2wi-ar-mfn-00013 fab內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備move in作業(yè)指導(dǎo)書(shū)ver01

深圳市華星光電技術(shù)有限公司ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd文件編號(hào)WI-AR-MFN-00013版本Ver.01文件名稱(chēng)：FAB內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備Movein作業(yè)指導(dǎo)書(shū)制訂部門(mén)Array/MFG機(jī)密等級(jí)一般制訂者張琦版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)有限公司所有.禁止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術(shù)有限公司ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd文件編號(hào)WI-AR-MFN-00013申請(qǐng)狀態(tài)■新版□改版總頁(yè)數(shù)7文件階層：□一階□二階■三階□四階□其他適用單位：■華星全公司□工廠：□部門(mén)：.機(jī)密等級(jí)：■一般□秘密□機(jī)密□絕密i版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)有限公司所有.禁止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.陣FAB內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備Movein作業(yè)指導(dǎo)書(shū)版本：Ver.01部門(mén)審批經(jīng)辦審查會(huì)簽核準(zhǔn)目錄TableofContentsTOC\o"1-1"\h\z\u變更履歷HistoryofDocument iii1.目的Purpose 12.范圍Scope 13.名詞定義TermsDefinition 14.權(quán)責(zé)Authority&Responsibility 15.內(nèi)容Content 16.流程圖FlowChart 77.作業(yè)表單Form 78.參考文件ReferenceDocument 79.附件Attachment 7

變更履歷（HistoryofDocument）版本制訂/修改日期頁(yè)次修訂理由及內(nèi)容制訂/修改者Ver.012011/3/217初版發(fā)行張琦深圳市華星光電技術(shù)有限公司ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd文件編號(hào)WI-AR-MFN-00013版本Ver.01文件名稱(chēng):FAB內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備Movein作業(yè)指導(dǎo)書(shū)制訂部門(mén)Array/MFG機(jī)密等級(jí)一般制訂者張琦1版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)有限公司所有.禁止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.目的Purpose：為規(guī)范機(jī)臺(tái)設(shè)備MoveIn時(shí)，其流程介紹、吊裝口（MoveIn口）位置定義、MoveIn區(qū)結(jié)構(gòu)、各部門(mén)工作權(quán)責(zé)分工、操作人員在擦拭機(jī)臺(tái)前之準(zhǔn)備工作、MoveIn前注意事項(xiàng)、操作人員擦拭機(jī)臺(tái)之作業(yè)手法及注意事項(xiàng)、檢查人員在稽核時(shí)之注意事項(xiàng)，以及MoveIn期間之獎(jiǎng)懲規(guī)定，以確保無(wú)塵室的清潔度及人員之安全性，進(jìn)而保障產(chǎn)品的品質(zhì)，因而制定本作業(yè)規(guī)定以規(guī)范之。范圍Scope:凡廠內(nèi)所MoveIn之機(jī)臺(tái)以及參與到MoveIn過(guò)程中的所有人員。名詞定義TermsDefinition：3.1吊裝口：機(jī)臺(tái)設(shè)備進(jìn)入車(chē)間前的裝卸平臺(tái)。3.2OP：Operator，操作員。3.3EQ：Equipment，設(shè)備/機(jī)臺(tái)。3.4FAB：無(wú)塵室。權(quán)責(zé)Authority&Responsibility:4.1制造部：（車(chē)間管理工程師、領(lǐng)班、OP）負(fù)責(zé)人員的調(diào)度及機(jī)臺(tái)的清潔擦拭工作和工安相關(guān)事宜。4.1.1OP：4.1.1.1接受管制口人員MoveIn前擦拭教育訓(xùn)練。4.1.1.2向管制口領(lǐng)取清潔機(jī)臺(tái)設(shè)備用品。4.1.1.3使用正確擦拭動(dòng)作清潔機(jī)臺(tái)。4.1.1.4將未使用完酒精桶，取出交給管制口置于防爆柜內(nèi)存放。4.1.1.5.擦拭完之無(wú)塵布，分類(lèi)為可再次回收及臟污要丟棄，帶回交給管制口處理。4.1.2車(chē)間管理工程師/領(lǐng)班：擦拭人力之分配、帶領(lǐng)與協(xié)調(diào)及作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)危機(jī)處理與回報(bào)。4.2工程各部門(mén)：負(fù)責(zé)對(duì)機(jī)臺(tái)的檢驗(yàn)和整體工作的主導(dǎo)。4.3維護(hù)科：MoveIn時(shí)負(fù)責(zé)協(xié)助工程部門(mén)工作。4.4環(huán)安部：負(fù)責(zé)先期MoveIn時(shí)各部門(mén)人員的基礎(chǔ)安全教育訓(xùn)練。4.5品質(zhì)中心：Movein后現(xiàn)場(chǎng)的環(huán)測(cè)及Movein時(shí)的品質(zhì)稽核。4.6IE部門(mén)：負(fù)責(zé)Movein計(jì)劃的制定及Movein現(xiàn)場(chǎng)事項(xiàng)協(xié)調(diào)。內(nèi)容Content：5.1MoveIn流程介紹：IE部門(mén)訂定Movein計(jì)劃→車(chē)間管理工程師依Movein計(jì)劃進(jìn)行人力調(diào)配→人員接受工安及管制口人員Movein訓(xùn)練→車(chē)間管理工程師或領(lǐng)班帶隊(duì)將人帶至所分配之Movein口→進(jìn)行機(jī)臺(tái)擦拭作業(yè)→工程師進(jìn)行外觀及品質(zhì)檢查→OK：由拖吊公司負(fù)責(zé)，將機(jī)臺(tái)搬運(yùn)至定位；NG：拍照確認(rèn)，請(qǐng)Movein人員再擦拭，直到檢查人員檢驗(yàn)通過(guò)為止。5.2各吊裝口（MoveIn口）位置定義：5.2.1ARRAY&CF吊裝口定義：L20層共6個(gè)MoveIn口,L40層共7個(gè)MoveIn口:L40層CENGL40層CENGL20層CENG5.2.2CELL各吊口(Movein口)位置：L30層CENGL30L30層CENGL30層CENG5.3MoveIn區(qū)架構(gòu)：無(wú)塵室Buffer區(qū)Movein機(jī)臺(tái)/物品等候區(qū)擦拭區(qū)拆卸區(qū)檢查人員檢查拆卸外包裝無(wú)塵衣區(qū)無(wú)塵衣區(qū)無(wú)塵衣區(qū)/一般服裝一般服裝MoveIn時(shí)，各吊裝口管理權(quán)責(zé)分配：5.5MoveIn時(shí)，人員工作權(quán)責(zé)分工：機(jī)臺(tái)進(jìn)吊裝口由吊裝公司或者設(shè)備廠商負(fù)責(zé)，設(shè)備拆封由設(shè)備廠商、設(shè)備工程師負(fù)責(zé)或委請(qǐng)吊裝公司協(xié)助。2公尺以上(含)擦拭區(qū)由男作業(yè)員負(fù)責(zé);機(jī)臺(tái)擦拭后由設(shè)備工程師負(fù)責(zé)檢查工作;做好各項(xiàng)工作的準(zhǔn)備,填寫(xiě)『MoveinCheckList』.5.6作業(yè)員在擦拭機(jī)臺(tái)前之準(zhǔn)備動(dòng)作：5.6.1需經(jīng)過(guò)環(huán)安部人員基礎(chǔ)工地教育訓(xùn)練課程后，并發(fā)給相關(guān)安全證照，方可進(jìn)入CSOT廠區(qū)（建廠初期才需要有此訓(xùn)練）。5.6.2需經(jīng)過(guò)環(huán)安基礎(chǔ)教育訓(xùn)練，避免被機(jī)臺(tái)砸到或撞倒。5.6.3MoveIn相對(duì)應(yīng)的負(fù)責(zé)工程師必須提前與環(huán)安部門(mén)協(xié)商準(zhǔn)備好前標(biāo)示牌以及MoveIn工具。5.6.4MoveIn前各單位做好『MoveinCheckList』資料（機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)工程師主導(dǎo)）。5.6.5各工廠所有Movein人員需接受管制口人員擦拭教育訓(xùn)練后，方可執(zhí)行擦拭機(jī)臺(tái)之作業(yè)。MoveIn前注意事項(xiàng)：5.7.1IE部門(mén)與工程師確認(rèn)MoveIn動(dòng)線是否暢通。5.7.2托板車(chē)/氣墊車(chē)等運(yùn)輸工具使用之墊木是否用無(wú)塵膠帶密封。5.7.3上下鋼板的邊緣是否用無(wú)塵膠帶密封。5.7.4擦拭區(qū)OP人力需求及相關(guān)工具是否備齊，所需工具大致如下（當(dāng)天負(fù)責(zé)MOVEIN工程師負(fù)責(zé)相關(guān)用品的領(lǐng)用）：物料名稱(chēng)用途領(lǐng)料窗口酒精擦拭機(jī)臺(tái)管制口無(wú)塵布擦拭機(jī)臺(tái)管制口洗滌瓶裝載酒精管制口抗靜電手套防止割傷管制口乳膠手套保護(hù)手部管制口PVC手套保護(hù)手部管制口強(qiáng)光燈檢查使用管制口延長(zhǎng)線接強(qiáng)光燈管制口A形梯機(jī)臺(tái)過(guò)高時(shí)用管制口無(wú)塵安全鞋防止碰撞管制口工地帽防止碰撞管制口安全護(hù)目鏡保護(hù)眼睛管制口無(wú)線電通話(huà)器聯(lián)絡(luò)通訊管制口哨子-建廠初期使用示警指揮管制口美工刀/剪刀包裝拆卸管制口無(wú)塵膠帶黏貼底部輪子管制口枕木板車(chē)與機(jī)臺(tái)間緩充拖吊廠商油壓板車(chē)搬運(yùn)重物拖吊廠商照相機(jī)Movein時(shí)檢查使用管制口作業(yè)人員擦拭機(jī)臺(tái)之作業(yè)手法以及注意事項(xiàng)：5.8.1機(jī)臺(tái)擦拭作業(yè)手法：5.8.1.1布折法：無(wú)塵布折成1/45.8.1.2手勢(shì)拿法：食指、中指、無(wú)名指、在無(wú)塵布之內(nèi)，大拇指、小指在無(wú)塵布之外。5.8.1.3擦拭方向：由左往右或由右往左，由上往下但不可來(lái)回擦拭，且每一面無(wú)塵布只可擦拭一遍。5.8.1.4無(wú)塵布換面程序：每一面擦拭過(guò)一次后翻到另一面繼續(xù)擦拭，最后整片打開(kāi)，以相同方式，使用另一面，每一片最多可擦拭八次，擦拭中視無(wú)塵布的潔凈度做更換，擦拭動(dòng)作需快速確實(shí)。5.8.1.5若無(wú)塵布只沾取酒精擦拭、清潔物品，布面不臟可將無(wú)塵布丟入二次回收筒內(nèi)；若布面臟污請(qǐng)丟入有機(jī)廢棄筒內(nèi)。5.8.2凡人員進(jìn)入仍在施工之廠區(qū)時(shí)，務(wù)必依規(guī)定穿戴安全鞋和安全帽，進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)，如果仍在施工狀態(tài)，則也需要穿戴好無(wú)塵室專(zhuān)用安全鞋以及安全帽。5.8.3隨時(shí)注意要求搬運(yùn)廠商或人員在施作重力設(shè)備以機(jī)械機(jī)具搬運(yùn)時(shí)，需穿無(wú)塵安全鞋并2個(gè)人以上同時(shí)作業(yè)。5.8.4注意要求搬運(yùn)廠商或人員在重心設(shè)計(jì)不良之物品搬運(yùn)時(shí)須以其他搬運(yùn)器具輔助搬運(yùn)如油壓板車(chē)。5.8.5擦拭機(jī)臺(tái)時(shí)，手部一定要穿戴靜電手套（內(nèi)層）加PVC手套（外層），以防止人員手部割傷，或手部因化學(xué)品而過(guò)敏之現(xiàn)象。5.8.6擦拭機(jī)臺(tái)時(shí)，無(wú)論是否有近視，皆需佩戴安全護(hù)目鏡，以防止人員眼部被化學(xué)品噴濺防止被物料擊傷。5.8.7人員在機(jī)臺(tái)擦拭時(shí)，若有需要離開(kāi)工作場(chǎng)所時(shí)，務(wù)必向領(lǐng)班或組長(zhǎng)報(bào)備。若當(dāng)時(shí)FAB仍處于施工狀態(tài)時(shí)，人員離開(kāi)工作場(chǎng)所，皆需由熟悉FAB動(dòng)線者帶領(lǐng)，以避免發(fā)生危險(xiǎn)。5.8.8人員在機(jī)臺(tái)擦拭時(shí)，若有需要相關(guān)廠商配合或者相關(guān)廠商有違法事情發(fā)生之時(shí)，切記勿與其沖突，需通過(guò)機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)工程師向廠商溝通或由機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)工程師向公司反映處理。5.8.9為防止OP與MoveIn工人有所牽扯，而涉及人身安全，故宣導(dǎo)OP不得隨意與廠商及MoveIn工人有所交談以至感情上之糾紛。5.8.10女生嚴(yán)禁穿絲襪，全員盡量穿厚棉襪，以避免穿安全鞋時(shí)，腳磨破皮。5.8.11擦拭機(jī)臺(tái)時(shí)，若發(fā)現(xiàn)機(jī)臺(tái)有破損、刮傷、凹陷、生銹、電線脫落等不良狀況之情形時(shí)，請(qǐng)務(wù)必要立即反映給設(shè)備負(fù)責(zé)人員處理。5.8.12MoveIn進(jìn)行中不得有人員嬉戲打鬧、坐于機(jī)臺(tái)設(shè)備及地上等《WI-AR-MFN-00003CSOT制造廠無(wú)塵室管理作業(yè)指導(dǎo)書(shū)》中所列之不當(dāng)動(dòng)作。5.8.13MoveIn進(jìn)行中，因?yàn)榫彌_區(qū)和無(wú)塵室的壓差問(wèn)題，嚴(yán)禁同時(shí)開(kāi)啟緩沖區(qū)的內(nèi)外兩扇門(mén)。5.8.14凡是用過(guò)之無(wú)塵布，務(wù)必將其放入指定垃圾袋中，并回收處理。5.8.15治工具不使用時(shí)務(wù)必集中放置，且當(dāng)MoveIn完后，工程師全數(shù)清點(diǎn)OK后，才可統(tǒng)一歸還管制口。5.8.16除通過(guò)申請(qǐng)外，嚴(yán)禁人員攜帶任何形式相機(jī)（含帶照相功能的手機(jī)）進(jìn)入FAB。5.8.17一旦手套破損，需立刻更換。5.8.18在MoveIn初期階段，需避免單獨(dú)行動(dòng)，必須2人一組，避免發(fā)生危險(xiǎn)，且離開(kāi)工作崗位前，務(wù)必先告知車(chē)間管理工程師/領(lǐng)班。5.8.19當(dāng)MoveIn擦拭機(jī)臺(tái)時(shí)，不可單獨(dú)作業(yè)。凡設(shè)備之每一側(cè)，均需2人（含）以上人員同時(shí)作業(yè)。5.8.20擦拭機(jī)臺(tái)期間，若有身體不適的情況，務(wù)必及時(shí)通知當(dāng)站MoveIn口領(lǐng)班或車(chē)間管理工程師。5.8.21若使用梯子擦拭機(jī)臺(tái)高處時(shí)，一定要有人扶著梯子。若有超過(guò)2公尺以上，需要加掛安全掛鉤。5.8.22在無(wú)塵室內(nèi)作業(yè)，務(wù)必遵守《WI-AR-MFN-00003CSOT制造廠無(wú)塵室管理作業(yè)指導(dǎo)書(shū)》。5.8.23登高作業(yè)之注意事項(xiàng)：5.8.23.1離地超過(guò)二公尺(含)以上，有墜落情況隱患發(fā)生者，應(yīng)確實(shí)使用安全帶、安全帽及其他必要之防護(hù)用具。5.8.23.2設(shè)置安全母鎖或現(xiàn)場(chǎng)有可靠固定點(diǎn)；不論是安全母鎖或現(xiàn)場(chǎng)可靠固定點(diǎn)，其高度需超過(guò)安全鎖的長(zhǎng)度加上施工人員半腰高的長(zhǎng)度。5.8.23.3使用固定安全梯應(yīng)固定，不可用身體搖晃來(lái)移動(dòng)工作梯。5.8.23.4需2人(含)以上共同作業(yè)。工程師在稽核時(shí)之注意事項(xiàng)：5.9.1機(jī)臺(tái)內(nèi)部是否干凈。(如Chamber內(nèi))5.9.2使用強(qiáng)光燈確認(rèn)機(jī)臺(tái)表面是否有明顯Particle。5.9.3機(jī)臺(tái)頂部或者底部是否干凈。5.9.4搬送臺(tái)車(chē)或EQ輪子進(jìn)無(wú)塵室前是否已清潔干凈。5.9.5在MoveIn后，機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)工程師負(fù)責(zé)相關(guān)設(shè)備端拆卸后的垃圾稽核。5.9.6電器Cable是否干凈。5.9.7緩沖區(qū)軟簾須足夠長(zhǎng)可以抵及地板。MoveIn時(shí)使用強(qiáng)光燈注意事項(xiàng)：因強(qiáng)光燈具有高光照強(qiáng)度，使用時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量熱量，極易造成人員燙傷和治工具損壞甚至造成火災(zāi)。故訂立以下規(guī)范：5.10.1使用時(shí)切勿用強(qiáng)光燈對(duì)準(zhǔn)他人和自己，以免造成他人和自身燙傷和強(qiáng)光刺激眼睛造成的傷害；5.10.2切勿使用強(qiáng)光燈靠近酒精等有機(jī)溶劑和沾有酒精的無(wú)塵布以免高溫引燃造成火災(zāi)。5.10.3切勿使用強(qiáng)光燈靠近易燃物（如：無(wú)塵衣、無(wú)塵布、無(wú)塵椅等）以免造成火災(zāi)。5.10.4使用時(shí)每開(kāi)啟強(qiáng)光燈一分鐘左右就要關(guān)閉一次，至少停用三分鐘，以便強(qiáng)光燈散熱，避免強(qiáng)光燈燈泡燒毀。5.10.5使用完畢（五分鐘之內(nèi)）切忌將強(qiáng)光燈放置在無(wú)塵椅和地板上，避免將無(wú)塵椅和地板燒壞。5.10.6使用完畢后及時(shí)歸還管制口，避免強(qiáng)光燈遺失或損壞。MoveIn期間之相關(guān)獎(jiǎng)懲規(guī)定（所有獎(jiǎng)懲程度，依事件輕重，由主管決定）：5.11.1獎(jiǎng)勵(lì)事件：5.11.1.1擦拭機(jī)臺(tái)時(shí)，發(fā)現(xiàn)機(jī)臺(tái)有不良狀況之情形，并有立即反映者。5.11.1.2MoveIn期間表現(xiàn)良好者。5.11.1.3發(fā)現(xiàn)不安全行為或不安全地點(diǎn)，及時(shí)反映，避免