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文檔簡介

典型的鍍膜涂層生產(chǎn)流程從工具和精密元件的入庫檢查、涂層加工、直到交付客戶，整個過程都是專業(yè)的生產(chǎn)流程，其中包含多個分別征對不同特殊屬性要求的涂層的步驟。 一、入庫檢查 檢查待涂層零件的質(zhì)量、材料和表面狀況。根據(jù)客戶的規(guī)范確定生產(chǎn)程序。二、清洗 干凈的表面對于涂層附著至關(guān)重要。因此，我們要下大力量進行表面處理以便為PVD處理做好準(zhǔn)備。在多級超聲波清洗線上用堿性水溶液進行清洗，溶液中 不含任何對環(huán)境有害的添加劑。通過將零件分別裝入自動進料清洗線的特殊容器中簡化清洗過程。三、預(yù)處理 如果需要其它預(yù)處理，應(yīng)當(dāng)采用適當(dāng)?shù)募夹g(shù)在真空電爐中去氣。 例如， 清除殘留在窄小鉆孔中的材料，并通過微型噴砂移除多孔表面層。四、進料 在涂層前，將零件裝入可互換的基座支架中，然后插入涂層系統(tǒng)。 處理大型產(chǎn)品時，可自動裝載基座支架。零件這種有計劃的安排可保持精確性。五、鍍膜涂層 1、抽去處理室空氣使剩余壓力大約為10-6mbar2、系統(tǒng)和工藝檢查3、將工具或元件加熱到所需的溫度4、對工具/元件進行離子蝕刻以自動產(chǎn)生清潔表面5、用PVD工藝進行涂層6、冷卻7、系統(tǒng)和安全檢查使用適當(dāng)?shù)拿浇閷訒r施加精確控制，以確保功能性涂層的附著性達到最佳狀態(tài)。該涂層適用于單層或多層工藝，并適用于在納米結(jié)構(gòu)中采用。等離子參數(shù)設(shè)置確定了涂層屬性，而經(jīng)證實的系統(tǒng)技術(shù)則確保了所需工藝的可靠性。六、出庫檢查 這包括屬性測試，例如硬度、涂層厚度、附著力和外觀檢查。當(dāng)涂層較長，且有協(xié)定數(shù)量的測試零件的情況下，則對協(xié)定參數(shù)施行工藝統(tǒng)計監(jiān)控。如經(jīng)濟上可行，則始終對產(chǎn)量較大的元件進行自動測試。七、后期處理/保養(yǎng) 在大多數(shù)情況下，我們應(yīng)該執(zhí)行后期處理，例如，對有涂層的鍍膜工具或元件退磁或進行保養(yǎng)。八、包裝/發(fā)運 鍍膜零件通常在進貨和

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