手套箱等設(shè)備技術(shù)參數(shù)(共3頁(yè))

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上手套箱等設(shè)備技術(shù)參數(shù)序號(hào)主要技術(shù)要求及配置要求1設(shè)備名稱及采購(gòu)數(shù)量：手套箱3套，氣體凈化系統(tǒng)2套一、技術(shù)參數(shù)：（一）手套箱：1、箱體要求：304不銹鋼材質(zhì), 尺寸分別2000mm*1000mm，1500mm*780mm, 1500mm*780mm；2、箱體泄漏率：<0.05vol%/h；3、微型過(guò)渡艙1個(gè)（長(zhǎng)400mm，直徑150 mm），T型過(guò)渡艙2個(gè)（長(zhǎng)600mm，直徑390mm），均須內(nèi)置滑盤；4、前窗面板為L(zhǎng)exan材質(zhì)，厚度10mm，手套孔圈為POM材質(zhì)；5、防疲勞照明系統(tǒng)，需有防漫射功能，安裝于前窗頂部；6、溴丁基橡膠手套，厚度0.4 mm，末端口徑

2、220 mm；7、必須配置三層高度可調(diào)的擱物架；8、HEPA過(guò)濾器的過(guò)濾級(jí)別可達(dá)H13，風(fēng)速0.25米/秒，潔凈度千級(jí)以上；9、箱體出氣口帶有有機(jī)溶劑吸附裝置；10、箱體安裝石英玻璃窗；11、箱體底部配有支架和旋轉(zhuǎn)腳輪，可微調(diào)水平。（二）氣體凈化系統(tǒng)：1、水氧凈化系統(tǒng)：進(jìn)口循環(huán)泵；凈化柱自動(dòng)再生程序；SUS304不銹鋼管道；2、可得氣體純度：水<1 ppm，氧<1 ppm；3、主控閥：MB EPV-40 VAT電磁氣動(dòng)閥；4、PLC控制，箱體工作壓力在+/-15 mbar范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)節(jié)，帶有可調(diào)節(jié)壓力的腳踏開關(guān)；5、配有真空泵，真空度2x10-3 mbar以上，抽速12 m3/h，

3、原廠氣鎮(zhèn)和油霧過(guò)濾器；6、水探頭：檢測(cè)范圍0-500 ppm；耐腐蝕，PLC集成控制，靈敏度10 mv/ppm，精確度0.1 ppm，設(shè)計(jì)壽命5年以上；7、氧探頭：檢測(cè)范圍0-1000 ppm；專為手套箱氣氛設(shè)計(jì)，耐腐蝕，PLC集成控制，靈敏度不低于10 mv/ppm，精確度不低于0.1 ppm，設(shè)計(jì)壽命5年以上；8、有機(jī)溶劑吸附裝置，5kg以上活性炭可更換，灰塵吸附功能，抽真空功能。（三）加熱面板：箱體內(nèi)須配備2個(gè)加熱面板，參數(shù)如下：1、加熱輸出功率：1000 W ；2、加熱溫度范圍：50-600 °C ；3、帶傳感器控溫精確度：±3 K ；4、介質(zhì)溫度穩(wěn)定性：±

4、;3 K ；5、加熱速度：5 K/min。（四）系統(tǒng)集成要求：3個(gè)箱體通過(guò)T型過(guò)渡艙連接成一套手套箱系統(tǒng)，3個(gè)艙門，中間箱體右側(cè)另配備微型過(guò)渡艙。二、配置要求：1、箱體集成氣體凈化系統(tǒng)；2、6個(gè)DN40KF法蘭接口3、BNC和BANANA插頭位于箱體上4、電路改造：符合設(shè)備及空調(diào)安裝要求，配置多路接線插座2設(shè)備名稱及采購(gòu)數(shù)量：勻膠機(jī)1臺(tái)一、技術(shù)參數(shù)：勻膠機(jī)為非標(biāo)定制，操作界面須與手套箱底板融為一體，真空、補(bǔ)氣管路與手套箱集成控制系統(tǒng)必須完全融為一體。所集成甩膠機(jī)參數(shù)如下：1、勻膠機(jī)須通過(guò)手套箱的PLC控制系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)置；2、整機(jī)泄漏率：<0.05vol%/h；3、頂部帶有透明密封罩；4、能

5、處理尺寸不小于 8''的wafer或6''x6''的基片；5、轉(zhuǎn)速范圍：1007000 rpm；6、可編輯的程序菜單數(shù)量：不少于10個(gè)；7、主材質(zhì)：須耐絕大多數(shù)的有機(jī)溶劑；8、速度階段：0-10個(gè)階段；9、每階段時(shí)間范圍：0-999秒；10、內(nèi)置可更換式的防污染碗；11、配有腳踏開關(guān)。3設(shè)備名稱及采購(gòu)數(shù)量：光刻機(jī)1臺(tái)一、技術(shù)參數(shù)：1、曝光面積：150 mm×150 mm；2、分辨力：0.8-1 m（膠厚2m的正膠）；3、對(duì)準(zhǔn)精度：±0.6 mm；4、照明均勻性：±3%（f100 mm范圍），±5%（f150 mm范圍），±6%（150 mm×150 mm）5、曝光波長(zhǎng)：365 nm；6、曝光能量密度： 20 mW/cm2；7、光源平行性：2度8、最大膠厚：500 m（SU8膠）9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X：±5 mm，Y：±5 mm，q：±6度；10、曝光方式：定時(shí)和定劑量。二、配置要求：1、曝光頭：包括冷光橢球鏡、直流高壓汞燈、三維汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)、光學(xué)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)。2、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：包括對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)、對(duì)準(zhǔn)顯微鏡和CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。3、電控系統(tǒng)：包括單片機(jī)