幾種MEMS陀螺儀（gyroscope）的設(shè)計(jì)和性能比較_第1頁(yè)
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幾種MEMS陀螺儀（gyroscope）的設(shè)計(jì)和性能比較_第3頁(yè)
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1、    幾種MEMS陀螺儀（gyroscope）的設(shè)計(jì)和性能比較        曹志良 時(shí)間:2009年03月13日     字 體: 大 中 小        關(guān)鍵詞:         一、Systron Donner “MICROGYRO”MEMS傳感器：雙石英調(diào)音

2、叉信號(hào)處理：混合信號(hào)架構(gòu)，數(shù)字和模擬輸出；開(kāi)放回路；兩個(gè)用于加速度傳感器的A/D通道封裝：MEMS封裝在陶瓷腔體中并跟ASIC一起封裝在塑料腔體中。缺點(diǎn)：成本較高   Systron Donner “MICROGYRO”  二、博世BOSCH SMG 070    MEMS：平面MEMS；Z軸信號(hào)處理：閉合回路；混合模式；自測(cè)試缺點(diǎn)：尺寸太大  BOSCH SMG 070     BOSCH SMG 070原理圖 三、INVENSENSE IDG 300 MEMS：體加工技術(shù)；用ASIC作封蓋并提供收集和驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電極信號(hào)處理：開(kāi)路；模擬缺點(diǎn)：無(wú)零點(diǎn)修正；溫度導(dǎo)致+/-50度/秒的漂移。（汽車電子要求+/-1.5度/秒）  INVENSENSE

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