SPC執(zhí)行辦法訓(xùn)練教材

1、COMPEQCOMPEQSPCSPC執(zhí)行辦法訓(xùn)練教材執(zhí)行辦法訓(xùn)練教材1COMPEQCOMPEQ經(jīng)由制程管制系統(tǒng)的執(zhí)行，可隨時監(jiān)控制程是否穩(wěn)定，并經(jīng)由統(tǒng)計手法的活用，降低制程中的變異，提升制程能力目的目的2CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 相關(guān)定義相關(guān)定義1.SPC為Statistic Process Control之縮寫，統(tǒng)計制程管制2.CaCapability of Accuracy ，準(zhǔn)確度或正確度，用以衡 量制程平均值與規(guī)格中心值偏差的程度，評價等級 Ca越小越好。3. CpCapability of Precision，精密度，用以衡量制程標(biāo)準(zhǔn) 差與規(guī)格公差比之程度

2、，即制程符合規(guī)格之能力， 評價等級，Cp越大越好。4. Cpk綜合能力指標(biāo)，用以衡量制程之實際積效，評價等 級，Cpk越大越好。3CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 相關(guān)定義相關(guān)定義5. RFC: Response Flow Checklist，回應(yīng)流程查檢表 用以使不穩(wěn)定的制程回復(fù)成穩(wěn)定狀態(tài)的工具 當(dāng)制程管制處于不穩(wěn)定狀態(tài)時，透過一系列 的診斷確認(rèn)程序，以判定制程不穩(wěn)定的原因 并對每個可能原因，列出解決對策，最後驗 證原因已確實解決，制程已回復(fù)至穩(wěn)定狀態(tài)。4CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ相關(guān)定義相關(guān)定義6. Station Monitor用以監(jiān)控制程狀

3、態(tài)的工具。Station monitor之管制特性不受產(chǎn)品種類、規(guī)格的影響 完全反映制程的品質(zhì)，制程中Station monitor範(fàn)圍 主要為制程之Output；如S/M濕種，氧化線weight gain。7. In-line monitor則為一個製程的Input參數(shù)。如：SPS之濃度、溫度、Cu2+含量等屬於In-line Monitor，是目前PCS監(jiān)控範(fàn)圍。5CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ作業(yè)流程圖作業(yè)流程圖 作業(yè)流程圖見附件流程圖6CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明1.制程制程Station Monitor項目的變更項目的變更

4、 1-1 新增 工程單位依下列原則考慮建立管制項目，經(jīng)核準(zhǔn)後實施 (1)工程理論上探討認(rèn)為需要建立管制項目者 (2)重要參數(shù)未被列入控制者 (3)經(jīng)常發(fā)生品質(zhì)問題之項目 (4)客戶特別要求之項目 (5)新制程之重要控制參數(shù)新增項目由工程單位提出“Station Monitor新增申請說明表”同時修改“制程Station Monitor項目匯整表“，并提出新管制項目的”管制圖履歷表“。7CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明1-2 刪除 各制程管制項目欲刪除，應(yīng)考慮下列幾項 (1)是否是因無此產(chǎn)品而刪除相關(guān)之管制項目若確定 已無生產(chǎn)此種產(chǎn)品則可刪除相關(guān)之管制項目。

5、(2)此項管制項目是否屬于可靠度Monitor，原則上可 靠度Monitor不應(yīng)刪除。 (3)此項管制項目若過去三個月有超過管制界限或規(guī) 格界限之情形，則不應(yīng)刪除此項管制項目。 (4)過去3個月計算Cpk值均應(yīng)大于1.33，此項管制項目 可考慮刪除。 (5)若該制程或下制程有其它管制項目可達相同監(jiān)控 目的者，可考慮刪除8CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明1-2 刪除 (6)原則上，制程Output之管制項目不應(yīng)刪除。決定刪除之管制項目，應(yīng)由現(xiàn)場單位填具 ”製程管制項目變更申請單” 說明刪除項目及理由，並檢附相關(guān)資料，經(jīng)部門主管審核，並由J00 PE以工程理論說

6、明並判斷是否可刪除，再經(jīng)工程、品保單位會簽，Q00核準(zhǔn)後刪除該管制項目。J00 PE應(yīng)同時更新相關(guān)POR、SOP及製程Station Monitor項目彙整表或產(chǎn)品Station Monitor項目彙整表。 9CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明1-3 加嚴(yán)當(dāng)在管制圖上連續(xù)5點(批)中有2點(批)超出管制界線者，應(yīng)於QIS發(fā)出通知後，加嚴(yán)(頻率增加或抽樣量增加)檢驗；由J00提出管制項目變更申請單並以工程理論上判斷是否有加嚴(yán)之需求，若認(rèn)定有加嚴(yán)之需求，則需修改該項之管制圖履歷表。10CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明1-4 減量每月月初

7、QIS檢討前30點資料，並發(fā)出彙整之月報表，若沒有超出管制界線的情形，且Cpk1.33，可由PD發(fā)起進行進一步之減量分析，並由現(xiàn)場提出管制項目變更申請單。各製程管制項目欲減少抽樣量或抽樣頻率時，應(yīng)考慮下列事項過去3個月是否有超出管制界線之情形，若有此情形則不適宜減量。 11CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明2.制程加嚴(yán)減量程序?qū)嵤┰瓌t制程加嚴(yán)減量程序?qū)嵤┰瓌t 對制程加嚴(yán)減量之原則如下，在變更同時應(yīng)由相關(guān)單 位提出管制項目變更申請單及修改管制圖履歷表。 加嚴(yán)加嚴(yán)1次/4hr 1次/1班 1次/1天 1次/1週 1次/2週 減量減量當(dāng)管制頻率為每批低于4小時即執(zhí)行一次取樣

8、，則不執(zhí)行加嚴(yán)程序，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有超出規(guī)格界限之情形，應(yīng)依異常處理相關(guān)規(guī)範(fàn)處理，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有超出管制界限之情形，則有現(xiàn)場填據(jù)管制圖異?；貜?fù)單12CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內(nèi)容說明內(nèi)容說明 3. 3.管制圖履歷表中抽樣頻率即數(shù)量之決定管制圖履歷表中抽樣頻率即數(shù)量之決定 (1)依重要藥液分析頻率 (2)依重要藥液換槽頻率 (3)依客戶要求 (4)依品質(zhì)重要程度 (5)依管理要求 (6)依制程能力優(yōu)劣（變異大者抽樣頻率大于變異小者） (7)依相關(guān)單位決議 原則上，若該制程由不同機型之機臺，則每一機型都要有一張管制圖，不能以一張管制圖代表全部機臺。13CC Q90 CC Q90 CO

9、MPEQCOMPEQ 內(nèi)容說明內(nèi)容說明 不定期執(zhí)行時機主要考量當(dāng)物料更換時 當(dāng)藥液換槽時 停機後或其他特殊狀況，應(yīng)考量這些變動對製程之衝擊，並以此管制項目之測試確定製程在管制狀態(tài)下。 原則上，若該製程有不同機型之機臺，則每一機型至少都要有一張管制圖，不能以一張管制圖來代表全部機臺。所有類似的Noisy Factor均需經(jīng)4功能(PE、PD、生產(chǎn) 單位90、PEE)考量並決定管制範(fàn)圍，並於管制圖履歷表中提出選定理由14CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明4. 4.管制圖之制作管制圖之制作4-1管制類型管制圖依取樣數(shù)量多寡及資料類型分為計量值和計數(shù)值兩類： 計量值：

10、 X - R(每組樣本數(shù)10 個) X - S(每組樣本數(shù)10 個) X - Rm(每組樣本數(shù)1 個) 15CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明4-2制程能力分析 X = (X1+X2+X3+Xn)/n R = (R1+R2+R3Rn)/n Cp = （USL-LSL)/6S (雙邊規(guī)格時) Cp = (USL - 製程平均值) / 3 S 或(製程平均值 - LSL) / 3 s (單邊規(guī)格時) Ca = (平均值 規(guī)格中心) / (USL-LSL) / 2) ( (不要取絕對值不要取絕對值) ) Cpk = Cp * (1-Ca) 112nXXSnii16C

11、C Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明4-2制程能力分析 R = 當(dāng)次抽樣之最大值 最小值 (若每次抽樣一個時，則取R= |後一個值-前一個值| ) 17CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明4-3管制圖之畫法 (1)管制圖上下管制界限及中心線計算公式(2)數(shù)值表 類別X-RX-X-Rm平均值UCL=X+A2RLCL=X-A2RUCL=X+A1LCL=X-A1UCL=X+E2RmLCL=X-E2Rm全距UCL=D4RLCL=D3RUCL=B4LCL=B3UCL=D4RmLCL=D3Rm樣本數(shù)(n)A2A1B3B4D3D4E221 . 8

12、83. 7603. 26703. 2672. 6631 . 0232. 39402. 56802. 5751 . 77240. 7291 . 8802. 26502. 2821 . 45750. 5771 . 56902. 08902. 1 1 51 . 2960. 4831 . 410. 031 . 9702. 0041 . 1 8470. 41 91 . 2770. 1 1 81 . 8820. 0761 . 9241 . 1 0980. 3731 . 1 750. 1 851 . 81 50. 1 361 . 8641 . 05490. 3371 . 0940. 2390. 2390.

13、1 841 . 81 61 . 011 00. 3081 . 0280. 2840. 2840. 2231 . 7770. 97518CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明(3) 管制圖上下管制界限用紅色虛線表示，管制中心線用藍色實線表示。(4)有點超出界限時需加以圈註。並由現(xiàn)場單位填寫“管制圖異常(OOC)回覆單”，說明處置方式。(5)管制界限之檢討：當(dāng)每張管制圖點繪滿30點時(即30個抽樣值)，應(yīng)重新以此30點計算管制界限，並以此管制界限作為下一張管制圖之管制界限。(6)當(dāng)製程參數(shù)或原物料或操作方法有變更時，其管制界限皆需重新計算(2) 19CC Q90 CC

14、 Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明4-4管制圖之判圖只要符管制圖判圖原則1，2，5，6就判定制程處于不穩(wěn)定狀態(tài) 1.有點超出管制界限 2.連續(xù)9點在管制中心線的同一邊 5.連續(xù)三點中兩點超過同一邊2個標(biāo)準(zhǔn)偏差以上 6.連續(xù)五點中四點超出同一邊一個標(biāo)準(zhǔn)偏差以上 20CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內(nèi)容說明內(nèi)容說明 4-5管制圖異常處理 利用管制圖的判圖原則，以判定制程是否處于穩(wěn)定狀態(tài)當(dāng)有任何一個法則符合時，即判定制程處于不穩(wěn)定狀態(tài)，需依下列程序處理 (1)當(dāng)有點超出規(guī)格界限時Test1，生產(chǎn)線必須停線，制 程上依RFC之處理程序采取必要措施，使制程回復(fù) 正常，

15、產(chǎn)品處置方式依MRB與DRB處理并填寫管制 圖異?；貜?fù)單。 (2)當(dāng)制程管制特性符合Test2，5，6其中之一時，責(zé)任 單位需注意制程狀態(tài)，必要時采取RFC之處理程序 處理，時制程管制特性回復(fù)正常。21CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內(nèi)容說明內(nèi)容說明4-5 制程改善 未達到目標(biāo)值時，各權(quán)責(zé)單位需作原因分析并提改善對策，Q90應(yīng)負(fù)責(zé)要求各單位針對制程能力異常部分執(zhí)行檢討即及改善對策之執(zhí)行。當(dāng)管制項目Ca0.25時，現(xiàn)場單位需作原因分析并提改善對策。當(dāng)管制項目Ca0.25但Cpk1.33時，工程單位需作異常原因分析并提出改善對策當(dāng)CPK數(shù)據(jù)Ca1.33 但out掉baseli

16、ne時，工程單位需作異常原因分析并提出改善對策22CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內(nèi)容說明（內(nèi)容說明（RFC)RFC)7 .RFC（Respone Flow Checklist） 各現(xiàn)場單位應(yīng)建立RFC，以供當(dāng)管制項目超出管制界限或規(guī)格界限時作業(yè)人員依循并記錄，RFC處理程序流程要能含蓋超出管制界限及超出規(guī)格界限之異常處理。（有可能此兩者之處理是一樣的）7-1RFC建立步驟 步驟1利用手法工具如魚骨圖、WnSn或腦力 激蕩方式找出所有可能之原因。23CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內(nèi)容說明（內(nèi)容說明（RFC)RFC)步驟2對所有可能原因建立一個“可能

17、發(fā)生/容易減視”分析表， 決定解決的順序。 其中在“可能發(fā)生”之得分判定上1分表示原因非常 可能發(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。 在“容易檢視”之得分判定上1分表示此原因很容易檢 查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分 數(shù)最低排在最前面 。步驟4依各順序列出可能原因步驟5針對可能原因提出補救措施(最有效的排在最前面）24CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內(nèi)容說明（內(nèi)容說明（RFC)RFC)步驟2對所有可能原因建立一個“可能發(fā)生/容易減視”分析表， 決定解決的順序。 其中在“可能發(fā)生”之得分判定上1分表示原因非常 可能發(fā)生，5分表示

18、非常不可能發(fā)生。 在“容易檢視”之得分判定上1分表示此原因很容易檢 查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分 數(shù)最低排在最前面 。步驟4依各順序列出可能原因步驟5針對可能原因提出補救措施(最有效的排在最前面）25CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內(nèi)容說明（內(nèi)容說明（RFC)RFC)步驟2對所有可能原因建立一個“可能發(fā)生/容易減視”分析表， 決定解決的順序。 其中在“可能發(fā)生”之得分判定上1分表示原因非常 可能發(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。 在“容易檢視”之得分判定上1分表示此原因很容易檢 查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3將可能發(fā)生之得