助電極a 器具表面電阻測(cè)試 b 器具體電阻測(cè)試圖2

19、3 器具防靜電性能測(cè)試2.7.2 周轉(zhuǎn)車的測(cè)試周轉(zhuǎn)車主要測(cè)試其對(duì)地系統(tǒng)電阻。 隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，不得少于 5點(diǎn)，取平均值。按照?qǐng)D24，用兆歐表測(cè)試物流車臺(tái)面對(duì)地的系統(tǒng)電阻。測(cè)試電極 50 2kg100V DC 兆歐表物流車R板狀輔助電極圖24 周轉(zhuǎn)車的系統(tǒng)電阻測(cè)試周轉(zhuǎn)用的成形泡沫工具、包裝材料的測(cè)試方法參照防靜電包裝材料技術(shù)規(guī)范。2.8 防靜電小工具的防靜電性能測(cè)試防靜電小工具主要有毛刷、鑷子、吸筆、吸錫器、 IC起拔器、防靜電粘膠紙等，它們的測(cè)試項(xiàng)目主要有表面電阻和摩擦電壓。3 附錄：11 最新資料推薦 附錄A ：各類防靜電參數(shù)指標(biāo)要求（表）測(cè)試項(xiàng)目 接地電阻 表面電阻 體電阻 系統(tǒng)電阻 摩擦

20、電壓檢測(cè)周期（ ） （） （） （） （V）（至少 ）防靜電地極 接地母線與大地之 每半年間： 4儀器設(shè)備、裝 與接地母線之間： 每月備、工具 硬接地 1；軟接地1106 Rg1910防靜電地板與接地母線之間：0.1 10 6 R g16 R g19100.1 10 6 Rs6 Rs9110100 每月防靜電與接地母線之間： 每天烙鐵頭 要求 5可接受 20腕帶人體腕帶接地電腕帶內(nèi)表面對(duì)每天（只檢測(cè)阻： 0.75 10 666Rg 1010電纜扣電阻： 20K；腕帶系統(tǒng)電阻是否通過(guò)）腕帶外表面對(duì)電纜扣電阻： 1 107 ；腕帶連接電纜電阻：60.8 1061.2 10工鞋、鞋跟0.75 10

21、6 R6 R6100106 Rv0.5 106 50100.75 10 6 R6 R610010100 每天（只檢測(cè)工鞋、鞋跟系統(tǒng)電阻是否通過(guò)）臺(tái)墊、地墊0.75 10 6 Rv16 Rv1910110 6 Rs6 Rs1101101109( 正面 )3 Rs5( 反面 )110 6 Rv6 Rv9110100 每季度工衣、工帽、手套6 Rs0.1 10110 10( 點(diǎn)10( 點(diǎn)100 每季度與點(diǎn)、袖對(duì)袖、片與片 )9 1109 1109工作椅 110100 每季度（椅面對(duì)腳輪、椅面對(duì)靠背）防靜電周轉(zhuǎn)箱、托盤(pán)、器件盒3 Rs11091 10110 3 Rv3 Rv9110100 每季度防靜電周轉(zhuǎn)車 110 3 Rs3 Rs1109（導(dǎo)軌槽）6 Rs 11109 10100 每季度12 最新資料推薦 測(cè)試項(xiàng)目 接地電阻 表面電阻 體電阻 系統(tǒng)電阻 摩擦電壓檢測(cè)周期（ ） （） （） （） （V）（至少 ）防靜電傳送帶0.75 10 6 R g16 R g1110 6 Rs6 Rs110 6 Rv6 Rv100