原子力顯微鏡簡易中文操作手冊

1、美國 Asylum Research原子力顯微鏡MFP-3D-SA標準型原子力顯微鏡簡易中文操作手冊（第一版）杭州葛蘭帕科技有限公司AC Mode in Air輕敲模式（大氣）1. 開啟原子力顯微鏡控制器、電腦以及減震臺。檢查各個系統(tǒng)是否正常啟動。2.進入 WindowsXP系統(tǒng)，啟動Igor pro 軟件，在Igor pro 軟件的下方，開啟視頻窗口，由原子力顯微鏡CCD 提供光學(xué)觀察窗口，為觀察樣品、 選取下針位置以及“對光作業(yè)”提供條件。對光作業(yè)指的是將定位激光正確的對準到探針懸臂表面合適位置，的準確度。確保力學(xué)信號反饋3. 開啟位于控制器上的激光光源及為樣品提供照明用的氙燈光纖光源。氙

2、燈光源亮度可以根據(jù)實際需求自由設(shè)定， 以可以準確觀察樣品以及探針為標準。 在正式進入原子力顯微鏡掃描過程中，可以將其關(guān)閉，以延長其燈泡使用壽命。4. 裝針作業(yè)：將探針夾持器cantileverholder按照呈三角形排布的定位小球位置卡入探針臺cantilever holder stand上。然后用螺絲啟子把cantilever holder上的螺絲松開3 4 圈，不可過松，防止螺絲滑脫。打開探針盒，用鑷子拾取探針， 注意夾取探針時的角度， 要保住垂直夾取， 夾取探針的位置也要中間偏前段一點，為將探針尾部推入螺絲夾具口提供足夠操作空間。探針插入夾具口后，根據(jù)實際情況，再精細調(diào)整位置，使其大致處

3、于正中間位置。最后用大拇指和中指夾住螺絲刀， 進行旋緊。 使用兩個手指的目的， 就是確保力量不要太大，防止夾碎探針或者把螺絲螺紋破壞。擰緊的原則是感覺有阻力后再擰1/4 圈，（要視具體情況定）再用鑷子輕輕觸碰探針側(cè)面，看其是否因為沒有夾緊而發(fā)生移動。裝入朝上放置的掃描器頭部圓形槽口，注意定位小球的位置。5. 樣品臺準備工作拿起 MFP-3D原子力顯微鏡掃描器頭部。露出原子力顯微鏡平板式掃描板上的樣品臺。將承載有樣品的載玻片或者功能模塊 （功能模塊具體安裝另行說明） 放入樣品臺大致正中位置。用提供的兩塊磁鐵分別吸住載玻片兩端，起到固定作用。將掃描器頭部放回， 注意持握手法， 用手托住后端， 先將

4、兩個后腳放入樣品臺上的孔洞位置， 然后逐步放下前段的那個支腳， 主要是防止裝有探針的頭部因為與樣品間距不夠，直接砸在樣品上，導(dǎo)致探針損壞。三個支腳之間的高低需要重視，一般先將兩個后腳之間調(diào)平，前腳稍高于后腳，以便最后的下針調(diào)整動作。 可以通過使用水準儀或者在隔音柜背后貼一張白紙， 通過機器上下間縫，還是可以比較容易的校對平衡。前腳放下去的時候注意樣品和針尖之間的距離，確認放下去不會碰到后，再調(diào)整前腳高度，間隙調(diào)整到大致1mm 左右。若后腳明顯偏高，需先調(diào)高前腳，再提高后腳，然后再調(diào)低前腳。6. 對光作業(yè)通過掃描器頭部后面CCD 反射鏡上的兩個旋鈕， 上下左右調(diào)整運動來尋找到探針，使其出現(xiàn)在視頻

5、窗口，調(diào)節(jié)掃描器頭部后反射鏡附近的聚焦旋鈕, 對探針聚焦以使探針清晰。調(diào)整掃描器頭部上的LDx及LDy旋鈕，一邊觀察視頻窗口，一邊觀察SUM值大小，使Sum值達到Max 。SUM值最大后，調(diào)PD旋鈕（頭部左面） ，使Deflection趨于0。（調(diào)Deflection時，若 Sum 值發(fā)生偏移變化太大，就必須重新調(diào)調(diào)整LDx 及 LDy 旋鈕，使Sum值達到 Max 。否則進行thermal tune時找不到共振峰。 ）關(guān)于真光斑與假光斑之分因為夾持器透射三角棱鏡的關(guān)系， 在實際對光作業(yè)中， 我們會發(fā)現(xiàn)三個光斑， 兩個假光斑，一個真光斑。其位置關(guān)系如下：假光斑 1激光真光斑（將激光光斑移到位假

6、光斑 2samplecantilever真光斑一般與其中一個假光斑平行， 處于三個光斑位置的最左邊， 而兩個假光斑之間的位置關(guān)系也是平行的。光斑在探針上的位置大致在探針懸臂前部位置，不要太靠前，以取得最大SUM 為宜。關(guān)于 Deflection與 SUM 關(guān)系原子力顯微鏡光電傳感器采用的是四象限傳感器。SUM 值最大是指從懸臂反射回來的激光打在了四象限板（ABCD ）相對中心位置。如圖：ABCDSUM=A+B+C+DDeflection=(A+B)-(C+D)Sum ：表示光斑打到光電傳感器上的總強度大小。所以當我們調(diào)整SUM 值最大后，在調(diào)整Deflection時， SUM 有時會發(fā)生變化，

7、這時我們需要再調(diào)整下，以使兩個值都達到相對完美狀態(tài)。7.探針定標：（ Thermal tune熱定標法）選擇操作框Tune ，對話框中有兩種形式，AutoTune 和 ManualTune 。大氣模式選用 Auto Tune ，液相模式選用 Manual Tune 。做之前現(xiàn)在 Append phase 打鉤，確保共振峰準確性。Do thermal后，等到Current samples 20 ,stop thermal，在圖中用Ctrl+i 取點，放到 Max ，圖下方的X 值即為共振頻率。 ）進行 Auto tune的參數(shù)的設(shè)定。 根據(jù)前面求得的共振頻率來設(shè)置Auto tune hight以

8、及 Auto tune low 兩個最高最低頻率范圍，其選值的大致標準是以之前獲得的共振頻率為中心，上下各放寬50KHz ，即 Auto tune hight在共振頻率基礎(chǔ)上加50kHz ，Auto tune low在共振頻率基礎(chǔ)上減50kHz 。共振位置調(diào)整，一般情況下設(shè)置為Tagget pesent = - 5.0%， (最高峰值左偏5% 。 )其左偏的意義是表示力的作用區(qū)域在斥力范圍， 這主要是為了首先確保探針工作在一個力學(xué)區(qū)域內(nèi)（斥力區(qū)） 。關(guān)于工作在哪個區(qū)的問題為了獲得形貌信號，一般要工作在斥力區(qū)，其在掃描過程中也體現(xiàn)在phase 信號槽一直處于中間偏左位置。當我們要體現(xiàn)引力特征時，

9、可以在掃描過程中，通過調(diào)整驅(qū)動振幅以及set point 來調(diào)整，具體參數(shù)設(shè)置需要參照當時情況的Phase 信號反應(yīng)以及圖像質(zhì)量。8. 調(diào)整 Main 中的參數(shù)。set point 設(shè)置，在大氣環(huán)境中，set point 應(yīng)設(shè)置為Sum&Deflection對話框中的Amplitude值的 0.9 倍，即 Set point = 0.9 Ampitude = 900左右；在液相環(huán)境時，Set point= 0.8 Ampitude=800左右。設(shè)置掃描范圍Scan size, 以及掃描速率Scan rate ，輕敲模式一般在1Hz 左右，如果重合率不好，圖像質(zhì)量不理想，可以酌情降低。關(guān)

10、于 Scan Angle設(shè)定，其原則是盡可能與樣品垂直，這樣能夠盡可能反映出樣品的細節(jié)。大部分情況下是Scan Angle為 90 °。9. 下針點擊 Sum&Deflection對話框中的Engage ，此時 Z Voltage 一般為最大值150 ，即 Z 軸方向上的壓電陶瓷長度伸到了最長，也意味著其在伸到最長的情況下，還是沒有觸及到樣品表面。（這是正常的，否則探針已趴在樣品表面損壞掉了。）調(diào)整探針高度，逆時針調(diào)節(jié)掃描器頭部前段的大旋鈕，調(diào)整過程中，注意Sum&Deflection對話框各項指標，在驅(qū)動振幅Amplitude=1時，系統(tǒng)會發(fā)出一個清脆的提示音，此時

11、發(fā)生“?！甭?。在注意Zvoltage的情況下，繼續(xù)逆時針調(diào)holder前面的大旋鈕，同時使Zvoltage=30左右。注：調(diào) amplitude及 z voltage 的同時關(guān)注視場，當視場中樣本逐漸清晰時，說明探針接近樣品表面，此時降低調(diào)節(jié)速度選定Setpoint ，逆時針控制器里拉出的一個便捷遠程控制器（白色大扭）使Zvoltage 升高，直至不變， 此時 Z Voltage在 50 90 為宜。若 Z Voltage接近 150時仍能上升，順時針回調(diào)白色大扭至100 左右（為掃描器的頭部的直接調(diào)整提供空間），繼續(xù)逆時針調(diào)掃描器頭部前面的大旋鈕，使Z voltage=30左右，再調(diào)遠程控制

12、器，直至滿足要求。此方法為軟下針方式，可越過“虛假”水膜，保護探針，成像質(zhì)量以及對探針的磨損最小，是我們所推薦的。10 點擊 Sum&Deflection對話框中的Withdraw, 關(guān)閉光纖光源，有隔音柜的情況，就合上隔音罩。11. 開始掃描，選擇 Main 框中的 do scan 。12. 屏幕上出現(xiàn)三中圖像信號，我們首先檢查高度圖即HeightRetrace圖中，檢查trace 與retrace 的重合性。即紅線和藍線最好能夠大致吻合。若重合性不好，有以下有四種方法進行調(diào)整：降低Set point調(diào)高 integral gain ，但應(yīng)注意過高時會產(chǎn)生噪聲Scanrate 也有影

13、響，一般是1Hz ，也可調(diào)至0.75Hz或 0.5Hz ，對于粘彈性材料或者有凸起的表面，Scan rate數(shù)值降低在掃描過程中，先調(diào)高Setpoint ，再調(diào)高DriveAmplitude ，然后調(diào)低SetPoint（？），目的是使探針離樣品表面遠些，同時擴展SetPoint 的可調(diào)范圍。提高探針振動的振幅 （增大敲擊力度） ，此方法適用于軟材料。此法同時適用于相位調(diào)整，調(diào)整探針工作在引力區(qū)或者是斥力區(qū)。調(diào)整過程中，選中slow scandisabled，掃一條線，來回掃一條線，直到來回軌跡線重合后在進行掃描。13. 全部調(diào)好后，點擊 stop,clear Image ，去除以前的調(diào)整期圖像

14、，進行正式掃描階段。14. 選擇 Frame Down/Up ，重新掃描。15. 保存圖片。16. 結(jié)束工作實驗結(jié)束后，調(diào)holder 前面的大旋鈕5 下（順時針方向） ，拿下 holder ，取下glassslide（ sample ）注意事項每次進行 Thermal tune或 Auto tune都必須進行deflection調(diào) 0。Phase>90 ° ,引力作用； Phase<90 ° ,斥力作用。一般在斥力作用模式下可獲得最好形貌。調(diào)焦時能夠反映3 相，探針、窗口和樣品。調(diào)整頻率時：空氣使用 append phase，液相時去掉append phase

15、 ，加 append thermal。實驗時注意頭部的光纜線不要一個方向轉(zhuǎn)太多，防止纜線扭起來。參數(shù)含義及取值：1 ） Deflection： 表 示Tip在 法 向 上 的 變 形 量反 映 在PD上 的 數(shù) 值Deflection=(A+B)-(C+D)=0;調(diào)節(jié)的目的是使光斑關(guān)于某一坐標軸對稱。2）Set point ：探針所在位置反映在光電傳感器的電壓，相當于設(shè)定探針與樣品的距離?？諝庵?set point =Amplitude ×90%，液相中set point=Amplitude×80% 。AC Mode ：由自由振蕩的振幅決定（其由驅(qū)動電壓決定），振幅越小，距

16、離樣品越近?？諝庵校瑢τ谟参镔|(zhì)， Tip 與 sample 接觸時的Set point 值應(yīng)大于未接觸時的50% ，其中接觸時的 Setpoint值指最終遠程控制器調(diào)節(jié)后的值，未接觸時的Setpoint值指開始的Amplitude × 90%。對于軟物質(zhì)，最終的Set point 值太小，則要先調(diào)高Set point 值，再調(diào)高 drive amplitude。注：上述的關(guān)系不適用液相。Contact Mode：由未與樣本相互作用時的Deflection決定，一般在其基礎(chǔ)上加1-2V （電壓越大，相互作用越強） ,視探針和樣本性質(zhì)而定。電壓越大，距離越近。Contact Mode下的

17、調(diào)整應(yīng)先在AC Mode模式下針，調(diào)整結(jié)束后轉(zhuǎn)換到Contact Mode，然后調(diào)Deflection=0 ， Set point 0.2 0.3V 。）接觸模式下Set point值一般按0.2V 變化。3）integral gain ：表示反饋積分速度，相當于信息處理速度。速度快，探針敏感，但是太快會出現(xiàn)噪聲，即 phase 圖像中會有很多毛刺，調(diào)節(jié)的目標為不出現(xiàn)噪聲情況下達到最大。（軟物質(zhì)一般值小，硬物質(zhì)值大。 ）4） Z voltage ：表示 Z 向電壓，用來控制壓電陶瓷的伸長量；5） Scan rate ：表示掃描速度，速度高，可能影響細節(jié)，通常取0.5 1 Hz ，一般情況為 1

18、Hz ；（越低圖像越清楚，軟的材料，水膜厚，粘性大應(yīng)取的小。）6） scan size ：不建議50nm 以下。7） Drive Amplitude：表示驅(qū)動探針的驅(qū)動電壓；（做 Auto tune時，系統(tǒng)會根據(jù)S&D 中的 Amplitude的值給出一個Drive Amplitude。若 sample 為軟物質(zhì)材料，則降低 set point 及提高 intergral gain 的可調(diào)范圍很小，此時可適當?shù)奶岣?Drive Amplitude 。）液相成像1 樣品準備：打開電腦，雙擊MFP-3 ，把密閉液池周圍的小孔堵上，用膠水把Sample 貼在密閉液池的下面，干后，在液池里面滴

19、入2.5ml 液體，先在 cantilever holder上裝密封圈， 然后再把它裝到cantilever holder stand上裝針。再把 cantilever holder裝到 Head 上，probe 必須用液滴濕潤 （用滴槍從側(cè)面注入，不能從上方注入，否則會壓彎針），否則 probe 進入 sample 時， probe 表面會有氣泡，影響穩(wěn)定性。（探針型號為TR-400 、TR-800 、Biolever 、iDrive 專用探針，這種probe 比一般的厚一點）。2 啟動系統(tǒng)：在 Igor pro 軟件的下方，開啟視頻窗口，開啟激光光源及光路光源（調(diào)多少自己定，用來調(diào)節(jié)視頻的

20、亮度） 。3檢查頭部的三個腳是否調(diào)的足夠高（若未調(diào)高，就需要把三個腳調(diào)高），把 holder 放入base 上，檢查 probe 與 glass slide之間的間隙， 調(diào) holder 后面的兩個旋鈕以及前面的大旋鈕（逆）， holder 將下降（若間隙在1mm 左右，結(jié)束旋轉(zhuǎn)） 。4調(diào) holder 后面的兩個旋鈕，使probe 出現(xiàn)在視頻窗口。5探針與水接觸后，調(diào)整LDx 及 LDy 旋鈕，（先調(diào)一個方向再調(diào)另一個方向）使Sum 值達到 Max ，（若 Sum 值達不到Max ，則調(diào)節(jié)視場位置，放大Probe ，再重新調(diào)使Sum 值達到 Max 。）調(diào)PD 旋鈕（ holder 左面），

21、使 Deflection趨于 0 。（調(diào) Deflection時，若 Sum 值變化太大，就必須重新調(diào)調(diào)整 LDx 及 LDy 旋鈕，使 Sum 值達到 Max 。否則進行 thermal tune 時找不到共振峰。 ）6探針定標：Thermal tune（熱定標法）Do thermal后，等到Current samples20 , 在圖中用Ctrl+i 取點， 放到 Max ，則圖下方的 X 值，則共振頻率就是此值。）進行 Auto tune的參數(shù)，液相選用Manual Tune 。選取之前的X 值（中心頻率） ，Sweep Width=25KHz（兩邊擴展頻率） ，Append Therm

22、al ，注意不要選擇Append phase。調(diào)整 Deflection=0 （液相下， Deflection 會漂，封閉液池是由于溫度場不均勻，半封閉液池是由于氣泡原因，需多次調(diào)整）選擇 One tune7.設(shè)置 Drive Amplitude=1.0V（液相下，一般在 1V 左右，甚至不到1。）（在圖中最高峰旁邊的一個峰設(shè)為共振峰。 ）8.調(diào) Deflection=09.調(diào)整 Main 中的參數(shù) DriveAmplitude 在合適位置，最大不要超過1V 。若 S&D 中的Amplitude <0.5 ，就要調(diào)高 Drive Amplitude 。10.此時的 Amplitu

23、de=0.6V ，則設(shè) Set point=0.8 × Amplitude=0.48V11.繼續(xù)再次調(diào)整 Deflection=012.點擊 Sum & Deflection 對話框中的 Engage13調(diào)掃描器頭部前面的大旋鈕，使Z voltage=30 左右。（若 Z Voltage 降不到 30 ，則降低 Set point ，然后調(diào) Deflection=0. ）14調(diào)整掃描器頭部前面的大旋鈕使Z voltage=50 90 不動。（最好在 70 ）15點擊 Sum & Deflection 對話框中的 Withdraw, 關(guān)閉光源，合上隔音柜。16.設(shè)定好在

24、 Main （Scan size,Scan rate ， Scan Angle=90 °等）的相關(guān)數(shù)據(jù)17.開始掃描 -do scan18. 在 Height Retrace圖中，檢查trace 與 retrace 的重合性。（調(diào)整方法與大氣環(huán)境相同）19. 全部調(diào)好后，點擊 stop ， clear Image 。20. 選擇 Frame Down/Up.21. 保存圖像。液相注意事項：封閉液池注水 2.5ml 。液相操作時注意隨時將 deflection調(diào)零。不能用控制器上的便捷遠程控制器調(diào)Z Voltage ，而是通過 Set Point 右下方按鈕完成。沒有引力與斥力之分，范

25、德華力消失。避免在載玻片上直接注水， 要用液池或貼上特氟龍 （厭水聚合物） 的載玻片保護做。做完后抬針，務(wù)必規(guī)范，支腳要多抬起一點。探針被溶液泡過后，要把探針用酒精或丙酮泡一下（時間），要淹過探針。另外被溶液泡過的探針要分開保存，避免污染。沾過溶液的密封圈的清洗，先用純水清洗，再用純水超聲波清洗5min ，再用純水清洗，最后用擦鏡紙擦干。載玻片清洗， 用丙酮 /酒精泡過之后， 再用酒精超聲波清洗10 15 分鐘，最后用擦鏡紙擦干。（若用丙酮清洗不須擦干）Biolever （ Si ） ,TR-400,TR-800 （ Si 3N4 ）探針均不能用于iDrive 模式。? 制樣用膠水的特性：40

26、4 膠水：快干，粘的牢。用丙酮清洗。環(huán)氧樹脂：用于顆粒、粉末的制樣。銀膠：導(dǎo)電、導(dǎo)熱樣品制樣，作電極用。? 制樣一定要平整，防止夾持器上的除了探針以外的其它部位碰到樣品。力曲線模式準備工作與大氣環(huán)境下AC Mode前期準備工作一致，在成像質(zhì)量良好的基礎(chǔ)下。1. 在 Main 選項中選擇 Contact Mode 中的 Force 選項：Trigger point=1.00V； (deflection電壓通常設(shè)為1)此值為預(yù)設(shè)值，表示力曲線縱坐標。選擇 Trigger channel中的 defl volts 以及 Relative點擊 go there show Tip location顯示探

27、針位置spot display選 Numbered Markes，設(shè)定 Spot number=1點擊 Pickpoint，在圖像上把點拉到目標點上確定，點擊That sit可以根據(jù)需求，設(shè)定多個Spot number點擊 go there2. 定標過程力曲線（ deflection ）水平線的整平（橫坐標）。在同一直線的水平部分上選擇兩點，（紅色線代表probe 下去，藍色線代表probe 上來）cal. 選項卡上把Setsensitivily設(shè)置為Virtualdefl line ，重新做一次SingleForce 。出現(xiàn) Force Graph1，在傾斜部分選取同一條直線上的兩點（紅色線

28、代表probe下去，藍色線代表probe 上來），求得 deflvoltscal. 選項卡把Set sensitivily設(shè)置為 InvOLS，得到了InvOLS 。3. 選擇 Thermal ，點擊 go thermal （以便求得彈性常數(shù)Ks）出現(xiàn) Thermal Graph1，點擊 Fit Guess （用高斯模式進行計算）點擊 Fit try ，得到 spring constant=1.87 nN/nm(此值為探針的彈性常數(shù)Ks) 。F=Ks × deflectionDeflection=deflvolts× InvOLSDeflvolts: 形變量引起的電壓值；I

29、nvOLS ：反切斜率；Ks 遵循能量均分定律：將懸臂看成諧振子，熱運動提供能量的一半等于諧振子在一個自由度上的能量，即(1/2)× KB× T=(1/2)× KS× <A2> 其中 <A2> 服從布朗運動。4. 力坐標修正 ：MFP IP > Force display panel > modify力矩陣測試1. 在 Force 中選擇 Relative ，2. 設(shè)置 Trigger Point3. 開始掃描 do Scan4. 產(chǎn)生 ForceMap 圖 /AdF( 此圖為粘附力圖 )（力矩陣， set point

30、 X= 值， set point Y= 值）Y 方向，set point Y每一點對應(yīng)一個力曲線。X 方向， set point X圖像處理MFP IP Browse list panel ：image on disk （硬盤）；image in memory（內(nèi)存）選擇一張圖片3D 生成三維圖形；D display manager Ly layout 圖像輸出L list panelN display掃描后的所有數(shù)據(jù)全部存放在這。A analyze panel： Roughness ；Section ： draw 畫線 make graph （求兩點之間的距離）Histogram ：求作直方

31、圖求距離。M modifypanel mask calcmask （將變化比較大的圈出來，圖像上有條紋點dilate mask ，將 mask 范圍擴大。）參數(shù)： calc method ：計算方法；threshold ：域值； range ：范圍 flatten reset mask注意事項：保存圖像時要保存2 倍屏。顆粒統(tǒng)計1.先開 Igor 軟件復(fù)制路徑到My computer點擊particals.idf 點擊compile點擊 Kill2.選擇圖像 Mask 用紅點蓋住黑點，選擇計算方法Threshold （ 任 意 ） 點 擊Calc Mask （ Erode/ Dilate Ma

32、sk:邊界縮放）3. MFP Controls Partical panel Mask選 HeightRetrace，Label 點擊 Do it點擊result納米操縱操作原理：在contact模式下，取一個方形區(qū)域，將法向正壓力（即deflection）增大，重新掃描，就可以將方形區(qū)域中的粒子推向旁邊。MFP controls Litho panel Master Litho panel：（修改參數(shù)）normol set point<當時的deflection值，表示操縱間隙需要抬針；這樣設(shè)置是為了先抬針，然后針移動到要做操縱的位置。Litho set point=該時刻 Defle

33、ction值 +11.5V ，根據(jù)材料不同，自己確定的；Free Hand關(guān)閉納米操縱模式：注意事項：納米操縱要設(shè)置曲線路徑，防止操作過程中將物質(zhì)（如納米碳管）折斷。納米刻蝕MFPcontrols LithopanelGroups loadpicture SaveGroups displayGroups addGroups轉(zhuǎn)化為contactMode Normalsetpoint= （比deflection小1 1.5 ）Save Groupdo it也需要 Litho set Point 吧或者Draw path畫線setpoint Wave Litho setpoint： Mode選lin

34、ear do it ；完成后stop draw。注意事項：調(diào)節(jié)時， Normal set point<deflection， litho set point>deflection， Max velocity一般1 3 m/s 。MFM 磁化模塊前面同于 AC 模式。成像后，若敏感度不夠，則采用Nap mode 。點 stop nap panel drive AMP=5226（振幅減少原來的一半，相當于原來是貼著sample 走，現(xiàn)在是在 sample 上輕敲。） do scan nap panel 中的參數(shù)：Delta Height=0nm （此值請自己調(diào)試，值太低，將撞到大顆粒，太高圖像模糊）nap channel panel：line flatten=line（掃描一條拉平一條）高低溫聯(lián)合模塊操作密封池： 3 5 ml，易蒸發(fā)，溫度穩(wěn)定，故需密封。安裝密封池須仔細看手冊。若需通氣/ 通液體