GB/T 34972-2017電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

ICS7104040

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準

GB/T34972—2017

電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Determinationofmetalcontentingases—

Inductivelycoupledplasmamassspectrometrymethod

2017-11-01發(fā)布2018-02-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準化管理委員會

GB/T34972—2017

前言

本標(biāo)準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準起草單位上海市計量測試技術(shù)研究院西南化工研究設(shè)計院有限公司高麥儀器公司廣東

:、、、

華特氣體股份有限公司北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司上海華愛

、、、

色譜分析技術(shù)有限公司中昊光明化工研究設(shè)計院有限公司

、。

本標(biāo)準主要起草人陳鷹姜陽周鵬云牛艷東傅鑄紅杜漢盛江羅許軍洲方華常俠

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34972—2017

電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

1范圍

本標(biāo)準規(guī)定了應(yīng)用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測定電子工業(yè)用氣體中金屬元素含量的方法金屬元

。

素測定范圍見表

1。

本標(biāo)準適用的電子工業(yè)用氣體種類氧氮氬氦氫氨氯化氫硅烷高純氯六氟化硫三氯化

:、、、、、、、、、、

硼三氟化氮氧化亞氮六氟乙烷六氟丁二烯等氣體

、、、、。

本標(biāo)準適用的電子工業(yè)用氣體取樣狀態(tài)氣態(tài)

:。

表1金屬元素測定范圍

元素測定范圍元素測定范圍

/(μg/L)/(μg/L)

Li0.0001~100.0Ce0.0005~100.0

Be0.0005~100.0Pr0.0005~100.0

Na0.0001~100.0Nd0.0005~100.0

Mg0.0005~100.0Pm0.0005~100.0

Al0.001~100.0Sm0.0005~100.0

K0.001~100.0Eu0.0005~100.0

Ca0.001~100.0Gd0.0005~100.0

Sc0.001~100.0Tb0.0005~100.0

Ti0.0001~100.0Dy0.0005~100.0

V0.0001~100.0Ho0.0005~100.0

Cr0.0005~100.0Er0.0005~100.0

Mn0.0001~100.0Tm0.0005~100.0

Fe0.001~100.0Yb0.0005~100.0

Co0.0005~100.0Lu0.0005~100.0

Ni0.001~100.0Hf0.0005~100.0

Cu0.0005~100.0Ta0.0005~100.0

Zn0.0001~100.0W0.001~100.0

Ga0.001~100.0Re0.0005~100.0

Ge0.001~100.0Os0.0005~100.0

Rb0.0005~100.0Ir0.0001~100.0

Sr0.0001~100.0Pt0.001~100.0

Y0.0001~100.0