SU8200場發(fā)射掃描電鏡技術說明文件

.z.SU8200場發(fā)射掃描電鏡技術說明文件一、二次電子分辨率：0.8nm(加速電壓15kV，工作距離4mm)1.1nm(著陸電壓1kV，工作距離1.5mm)(減速模式)以上分辨率的測試都是基于日立電鏡的分辨率測試標樣〔蒸金磁帶樣品，蒸金碳樣品〕二、放大倍率： 低倍模式：20到2k高倍模式：100到1000k三、電子光學：電子槍：冷場發(fā)射電子槍〔帶有柔性flash功能〕加速電壓:0.5到30kV著陸電壓:0.01到2kV透鏡系統(tǒng)三級電磁透鏡系統(tǒng)物鏡光闌四孔可調光闌(置加熱自清潔功能)掃描線圈二級電磁式偏轉線圈〔高倍模式〕一級電磁式偏轉線圈〔低倍模式〕消像散器八級電磁系統(tǒng)〔*，Y〕探測器：低位〔Lower〕、高位〔Upper〕、和頂位〔Top〕三種探測器進展二次電子/背散射電子的接收能譜系統(tǒng)(選配)束閘電磁型電位移：12m(工作距離注意：工作距離改變時，電位移圍會改變四、樣品室和樣品臺：樣品臺控制：五軸馬達臺可移動圍和樣品尺寸：SU8220SU8230SU8240*0~50~110~11Y0~50~110~8Z1.5~31.5~41.5~40mmT-5~70°R0~360°樣品尺寸最大樣品尺寸〔直徑〕150mm可安裝樣品高度SU8220SU8230/SU8240樣品最大直徑樣品最大高度樣品最大直徑樣品最大高度26mm17224mm75mm8mm75mm15mm100mm6mm125mm12mm150mm2mm150mm8mm換樣預抽室樣品臺控制：圖形界面控制自動樣品更換位置定位功能樣品臺移動軌跡存儲功能優(yōu)中心旋轉功能圖片導航功能五、顯示系統(tǒng)用戶界面電腦顯示器上的圖形用戶界面電腦操作系統(tǒng)：微軟Windows7專業(yè)版〔32位〕操作臺：鼠標、鍵盤、旋鈕板、樣品臺控制方法〔標配軌跡球，或選配操縱桿〕顯示器24.1寸液晶顯示器或同等配置的顯示器〔屏幕：1,920×1,200像素〕掃描模式：二維圖像顯示選區(qū)模式點分析模式平均濃度分析模式圖像顯示模式大屏顯示模式(1280960)單屏顯示模式(800600)雙屏同時顯示模式(800600)四屏同時顯示模式(640480)選區(qū)顯示模式〔圖像調整時使用〕電子光學對中：電子束對中光闌對中像散對中低倍對中掃描模式積分掃描快掃慢掃縮小區(qū)域掃高清捕圖積分捕圖荷電抑制掃描(CS掃描)掃描速度TV：兩級掃描速度〔Rapid1～Rapid2〕快掃：兩級掃描速度〔Fast1～Fast2〕慢掃：七級掃描速度〔Slow1～Slow7〕CS掃描：七級掃描速度〔CSS1～CSS7〕選區(qū)掃描自動調節(jié)功能：ABCC(自動亮度/比照度調節(jié))，自動聚焦信號和圖像處理功能：通過積分，圖像的信噪比提高楨積分〔最大積分數(shù)量：1,024〕〔TV和快掃模式〕彩色圖像顯示兩種顏色混合圖像顯示〔實時〕偽彩圖像顯示〔保存圖像〕存儲圖像處理漸變轉換Gamma調節(jié)多重濾波處理圖像存儲：圖像存儲尺寸：640480，800600，1,280960，2,5601,920，5,1203,840像素保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG圖像打印自由布局打印功能保存數(shù)據(jù)圖像的處理圖像管理和處理(SEMDataManager)：圖片數(shù)據(jù)庫管理縮略圖顯示多種圖片處理功能其他功能：束閘功能〔圖像凍結時〕光柵旋轉/傾斜補償測量功能(實時圖像或存儲圖像)參數(shù)顯示(照片號、加速電壓、放大倍率、微標尺、工作距離、日期、時間)參數(shù)條被底：透明、黑色數(shù)據(jù)輸入和標注〔圓，矩形，箭頭，尺寸線〕外部設備接口：USB接口網(wǎng)卡接口*射線分析功能掃描模式：點掃描面掃描DBC接口〔選配〕六、真空系統(tǒng)真空控制：完全自動氣動閥系統(tǒng)真空泵：離子泵：60L/s1,20L/s2磁懸浮分子泵：300L/min1〔主抽氣〕機械泵為減輕污染，推薦使用干泵真空量規(guī)：全量程量規(guī)，皮拉寧規(guī)兩個〔控制真空系統(tǒng)〕，寧規(guī)一個真空度：電子槍：﹤10-8Pa樣品室：﹤10-4Pa樣品交換室：六寸預抽室七、保護措施斷電保護、斷水保護、漏氣保護八、循環(huán)水冷卻水循環(huán)流速：1.0～1.5L/min〔冷卻物鏡〕水壓：50～100kPa水溫：10to20九、防污染措施液氮冷阱十、SU8200系列掃描電鏡〔SU8220,SU8230,SU8240〕主機 1顯示單元 1機械泵 1空壓機 1標配專用工具 1套耗材及配件 1套操作手冊 1套十一、尺寸及重量長 寬 高 重量主機〔SU8220〕990 8501主機〔SU8230〕990 850 1,745mm主機〔SU8240〕9908501,745mm顯示單元1,1201,1001,200mm空壓機 210420 520mm減震器 200 180 160mm十二、主要選項探測器：頂探頭過濾器YAG型BSE探測器〔SU8220/SU8230/SU8240〕掃透探測器〔SU8220/SU8230/SU8240〕半導體型BSE探測器〔SU8220/SU8230/SU8240〕