(高清版)GBT 25915.14-2022 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第14部分：按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)I Ⅲ IV 1 1 1 2 3 3 88設(shè)備的潔凈室適用性的表述 Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定本文件是GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第14部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下——第8部分：按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度(A—第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)；本文件等同采用ISO14644-14:2016《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第14部分：按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適VGB/T25915采用ISO14644系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，各部分設(shè)置與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)保持一致，擬由15個(gè)部分 1下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)3術(shù)語(yǔ)和定義空氣懸浮粒子濃度受控并分級(jí)的房間，其設(shè)計(jì)、建造到運(yùn)行均使進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)濃度受控并分級(jí)的限定空間。其建造和運(yùn)行使進(jìn)入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子a)進(jìn)行評(píng)估前，用戶(hù)及測(cè)試方對(duì)GB/T25915.1中規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)及關(guān)注的粒徑范圍達(dá)c)目視檢查(見(jiàn)第5章)。d)應(yīng)采用第6章中的步驟進(jìn)行測(cè)試，以便根據(jù)GB/T25915.1進(jìn)行空氣潔凈度分級(jí)。e)進(jìn)行測(cè)量(見(jiàn)6.2)。g)結(jié)論應(yīng)包括設(shè)備在潔凈室的適用性。應(yīng)按要求進(jìn)行描述(見(jiàn)第8章)。B.4中描述的方法可用于確定設(shè)備總釋放速率。該方法提供的數(shù)據(jù)可用于確定潔凈室的粒子34因素875——懸浮粒子濃度：測(cè)試環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)至少優(yōu)于其應(yīng)用目標(biāo)等級(jí)一個(gè)級(jí)別(由 初步識(shí)別HPC位置后，使用采樣流量至少為28.3L/min、采樣探頭開(kāi)口面積為20cm2的6關(guān)注的、與產(chǎn)品處理有關(guān)的測(cè)點(diǎn)位置。按6.2.7規(guī)定的方法，使用LSAPC在所選擇的位置處測(cè)量粒子濃度。適用性測(cè)量應(yīng)記錄下列參數(shù)：——設(shè)備的運(yùn)行模式；——被測(cè)設(shè)備的位置：——初步和精確定位的HPC位置；——關(guān)注的其他測(cè)點(diǎn)(如產(chǎn)品關(guān)鍵部位); LSAPC采樣探頭的位置；——需要評(píng)估的粒徑檔；——單個(gè)測(cè)點(diǎn)處連續(xù)采樣次數(shù)，應(yīng)不少于100個(gè)。應(yīng)使用下述步驟，對(duì)6.2.8獲得的粒子濃度數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。由6.2.8獲得的特定粒徑檔的粒子濃度數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。當(dāng)單次測(cè)量的均值x>10.000時(shí)，應(yīng)使用步驟a)(見(jiàn)6.2.9.2)。當(dāng)測(cè)量的均值r≤10.000時(shí)，應(yīng)使用步驟b)(見(jiàn)6.2.9.3)。使用公式(1)計(jì)算粒子數(shù)量的均值： (1)式中：n——采樣數(shù)；xi,——粒徑檔i的第n個(gè)單次測(cè)量讀數(shù)。使用公式(2)計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)偏差： (2)式中：5——標(biāo)準(zhǔn)偏差；xi,n——粒徑檔i的第n個(gè)單次測(cè)量讀數(shù)；應(yīng)使用公式(3)來(lái)計(jì)算置信區(qū)間上限值： (3)式中：P.置信度(1-a)=95%時(shí)的置信上限；7——均值1.66——t分布系數(shù)。應(yīng)使用公式(4)計(jì)算z值：若z>1.645,則說(shuō)明置信度為95%時(shí)懸浮粒子濃度未超過(guò)等級(jí)限值G?；贕B/T25915.1的潔凈度等級(jí)ISON的等級(jí)限值G(潔凈度等級(jí)ISON級(jí)中關(guān)注粒徑檔的最大允許粒子濃度),將用于6.2.10中的評(píng)估。若測(cè)試結(jié)果的均值x≤10,則使用表1泊松分布來(lái)確定置信上限。置信上限P.01234567898在進(jìn)行潔凈室適用性評(píng)估(見(jiàn)第8章)時(shí)，應(yīng)選擇特定粒徑檔的最大等級(jí)數(shù)ISON(見(jiàn)91)對(duì)雙方達(dá)成一致的粒徑檔進(jìn)行測(cè)試；2)對(duì)測(cè)試環(huán)境進(jìn)行潔凈度分級(jí)；3)對(duì)采樣探頭及其朝向進(jìn)行描述；4)采樣位置。2)靜電及離子發(fā)生測(cè)試的方法描述及結(jié)果；3)粒子沉降測(cè)試的方法描述及結(jié)果。2)相對(duì)濕度，3)平均風(fēng)速，——測(cè)量6個(gè)粒徑檔；110000023311393:::000000000000對(duì)于ISO3級(jí)和粒徑≥0.1μm,每次采樣28.3L時(shí)的粒子數(shù)量限值G為28(見(jiàn)表A.3)。因?yàn)橛?jì)算值z(mì)=0.05,這不滿足置信度水平的要求(z≥1.645),所以不適用于ISO3級(jí)(見(jiàn)因?yàn)橛?jì)算值z(mì)=37.49[見(jiàn)公式(A.4)],這滿足置信度水平的要求(z≥1.645),所以適用于ISO4級(jí)根據(jù)之前的測(cè)試示例，粒徑≥0.2μm的粒子數(shù)量均值為7.39,該值小于10。根據(jù)泊松統(tǒng)計(jì)分布理論，應(yīng)根據(jù)表A.4計(jì)算不超過(guò)給定潔凈度等級(jí)限值G的概率。表A.4給出了置信上限為P.=12。不超過(guò)限值的概率≥95%。根據(jù)之前的測(cè)試示例，粒徑≥5.0μm的粒子均值為0.90,該值小于10。根據(jù)泊松統(tǒng)計(jì)分布理論，應(yīng)根據(jù)表A.4計(jì)算不超過(guò)給定潔凈度等級(jí)限值G的概率。表A.4給出了置信上限為P.=3。不超過(guò)限值的概率≥95%?；贕B/T25915.1—2021分級(jí)體系的評(píng)估為了基于GB/T25915.1—2021的分級(jí)體系進(jìn)行評(píng)估，需考慮以下內(nèi)容：采樣量為28.3L,即0.0283m3,分別乘以GB/T25915.1—2021表1中的數(shù)字，可以得到表A.3中相應(yīng)的G值。表A.3計(jì)算得到的G值ISO級(jí)別N12表A.3計(jì)算得到的G值(續(xù))3456789注：根據(jù)GB/T25915.1,灰色區(qū)域表明粒徑范圍不適用于分級(jí)需要。置信上限P.0123456789(資料性)B.2在設(shè)備運(yùn)行周期不同階段的評(píng)估粒子釋放隨時(shí)間的變化特性能描述成3個(gè)階段。a)磨合階段：當(dāng)含有運(yùn)行部件的設(shè)備開(kāi)始啟動(dòng)，粒子的釋放隨著時(shí)間而改變。通常釋放率會(huì)用一個(gè)或多個(gè)沉降皿進(jìn)行粒子分布的沉降特性測(cè)試，并進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)或線下前后的表面粒子潔凈度變化來(lái)表示結(jié)果(依據(jù)GB/T25915.9)。測(cè)試結(jié)果能用單位時(shí)間單位表面積上粒徑>Dμm的粒子數(shù)量表述。B.4.1一般要求總釋放速率測(cè)試方法適用于ISO6級(jí)～9級(jí)的非單向流潔凈室或潔凈區(qū)。總釋放速率測(cè)試方法不能識(shí)別包含HPC位置在內(nèi)的局部顆粒源，測(cè)試結(jié)果反映了一段時(shí)間內(nèi)粒被測(cè)設(shè)備及測(cè)試環(huán)境的目視檢查(見(jiàn)第5章)宜在測(cè)試之前進(jìn)行。觀察時(shí)宜采取6.2.2規(guī)定的HPC位置識(shí)別類(lèi)似要求。B.4.2測(cè)試環(huán)境測(cè)試環(huán)境宜提供潔凈的單向流(經(jīng)過(guò)HEPA或ULPA過(guò)濾器),或者背景濃度優(yōu)于設(shè)備目標(biāo)應(yīng)用宜測(cè)試排風(fēng)中粒子濃度。采集空氣量要盡可能保證測(cè)試結(jié)果具有B.4.3測(cè)試總釋放速率b)測(cè)試并記錄空態(tài)或靜態(tài)的背景濃度(記錄測(cè)點(diǎn)位置與濃度結(jié)果);c)測(cè)試非懸浮大粒子能采用沉降法(見(jiàn)B.3)。P=△C·QQ——空氣流量，單位為立方米每單位時(shí)間(m3/單位時(shí)間)。B.4.6粒子負(fù)荷的影響評(píng)估[1]GB/T25915.3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法[6]IEST-RP-CC002.3Unidirectional-flowc[7]IEST-RP-CC013.3Calibrationproceduresandgui[8]IEST-RP-CC026.2Clean[10]JISB9926Cleanroom—Testmethods[11]SEMIE49-1104(Reapproved1Performance,Subassemblies,andF[12]SEMIE137-0705(Reapproved1111)GuideforFinalAssetion,Unpacking,andRelocationofSemiconductorManufacturingEquipm