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文檔簡介

納米材料掃描電鏡分析形貌觀察與分析1.什么是納米材料的形貌？

材料的形貌尤其是納米材料的形貌是材料分析的重要組成部分，材料的很多物理化學(xué)性能是由其形貌特征所決定的。對于納米材料，其性能不僅與材料顆粒大小還與材料的形貌有重要關(guān)系。因此，納米材料的形貌分析是納米材料的重要研究內(nèi)容。形貌分析主要內(nèi)容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度、顆粒的分布以及形貌微區(qū)的成分和物相結(jié)構(gòu)等方面。2.掃描電鏡的工作原理由熱陰極發(fā)射出的電子聚焦、加速，在柵極與陽極之間形成一個筆尖狀的具有很高能量的電子束斑（交叉斑），稱之為電子源。這個電子束斑再經(jīng)聚光鏡（磁透鏡）壓縮，會聚成極細(xì)的電子束聚焦在樣品表面上，這個高能量細(xì)聚焦的電子束在掃描線圈作用下，在樣品表面上掃描，與樣品相互作用，激發(fā)產(chǎn)生各種物理信號。各種信號的強度與樣品的表面特征（形貌、成分、結(jié)構(gòu)等）相關(guān)，可以用不同的探測器分別對其檢測、放大、成像，用于各種微觀分析，掃描電子顯微鏡主要收集的信號是二次電子和背散射電子。

掃描電鏡采用的是逐點成像的圖像分解法，與電視技術(shù)相似，可以把樣品被觀察區(qū)劃分成許多小單元，稱為象元，在電子束對樣品表面作光柵掃描時，可以逐點逐行地依次從各象元檢測出信號，并按順序成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號，再經(jīng)視頻放大和信號處理將其一一送到有電子束同步掃描的熒光屏的柵極，用來調(diào)制陰極射線管（CRT）的電子束的強度，即顯像管的亮度。因為電鏡中的電子束對樣品的掃描與顯像管中電子束的掃描保持嚴(yán)格同步，所以顯像管熒光屏上的圖

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