標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 31469-2015 半導(dǎo)體材料切削液》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對用于半導(dǎo)體材料加工過程中的切削液進(jìn)行規(guī)范。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了切削液的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的內(nèi)容。

技術(shù)要求部分明確了切削液應(yīng)具備的基本性能指標(biāo)，包括但不限于pH值范圍、腐蝕性測試結(jié)果、防銹性能等關(guān)鍵參數(shù)，旨在確保其能夠有效保護(hù)工具與工件表面的同時(shí)，不影響后續(xù)工序的正常進(jìn)行。此外，還特別強(qiáng)調(diào)了環(huán)保及安全衛(wèi)生方面的要求，如生物降解度、皮膚刺激性等。

在試驗(yàn)方法章節(jié)中，列舉了一系列科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)姆椒▉頊y定上述各項(xiàng)性能指標(biāo)，比如通過特定條件下的浸泡實(shí)驗(yàn)評估防銹能力；利用精密儀器測量液體的物理化學(xué)性質(zhì)等。這些方法為生產(chǎn)廠家提供了統(tǒng)一的操作指南，有助于保證檢測結(jié)果的一致性和可靠性。

關(guān)于檢驗(yàn)規(guī)則，則具體指出了產(chǎn)品出廠前需經(jīng)過哪些項(xiàng)目的檢查，并且根據(jù)不合格項(xiàng)目的重要程度將其分為A類（嚴(yán)重）、B類（較重）兩種等級，分別對應(yīng)不同的處理措施。同時(shí)，也規(guī)定了當(dāng)用戶對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生疑問時(shí)，雙方可依據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)共同協(xié)商解決爭議的具體步驟。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-05-15 頒布
  • 2016-01-01 實(shí)施
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GB/T 31469-2015半導(dǎo)體材料切削液_第1頁
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文檔簡介

ICS31030

L90-

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31469—2015

半導(dǎo)體材料切削液

Semiconductormaterialscuttingfluid

2015-05-15發(fā)布2016-01-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T31469—2015

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

技術(shù)要求

3…………………1

試驗(yàn)方法

4…………………2

檢驗(yàn)規(guī)則

5…………………2

標(biāo)志包裝儲存及運(yùn)輸

6、、…………………3

GB/T31469—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位揚(yáng)州華裕光伏材料有限公司西安飛訊光電有限公司揚(yáng)州市職業(yè)大學(xué)東方電氣

:、、、

集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

、。

本標(biāo)準(zhǔn)起草人繆德俊徐蓉艷繆立山彭新玲丁浩郭倩蒲學(xué)軍王香

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31469—2015

半導(dǎo)體材料切削液

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體材料切削液的各項(xiàng)技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝儲存及運(yùn)輸?shù)?/p>

、、、、、

要求

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體材料線切割加工采用的切削液

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

液體化學(xué)產(chǎn)品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

化工產(chǎn)品密度相對密度的測定

GB/T4472—2011、

表面活性劑水溶液值的測定電位法

GB/T6368pH

化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6678

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

GB/T6682—2008

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

粘度測量方法

GB/T10247

表面活性劑含水量的測定

GB/T11275

電子級水

GB/T11446.1

液態(tài)烴類電導(dǎo)率測定法

GB/T12582

化學(xué)試劑包裝及標(biāo)志

GB/T15346—2012

3技術(shù)要求

半導(dǎo)體材料切削液技術(shù)要求應(yīng)符合表規(guī)定

1。

表1半導(dǎo)體及太陽能級晶體材料線切割用切削液要求

要求

項(xiàng)目

型型型

ⅠⅡⅢ

外觀無色或微黃透明液體

粘度

≤4040~52≥5

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