【恒銳知產(chǎn)】2025年靜電卡盤創(chuàng)新主體創(chuàng)新體系評(píng)價(jià)報(bào)告

服務(wù)科技創(chuàng)新服務(wù)未來價(jià)值恒銳知識(shí)產(chǎn)權(quán)上海恒銳知識(shí)產(chǎn)權(quán)服務(wù)有限公司上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所持之以恒銳意進(jìn)取垂直行業(yè)垂直行業(yè)恒銳知識(shí)產(chǎn)權(quán)是半導(dǎo)體垂直行業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)咨詢與服務(wù)機(jī)構(gòu)，通過與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深度融合，業(yè)務(wù)與客戶覆蓋集成電路產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)、制造、封裝、設(shè)備、材料等各領(lǐng)域，致力于為客戶提供數(shù)據(jù)、分析、咨詢、確權(quán)、行權(quán)和維權(quán)的全方位知識(shí)產(chǎn)權(quán)解決方案。雙核互動(dòng)作為國(guó)內(nèi)和上海市專利信息與情報(bào)分析的先行者與領(lǐng)先者，恒銳知識(shí)產(chǎn)權(quán)是全國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)評(píng)議服務(wù)示范創(chuàng)建機(jī)構(gòu)、中華代理師協(xié)會(huì)理事，致力于專利信息利用與高價(jià)值專利布局的雙核互動(dòng)服務(wù)，累計(jì)完成專利情報(bào)分析項(xiàng)目超過2000項(xiàng)，形成高價(jià)值專利布局超過5000件，助力10余家企業(yè)成功登陸科創(chuàng)板。·數(shù)據(jù)權(quán)威：基于全球?qū)＠麛?shù)據(jù)、100+家創(chuàng)新主體分析，涵蓋技術(shù)分類、法律狀態(tài)等·規(guī)避專利風(fēng)險(xiǎn)：基于動(dòng)態(tài)更新的專利數(shù)據(jù)庫，檢索高風(fēng)險(xiǎn)技術(shù)點(diǎn)，預(yù)警潛在侵權(quán)糾紛·深度解析：應(yīng)用材料、東京電子等頭部企業(yè)的核心專利布局邏輯，為國(guó)產(chǎn)研發(fā)提供“技術(shù)抄近道”指南蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司-一總公開靜電卡盤-一總公開靜電卡盤44333200創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分9件蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司—Professiona/IPService融資歷程龍鼎投資百奧化學(xué)浦科投資蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司公司情況WST未上市半導(dǎo)體零部件廠產(chǎn)品情況(圖源芯慧聯(lián)官網(wǎng))主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品蘇州芯慧聯(lián)是一家專注于半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Ｓ迷O(shè)備設(shè)計(jì)及技術(shù)研發(fā)的企業(yè)，主要面向泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的生產(chǎn)制造企業(yè)，為其提供配套的工藝設(shè)備、零部件、系統(tǒng)單元以及技術(shù)服務(wù)支持。芯慧聯(lián)的靜電卡盤能夠完全替代進(jìn)口產(chǎn)品，技術(shù)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)高新技術(shù)企業(yè)、科技型中小企業(yè)廣東海拓創(chuàng)新技術(shù)有限公司-一總公開一靜電卡盤專利情況7件布局廣度創(chuàng)新評(píng)分廣東海拓創(chuàng)新技術(shù)有限公司戰(zhàn)略融資廣東海拓創(chuàng)新技術(shù)有限公司未上市半導(dǎo)體零部件廠(圖源海拓創(chuàng)新官網(wǎng))產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品海拓創(chuàng)新是一家專注半導(dǎo)體及顯示行業(yè)關(guān)鍵零部件進(jìn)行國(guó)產(chǎn)化的技術(shù)型公司，在國(guó)產(chǎn)化靜電卡盤及基于靜電卡盤為技術(shù)核心設(shè)備領(lǐng)域的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)具有領(lǐng)先地位，通過了ISO14001、ISO14001等國(guó)際質(zhì)量體系認(rèn)證，其靜電卡盤系統(tǒng)涵蓋晶圓搬運(yùn)、氧化物/多晶硅刻蝕、離子注入、薄膜等工序。靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)高新技術(shù)企業(yè)、科技型中小企業(yè)蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司布局深度創(chuàng)新成果布局深度4433322布局廣度保護(hù)強(qiáng)度布局廣度累計(jì)授權(quán)專利累計(jì)授權(quán)專利創(chuàng)新體系評(píng)分國(guó)內(nèi)排名累計(jì)相關(guān)專利8件蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司iFuture恒筑—Professiona//PServic公司情況未上市產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)眾芯聯(lián)在靜電卡盤領(lǐng)域內(nèi)屬于新興企業(yè)，其生產(chǎn)的靜電卡盤廣泛應(yīng)用于芯片和面板制造領(lǐng)域，主要服務(wù)于干刻、PVD、CVD等設(shè)備。主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)高新技術(shù)企業(yè)、科技型中小企業(yè)浙江新納陶瓷新材有限公司—Professiona//PServic研發(fā)體系布局深度創(chuàng)新成果布局深度75544420布局廣度保護(hù)強(qiáng)度創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分累計(jì)發(fā)明申請(qǐng)累計(jì)相關(guān)專利8件累計(jì)發(fā)明申請(qǐng)累計(jì)相關(guān)專利8件國(guó)內(nèi)排名累計(jì)授權(quán)專利浙江新納陶瓷新材有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司擬在深交所上市半導(dǎo)體零部件廠(圖源新納陶瓷官網(wǎng))產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品新納陶瓷是一家專業(yè)從事設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)制造、銷售陶瓷材料和產(chǎn)品的高新技術(shù)民營(yíng)企業(yè)，擁有國(guó)外先進(jìn)、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的陶瓷材料和產(chǎn)品生產(chǎn)線，已形成以陶瓷基板、結(jié)構(gòu)陶瓷、陶瓷器件等為主導(dǎo)的多門類產(chǎn)品，專注于半導(dǎo)體、移動(dòng)通訊、新能源等應(yīng)用領(lǐng)域的陶瓷材料及器件的研發(fā)生產(chǎn)，是國(guó)內(nèi)特種陶瓷材料和產(chǎn)品的主要生產(chǎn)廠家。靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)高新技術(shù)企業(yè)、專精特新中小企業(yè)北京華卓精科科技股份有限公司一一總公開一靜電卡盤專利情況累計(jì)專利申請(qǐng)679件累計(jì)授權(quán)專利244件累計(jì)發(fā)明申請(qǐng)累計(jì)相關(guān)專利布局廣度6th6th北京華卓精科科技股份有限公司融資歷程水木創(chuàng)投C輪-1130萬A+A+輪-1020萬在冊(cè)股東大華大陸D+輪-7587.5萬渾璞投資，紅星美凱龍B++輪-1200萬在冊(cè)股東B輪-3282萬在冊(cè)股東，大華大陸投資，中金公司等在冊(cè)股東，大華大陸投資，中金公司等A輪-500萬中海投資，中關(guān)村海淀園D輪-8700萬渾璞投資，紅星美凱龍，中金公司北京華卓精科科技股份有限公司iFuture恒筑退市834733中國(guó)·北京半導(dǎo)體零部件廠產(chǎn)品情況華卓精科在中國(guó)半導(dǎo)體用靜電卡盤市場(chǎng)中屬于領(lǐng)先企業(yè)之一，其12英寸PVD氮化鋁靜電吸盤已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并在市主營(yíng)業(yè)務(wù)場(chǎng)中獲得了一定的份額，能夠滿足12英寸晶圓的加工需求。主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)高新技術(shù)企業(yè)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范單位、科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)、中國(guó)專利銀獎(jiǎng)君原電子科技(海寧)有限公司-一總公開一靜電卡盤研發(fā)體系創(chuàng)新成果布局深度創(chuàng)新成果922保護(hù)強(qiáng)度布局廣度保護(hù)強(qiáng)度專利情況創(chuàng)新評(píng)分專利情況82件2件82件2件37件君原電子科技(海寧)有限公司融資歷程AA輪—3800萬美元戰(zhàn)略融資上海創(chuàng)投等戰(zhàn)略融資戰(zhàn)略融資戰(zhàn)略融資上海創(chuàng)投等私募，興橙資本等君原電子科技(海寧)有限公司公司情況未上市半導(dǎo)體零部件廠產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品君原電子是國(guó)內(nèi)第一家實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)半導(dǎo)體靜電吸盤的公司，引領(lǐng)了國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，其產(chǎn)品線實(shí)現(xiàn)了對(duì)14nm及以上的主要刻蝕機(jī)臺(tái)靜電吸盤產(chǎn)品的全覆蓋，能夠滿足不同工藝節(jié)點(diǎn)和設(shè)備類型的需求，為客戶提供一站式的解決方案。靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)高新技術(shù)企業(yè)煙臺(tái)睿瓷新材料技術(shù)有限公司-一總公開一靜電卡盤專利情況24件6件13件14件布局廣度創(chuàng)新評(píng)分4th煙臺(tái)睿瓷新材料技術(shù)有限公司產(chǎn)品情況—Professiona/IPService獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)江蘇魯汶儀器股份有限公司-一總公開一靜電卡盤22131專利情況累計(jì)專利申請(qǐng)734件累計(jì)授權(quán)專利累計(jì)發(fā)明申請(qǐng)累計(jì)相關(guān)專利創(chuàng)新評(píng)分LELEN江蘇魯汶儀器股份有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司未上市半導(dǎo)體設(shè)備廠產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品魯汶儀器致力于為集成電路制造產(chǎn)業(yè)提供先進(jìn)的裝備和工藝解決方案，研發(fā)了業(yè)界領(lǐng)先的離子束塑形設(shè)備(IBS)、離子束沉積設(shè)備(IBD)等，魯汶儀器也提供電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備(ICP)、薄膜沉積設(shè)備(CVD),以及氣相分解金屬沾污收集設(shè)備(VPD)等晶圓工藝制造設(shè)備與檢測(cè)設(shè)備。靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)高新技術(shù)企業(yè)、中國(guó)專利優(yōu)秀獎(jiǎng)-一總公開一靜電卡盤創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分8301件211件北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司融資歷程股權(quán)融資中國(guó)中信金融資產(chǎn)等股權(quán)融資中國(guó)中信金融資產(chǎn)等定向增發(fā)北京京國(guó)瑞國(guó)企改革發(fā)展基金等2016.10.28戰(zhàn)略融資芯動(dòng)能投資，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金定向增發(fā)北京電控等股權(quán)融資七星華電定向增發(fā)—21億人民幣中國(guó)中信金融資產(chǎn)等定向增發(fā)—85億北京市集成電路制造和裝備基金，嘉實(shí)資本，廣發(fā)基金等北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司公司情況NAURA半導(dǎo)體設(shè)備廠產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品北方華創(chuàng)的主要產(chǎn)品包括刻蝕機(jī)、PVD、ALD、CVD、氧化/擴(kuò)散爐、清洗機(jī)、氣體質(zhì)量流量計(jì)等高端半導(dǎo)體工藝裝備及核心零部件，廣泛應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝、半導(dǎo)體照明、微機(jī)電系統(tǒng)、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、新能源光伏、平板顯示等領(lǐng)域。靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員、中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)領(lǐng)軍企業(yè)、高新技術(shù)企業(yè)、專精特新小巨人”企業(yè)、科學(xué)進(jìn)步獎(jiǎng)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新獎(jiǎng)、中國(guó)專利優(yōu)秀獎(jiǎng)中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司-一總公開一靜電卡盤8創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分2782件1621件279件—Professiona/IPService中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司公司情況AMEC科創(chuàng)板上市半導(dǎo)體設(shè)備廠產(chǎn)品情況(圖源-中微官網(wǎng))主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品中微公司是一家以中國(guó)為基地、面向亞洲和全球的微觀加工高端設(shè)備公司，其等離子刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于從45納米到1X納米工藝的芯片加工制造及先進(jìn)封裝，用于LED和功率器件外延片批量生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員、高新技術(shù)企業(yè)、中國(guó)專利金獎(jiǎng)、中國(guó)專利銀獎(jiǎng)所在地區(qū)保護(hù)中國(guó)北京江蘇魯汶儀器股份有限公司中國(guó)江蘇中國(guó)山東君原電子科技(海寧)有限公司中國(guó)浙江0廣東海拓創(chuàng)新技術(shù)有限公司中國(guó)廣東基于靜電卡盤相關(guān)專利數(shù)據(jù)，從研發(fā)體系，創(chuàng)新成果、保護(hù)強(qiáng)度、布局深度、布局廣度五個(gè)角度為國(guó)內(nèi)創(chuàng)新主體進(jìn)國(guó)內(nèi)創(chuàng)新主體靜電卡盤創(chuàng)新體系評(píng)價(jià)排行-一總公開一靜電卡盤99創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分261件261件日本特殊陶業(yè)日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社公司情況公司情況零部件廠零部件廠產(chǎn)品情況日本特殊陶業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域占據(jù)著顯著的份額，提供著多種半導(dǎo)體制造設(shè)備用的精密陶瓷部件。日本特殊主營(yíng)業(yè)務(wù)陶業(yè)是全球主要的靜電卡盤翻新生產(chǎn)商之一，同時(shí)也是陶瓷型靜電卡盤市場(chǎng)份額中排名靠前。主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)6766創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分84730件京瓷株式會(huì)社公司情況CKyOCERa京瓷零部件廠零部件廠產(chǎn)品情況圖片來自于京瓷官網(wǎng)主營(yíng)業(yè)務(wù)京瓷在電子陶瓷領(lǐng)域是全球規(guī)模最大的先進(jìn)陶瓷供應(yīng)商，被稱為電子陶瓷之王。京瓷的靜電卡盤具有高精度，高溫耐久性和化學(xué)穩(wěn)定性，適用于等離子體環(huán)境，更夠在各種操作溫度下保持良好的性能。靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)科睿唯安2023百?gòu)?qiáng)創(chuàng)新企業(yè)，BSFVSealforInnovation,SupplierExcellenceAwardfromEVGroup,日本文部科學(xué)省2021年科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)—20202021創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分3883件354件3883件354件8848件4689件住友大阪水泥股份有限公司產(chǎn)品情況獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)-一總公開一靜電卡盤專利情況創(chuàng)新評(píng)分專利情況4129件326件9606件4129件326件9606件5434件新光電氣工業(yè)股份有限公司公司情況SHINKO產(chǎn)品情況獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)2016年泛林半導(dǎo)體SupplierExcellenceAward,英特爾2017年度SupplierContinuousQualityImprovementAward,JapanFine株式會(huì)社創(chuàng)意科技-一總公開靜電卡盤研發(fā)體系專利情況3337件1371件917件151件市場(chǎng)廣度8.00保護(hù)強(qiáng)度創(chuàng)新評(píng)分—Professiona//PServic產(chǎn)品情況獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)研發(fā)體系總公開一一總公開一一布局深度創(chuàng)新成果保護(hù)強(qiáng)度市場(chǎng)廣度2729保護(hù)強(qiáng)度市場(chǎng)廣度創(chuàng)新評(píng)分專利情況創(chuàng)新評(píng)分35225件11546件486件東陶機(jī)器株式會(huì)社東陶機(jī)器株式會(huì)社—Professiona//PServic公司情況公司情況東京交易所上市東京交易所上市產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)東陶機(jī)器株式會(huì)社(TOTO)除了主營(yíng)的衛(wèi)浴潔具和建材以外，其在精密套磁領(lǐng)域也有涉獵較深，其在半導(dǎo)體制造和光通信領(lǐng)域制造和銷售高品質(zhì)高精度的陶瓷產(chǎn)品，如氣滑，靜電卡盤和焊接毛細(xì)管等。主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)IF設(shè)計(jì)大獎(jiǎng)，紅點(diǎn)設(shè)計(jì)獎(jiǎng)。日本礙子株式會(huì)社53專利情況創(chuàng)新評(píng)分專利情況16745件434件45779件16745件434件45779件26596件日本礙子株式會(huì)社日本礙子株式會(huì)社—Professiona/IPService公司情況公司情況零部件廠零部件廠產(chǎn)品情況日本礙子株式會(huì)社是一家以先進(jìn)陶瓷為核心的公司，其在靜電卡盤領(lǐng)域主要為下游廠家提供氮化鋁，氧化鋁等先進(jìn)陶主營(yíng)業(yè)務(wù)瓷件。靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)日本第23屆中部科學(xué)技術(shù)中心表彰振興獎(jiǎng)，最佳傳感器獎(jiǎng)，第78屆日本陶瓷協(xié)會(huì)技術(shù)獎(jiǎng)，SBT倡議的凈零標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，JAXA宇宙探測(cè)創(chuàng)新宇宙探測(cè)創(chuàng)新中心選中。拉姆研究公司專利情況專利情況12653件相關(guān)專利486件12653件相關(guān)專利486件28778件累計(jì)授權(quán)專利15623件全球排名3rd專利情況創(chuàng)新評(píng)分79380件45501件79380件45501件1316件東京電子株式會(huì)社TEL公司情況設(shè)備廠設(shè)備廠產(chǎn)品情況主營(yíng)業(yè)務(wù)東京電子是全球第四大半導(dǎo)體設(shè)備廠商，其涂膠顯影設(shè)備全球市占率排名第一。東京電子所制造的靜電卡盤在日本，臺(tái)灣和韓國(guó)擁有較高的影響力，應(yīng)用產(chǎn)業(yè)多數(shù)為半導(dǎo)體，平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器方面。主營(yíng)業(yè)務(wù)靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)TSMC卓越表現(xiàn)獎(jiǎng)，科睿唯安年度百?gòu)?qiáng)創(chuàng)新機(jī)構(gòu)，全球百搭創(chuàng)新靈修，nikkei綜合報(bào)告優(yōu)秀獎(jiǎng)。應(yīng)用材料股份有限公司專利情況創(chuàng)新評(píng)分40527件41629件41629件應(yīng)用材料股份有限公司公司情況APPLIED 納斯達(dá)克上市設(shè)備廠產(chǎn)品情況(圖片來源于J316.)主營(yíng)業(yè)務(wù)應(yīng)用材料股份有限公司是一家全球領(lǐng)先的材料工程解決方案供應(yīng)商，其生產(chǎn)的靜電卡盤占據(jù)了全球市場(chǎng)的主導(dǎo)地位。靜電卡盤產(chǎn)品靜電卡盤研發(fā)靜電卡盤生產(chǎn)靜電卡盤銷售靜電卡盤維護(hù)獎(jiǎng)項(xiàng)榮譽(yù)美國(guó)國(guó)家技術(shù)獎(jiǎng)，中國(guó)專利獎(jiǎng)，全球500強(qiáng)，英特爾epic杰出供應(yīng)商，入選《財(cái)富》雜志評(píng)選的全球最受尊敬公司。所在地區(qū)保護(hù)應(yīng)用材料股份有限公司美日本東京拉姆研究公司美國(guó)加州4.422.897.588.158.5431.6日本東京基于靜電卡盤相關(guān)專利數(shù)據(jù)，從研發(fā)體系，創(chuàng)新成果、保護(hù)強(qiáng)度、布局深度、布局廣度五個(gè)角度為國(guó)外創(chuàng)新主體進(jìn)國(guó)外創(chuàng)新主體靜電卡國(guó)外創(chuàng)新主體靜電卡盤創(chuàng)新體系評(píng)價(jià)排行半導(dǎo)體部件廠技術(shù)分類數(shù)量排名情況全球部件廠IPC小組數(shù)量排名前十權(quán)利人①①日本礙子株式會(huì)社②住友大阪水泥股份有限公司3日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社東陶機(jī)器株式會(huì)社新光電氣工業(yè)股份有限公司京瓷株式會(huì)社株式會(huì)社創(chuàng)意科技信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社君原電子科技(海寧)有限公司美科陶瓷科技有限公司國(guó)內(nèi)部件廠IPC小組數(shù)量排名前十權(quán)利人①①君原電子科技(海寧)有限公司24②蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司63北京華卓精科科技股份有限公司5浙江新納陶瓷新材有限公司5建泓科技實(shí)業(yè)股份有限公司3力鼎精密股份有限公司3瑞耘科技股份有限公司3翔名科技股份有限公司3寧波江豐電子材料股份有限公司3蕪湖通潮精密機(jī)械股份有限公司3半導(dǎo)體設(shè)備廠技術(shù)分類數(shù)量排名情況①中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司①中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司3江蘇魯汶儀器股份有限公司5盛吉盛(寧波)半導(dǎo)體科技有限公司4東莞先導(dǎo)先進(jìn)科技有限公司3天津鑫鈺半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限 |41《全球IPC小組數(shù)量最多的企業(yè)是應(yīng)用材料股份有限公司，技術(shù)分類達(dá)有128個(gè)；其次是東京電子株式會(huì)社，有103個(gè)；中國(guó)設(shè)備廠中微半導(dǎo)體(上海)股份有限公司，技術(shù)分類達(dá)有41個(gè)；其余的創(chuàng)新主體的IPC小組均小于10。9”國(guó)內(nèi)外部件廠靜電卡盤相關(guān)專利發(fā)明人數(shù)量TOP10全球部件廠靜電卡盤專利發(fā)明人數(shù)量TOP10國(guó)內(nèi)部件廠ESC專利發(fā)明人數(shù)量TOP10東陶機(jī)器株式會(huì)社日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社日本礙子株式會(huì)社住友大阪水泥股份有限公司新光電氣工業(yè)股份有限公司京瓷株式會(huì)社太平洋水泥株式會(huì)社巴川集團(tuán)股份有限公司信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社美科陶瓷科技有限公司北京華卓精科科技股份有限公司39建泓科技實(shí)業(yè)股份有限公司君原電子科技(海寧)有限公司蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司衡陽凱新特種材料科技有限公司寧波江豐電子材料股份有限公司寧波江豐電子材料股份有限公司煙臺(tái)睿瓷新材料技術(shù)有限公司10杭州大和熱磁電子有限公司10翔名科技股份有限公司“在部件廠中，”Ⅲ川ⅢⅢ川Ⅲ“在設(shè)備廠中，中外廠商發(fā)明人人數(shù)差距明顯全球范圍內(nèi)靜電卡盤相關(guān)專利發(fā)明人數(shù)最多的是應(yīng)用材料股份有限公司，有1290位發(fā)明人；其次是東京電子株式會(huì)社，有1039位發(fā)明人；相對(duì)的，中國(guó)企業(yè)相關(guān)專利發(fā)明人數(shù)最多是中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司，有207位發(fā)明人；其次是北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，有188位發(fā)明人；全球創(chuàng)新主體有效發(fā)明專利排名“全球范圍內(nèi)，有效發(fā)明專利持有數(shù)量最多的企業(yè)是東京電子，有520件；排名第三位的是拉姆研究，有289件。9“從剩余期限分布來看，數(shù)量最多的為具有15-20年剩余期限的專利；數(shù)量最少的為具有0-5年剩余期限的專利。9中國(guó)部件廠商-被引總次數(shù)及被引用率TOP“在中國(guó)部件廠商中，被引總次數(shù)最多的企業(yè)是北京華卓精科科技股份有限公司，有16件，對(duì)應(yīng)被引用率為31.03%全25.12%嚴(yán)被引總次數(shù)最多的企業(yè)是北京北方華創(chuàng)微電子設(shè)備有限公司，有174次，對(duì)應(yīng)被引用率為25.12%;其次是中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司，有150次，對(duì)應(yīng)的被引用率為18.28%;其他廠商的專利被引用總次數(shù)均不足10次?！比虿考S商-近5年被引≥5次專利數(shù)及被引用率TOP10n/近5年被引次數(shù)≥5次的專利數(shù)最多的企業(yè)是新光電氣公司，有148件，對(duì)應(yīng)被引用率為24.23%;其次是東陶機(jī)器株式會(huì)社，有122件，對(duì)應(yīng)的被引用率為38.68%;/近5年被引次數(shù)≥5次的專利數(shù)最多的企業(yè)是應(yīng)用材料股份有限公司，有209件，對(duì)應(yīng)被引用率為其次是東京電子，有136件，對(duì)應(yīng)的被引用率為35.26%。”國(guó)內(nèi)部件廠近五年靜電卡盤專利申請(qǐng)量排名TOP10申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是君原電子，有23件；從第三名開始申請(qǐng)量低于10件。君原電子科技(海寧)有限公司煙臺(tái)睿瓷新材料技術(shù)有限公司蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司君原電子科技(海寧)有限公司煙臺(tái)睿瓷新材料技術(shù)有限公司蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司廣東海拓創(chuàng)新技術(shù)有限公司北京華卓精科科技股份有限公司杭州之芯半導(dǎo)體有限公司北京中硅泰克精密技術(shù)有限公司衡陽凱新特種材料科技有限公司杭州大和熱磁電子有限公司國(guó)內(nèi)設(shè)備廠近五年靜電卡盤專利申請(qǐng)量排名TOP10·中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司北京爍科中科信電子裝備有限公司53盛吉盛半導(dǎo)體科技有限公司東莞先導(dǎo)先進(jìn)科技有限公司申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是中微公司，有78件；從第三名開始申請(qǐng)量低于10件。蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司上海諳邦半導(dǎo)體設(shè)備有限公司7富樂德科技發(fā)展(大連)有限公司得立亞科技有限公司全球部件廠近五年靜電卡盤專利申請(qǐng)量排名TOP10·新光電氣工業(yè)股份有限公司東陶機(jī)器株式會(huì)社日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社住友大阪水泥股份有限公司日本礙子株式會(huì)社在全球部件廠中，申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是新光電氣，有148件；其次是東陶機(jī)器，有122件；恩特格里斯公司排名第三的是日本特陶，有79件。君原電子科技(海寧)有限公司工工美科陶瓷科技有限公司:翻和相7:翻和相京瓷株式會(huì)社全球設(shè)備廠近五年靜電卡盤專利申請(qǐng)量排名TOP10?東京電子株式會(huì)社應(yīng)用材料股份有限公司中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司細(xì)美事有限公司拉姆研究公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司在全球設(shè)備廠中，申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是東京電子，達(dá)360件；其次是應(yīng)材，有332件；排名第三的是中微公司，有78件。株式會(huì)社日立高新技術(shù)馬特森技術(shù)公司株式會(huì)社迪思科7國(guó)內(nèi)部件廠商靜電卡盤專利申請(qǐng)量TOP10“平均12件申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是華卓精科，有29件；其次是睿瓷新材，有14件；從第三名開始申請(qǐng)量低于10件。9廣東海拓創(chuàng)新技術(shù)有限公司艾希納半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司君原電子科技(海寧)有限公司北京中硅泰克精密技術(shù)有限公司北京華卓精科科技股份有限公司蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司煙臺(tái)睿瓷新材料技術(shù)有限公司建弘科技實(shí)業(yè)股份有限公司浙江新納陶瓷新材有限公司力鼎精密股份有限公司448855全球部件廠ESC專利申請(qǐng)量排名TOP10東陶機(jī)器株式會(huì)社486日本礙子株式會(huì)社434住友大阪水泥股份有限公司354新光電氣工業(yè)股份有限公司326“平均235件日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社261“平均235件在全球部件廠中，排名前五位的申請(qǐng)量均高于平均值；京瓷株式會(huì)社200排名前五位的申請(qǐng)量均高于平均值；巴川集團(tuán)股份有限公司83申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是東陶機(jī)器，達(dá)486件；信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社79其次是日本礙子，有434件；美科陶瓷科技有限公司太平洋水泥株式會(huì)社均值：235均值：235住友大阪排名第三位。”國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商靜電卡盤專利申請(qǐng)量TOP10“平均54件在國(guó)內(nèi)設(shè)備廠中，申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是中微公司，達(dá)279件；其次是北方華創(chuàng)微電子，有211件；從第三名開始申請(qǐng)量低于15件。均值：53.9東莞先導(dǎo)先進(jìn)科技有限公司上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司藩海精研股份有限公司漢辰科技股份有限公司盛吉盛(寧波)半導(dǎo)體科技有限公司北京妖科中科信電子裝備有限公司蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司東莞先導(dǎo)先進(jìn)科技有限公司上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司藩海精研股份有限公司漢辰科技股份有限公司盛吉盛(寧波)半導(dǎo)體科技有限公司北京妖科中科信電子裝備有限公司蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司江蘇魯汶儀器股份有限公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司全球設(shè)備廠ESC專利申請(qǐng)量排名應(yīng)用材料股份有限公司東京電子株式會(huì)社拉姆研究公司中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司株式會(huì)社愛發(fā)科細(xì)美事有限公司株式會(huì)社日立高新技術(shù)株式會(huì)社迪思科瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司211161149均值：467均值：467“平均467件申請(qǐng)數(shù)量最多的企業(yè)是應(yīng)材，達(dá)1558件；拉姆研究排名第三位。從設(shè)備廠/部件廠，國(guó)內(nèi)/國(guó)外的劃分角度出發(fā)，從申請(qǐng)量，發(fā)明人，引用率等多維度出發(fā)對(duì)靜電卡盤領(lǐng)域內(nèi)的權(quán)利人靜電卡盤相關(guān)專利多維排行中國(guó)各地區(qū)創(chuàng)新主體靜電卡盤相關(guān)專利平均申請(qǐng)量浙江湖北遼寧司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司29同同同同同同同同同同同同同同同同同同同司同同后23同司同司司同6同同同同同5"29件創(chuàng)新主體靜電卡盤相關(guān)專利平均申請(qǐng)數(shù)量最多的地區(qū)是北京，平均達(dá)29件；"29件創(chuàng)新主體靜電卡盤相關(guān)專利平均申請(qǐng)數(shù)量最多的地區(qū)是北京，平均達(dá)29件；9中國(guó)地區(qū)靜電卡盤相關(guān)創(chuàng)新主體分布情況中國(guó)地區(qū)，創(chuàng)新主體最多的地區(qū)是臺(tái)灣，達(dá)18個(gè)；江蘇地區(qū)有17個(gè)，位列第二；上海地區(qū)有13個(gè)，排名三位。4422222臺(tái)灣地區(qū)、上海地區(qū)創(chuàng)新主體中各有4個(gè)上市公司。上海廣東浙江中國(guó)地區(qū)靜電卡盤相關(guān)專利申請(qǐng)分布在中國(guó)，靜電卡盤相關(guān)申請(qǐng)最多的地區(qū)是上海，達(dá)299件；北京地區(qū)相關(guān)申請(qǐng)有261件；浙江地區(qū)相關(guān)申請(qǐng)有65件。全球各地區(qū)創(chuàng)新主體靜電卡盤相關(guān)專利平均申請(qǐng)量美國(guó)司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司16司司司司司司司司司司司司司司司司司司76中國(guó)英國(guó)84“136件全球范圍內(nèi)，創(chuàng)新主體靜電卡盤相關(guān)專利平均申請(qǐng)數(shù)量最多的地區(qū)是美國(guó)，達(dá)136件；9全球靜電卡盤相關(guān)創(chuàng)新主體分布情況創(chuàng)新主體數(shù)量創(chuàng)新主體數(shù)量"98個(gè)創(chuàng)新主體最多的地區(qū)是中國(guó)，達(dá)98個(gè)；日本、美國(guó)分列二三位。9311以色列韓國(guó)31“34家日本地區(qū)靜電卡盤相關(guān)創(chuàng)新主體上市公司數(shù)量34家；中國(guó)地區(qū)創(chuàng)新主體中有18家上市公司。9653全球靜電卡盤相關(guān)專利申請(qǐng)分布—Professiona//PSer全球范圍內(nèi)靜電卡盤相關(guān)專利申請(qǐng)量排名前三地區(qū)：日本4499件、美國(guó)2592件、中國(guó)791件?！表n國(guó)，日本韓國(guó)，日本8靜電卡盤相關(guān)專利技術(shù)分類發(fā)展歷程…半導(dǎo)體器件半導(dǎo)體器件半導(dǎo)體器件半導(dǎo)體器件半導(dǎo)體器件—Professiona/IPService“44.60%部(電學(xué))、B部部(化學(xué)、冶金)。靜電卡盤技術(shù)領(lǐng)域的專利類型主要為發(fā)明。9發(fā)明，9596,96.2%PCTPCT指定期滿，619,6.2%“38.8%靜電卡盤相關(guān)專利中的有效專利有3871件；失效專利中，有接近一半的專利曾經(jīng)獲得授權(quán)，且專利權(quán)存續(xù)2過或長(zhǎng)或短的一段時(shí)間。有效，3871,38.8%駁回申請(qǐng)終止放棄避免重復(fù)授權(quán)PCT指定期內(nèi)，75,0.8%失效，4041,40.5%靜電卡盤相關(guān)專利申請(qǐng)趨勢(shì)中國(guó)88海外從全球申請(qǐng)趨勢(shì)來看，靜電卡盤技術(shù)領(lǐng)域的第一件專利出現(xiàn)于1975年，1975年-1990年，專利申請(qǐng)數(shù)量緩慢增長(zhǎng)；1991年-2004年，總體呈現(xiàn)上升趨勢(shì)，但增長(zhǎng)速度比較緩慢；2006年-2015年，專利申請(qǐng)數(shù)量波動(dòng)較大，且有幾年呈明顯下降趨勢(shì)；2016年-2019年，專利申請(qǐng)數(shù)量快速上升，并在2019年達(dá)到了從中國(guó)申請(qǐng)趨勢(shì)來看，與全球申請(qǐng)趨勢(shì)基本一致，但中國(guó)靜電卡盤相關(guān)技術(shù)的專利申請(qǐng)整體上落后于全球一個(gè)時(shí)期；中國(guó)目前處于快速發(fā)展期，結(jié)合全球申請(qǐng)趨勢(shì)，中國(guó)主體的專利申請(qǐng)數(shù)量可能在幾年之后有所下降。靜電卡盤相關(guān)專利