GB/T 29190-2012掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法

ICS1718099

A60..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T29190—2012

掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法

Measurementmethodsofdriftrateofscanningprobemicroscope

2012-12-31發(fā)布2013-06-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T29190—2012

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語(yǔ)和定義縮略語(yǔ)………………………

3、1

測(cè)量方法…………………

42

要求………………………

52

儀器要求……………

5.12

環(huán)境要求……………

5.22

測(cè)量步驟…………………

62

測(cè)量報(bào)告…………………

73

附錄規(guī)范性附錄圖像相關(guān)分析法…………………

A()4

附錄規(guī)范性附錄特征點(diǎn)法…………

B()7

附錄規(guī)范性附錄非周期光柵法……………………

C()9

附錄資料性附錄原子光柵法………………………

D()12

附錄資料性附錄測(cè)量方法比較……………………

E()14

參考文獻(xiàn)……………………

15

GB/T29190—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)院提出并歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC279)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人黃文浩陳宇航李源傅云霞褚家如李家文牛頓朱五林劉一

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29190—2012

引言

掃描探針顯微鏡以下簡(jiǎn)稱是納米科學(xué)與技術(shù)中的主要工具之

(ScanningProbeMicroscope,SPM)

一對(duì)于具有納米級(jí)以至原子級(jí)分辨力的其時(shí)間穩(wěn)定性與儀器的設(shè)計(jì)操作環(huán)境和使用等密切

。SPM,、

相關(guān)作為的重要規(guī)格參數(shù)漂移速率的大小直接關(guān)系著的使用性能例如無(wú)失真圖像

。SPM,SPM。,

的連續(xù)獲取樣品局域物化特性的測(cè)量樣品表面動(dòng)態(tài)特性的實(shí)時(shí)觀測(cè)微納裝配和操縱等此外漂移

、、、。,

速率的大小對(duì)于評(píng)價(jià)儀器也有重要指導(dǎo)意義目前許多配置漂移補(bǔ)償模塊或閉環(huán)控制模塊盡

。,SPM;

管漂移速率大幅降低但漂移依然存在因此在xy和z方向漂移速率的定義和漂移速率測(cè)量

,。,SPM、

方法的規(guī)范化具有重要意義

。

本標(biāo)準(zhǔn)給出了在xy和z方向漂移速率的測(cè)量方法以便于制造商在儀器規(guī)格中提供漂移

SPM、,

數(shù)據(jù)幫助用戶表征儀器漂移特性

,。

Ⅱ

GB/T29190—2012

掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了漂移速率的術(shù)語(yǔ)和定義縮略語(yǔ)測(cè)量步驟性能參數(shù)規(guī)格及基于掃描

SPM、、、,SPM

圖像的漂移速率測(cè)量基本方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于到的漂移速率測(cè)量本標(biāo)準(zhǔn)中的漂移測(cè)量不適用于圖像校正

0.01nm/s10nm/s。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

標(biāo)準(zhǔn)樣品工作導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)樣品定值的一般原則和統(tǒng)計(jì)方法

GB/T15000.3(3);

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001;

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059(ISOGUM:1995,IDT);

表面化學(xué)分析名詞第部分掃描探針顯微鏡適用術(shù)語(yǔ)

ISO18115,2:(Surfacechemical

analysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning—probemicroscopy)。

3術(shù)語(yǔ)和定義縮略語(yǔ)

、

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義縮略語(yǔ)適用于本文件

GB/T20000.1、。

31術(shù)語(yǔ)和定義

.

311

..

漂移drift

儀器中探針相對(duì)于樣品的實(shí)際位置與設(shè)定位置的偏差

SPM。

注所有參數(shù)設(shè)置均可能產(chǎn)生漂移如xz方向的位移激光光斑在懸臂梁上的位置掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的光

:,、y、,,

源強(qiáng)度等本標(biāo)準(zhǔn)中漂移限定為x和z方向上探針相對(duì)于樣品設(shè)定