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文檔簡介
1、叉指電極引發(fā)的思考Ydeng2013-03-12叉指狀的出現(xiàn)叉指狀的出現(xiàn)IDT叉指換能器(構成SAW最基本的單元)聲表濾波器的作用是將射頻訊號轉換成聲波訊號,經過一段距離傳遞之后,再將接收之聲波訊號轉換成所需的射頻訊號。SAW是SURFACE ACOUSTIC WAVE(聲表面波)的簡稱,聲表面波器件是利用聲表面波對電信號進行模擬處理的器件,其頻率范圍約在107109赫。產生表面聲波最簡單的方式,就是利用叉能換能器,來直接激發(fā)表面聲波,基本上,叉指換能器分為輸入及輸出兩個部份,它們是一層厚度約2000 至3500 的鋁薄膜,經由光蝕刻技術成型在壓電單晶材料之基板表面。當一個訊號電壓外加到輸入換
2、能器的正負電極上時,在每對叉指之間就會建立電場,壓電基板表面一受到電聲的作用,便產生同步耦合之上下振動,而激發(fā)出表面聲波,當同極叉指間的距離等于表面聲波波長時,所激發(fā)的聲面表效率最大,一般常用的壓電基板材料有石英,鉭酸鋰,及鈮酸鋰等。NATURE COMMUNICATIONS | 3:763 | DoI: 10.1038/ncomms1767 | Chem. Sci., 2013, 4, 16631667 | 1663叉指電極引入叉指電極引入超級電容器超級電容器SAW器件或其中的IDT引入NG,將使此領域翻向又一篇章! Ydeng 2013-03-12 NG的結合方式:成為源;和SAW材料間組合。 叉指型電極除做IDT外,作為電極都是應用到微加工中,一定還有個作用,是啥? 有必要開展微加工方面的研究。(IDT微加工)半導體集成電路微加工工藝步驟 聲表濾波器的作用是將射頻訊號轉換成聲波訊號,經過一距離傳遞之后,再將接收的之聲波訊中與轉換成所需要的射頻訊號,通常下列參數均可決定SAW 元件的特性,包括:指狀電極圖形與數目,柵狀電極圖形與數目,金
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