標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 28159-2011 電子級(jí)磷酸》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，主要規(guī)定了用于半導(dǎo)體制造等電子工業(yè)領(lǐng)域的高純度磷酸的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)中作為清洗劑或蝕刻劑使用的磷酸。

根據(jù)這項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)，電子級(jí)磷酸按其質(zhì)量被劃分為不同等級(jí)，每個(gè)等級(jí)的磷酸都有明確的技術(shù)指標(biāo)，包括但不限于外觀、密度、總酸度、不揮發(fā)物含量、金屬離子雜質(zhì)含量（如鈉、鉀、鐵、銅等）以及其他特定雜質(zhì)的最大允許濃度。這些嚴(yán)格的規(guī)定確保了產(chǎn)品能夠滿足電子行業(yè)對(duì)材料純度極高的需求。

對(duì)于檢測(cè)方法，《GB/T 28159-2011 電子級(jí)磷酸》也提供了詳細(xì)的指導(dǎo)，涵蓋了物理性質(zhì)測(cè)試（比如密度測(cè)定）、化學(xué)成分分析（例如通過滴定法測(cè)定總酸度）及微量雜質(zhì)元素的測(cè)定技術(shù)（采用原子吸收光譜法或其他適當(dāng)?shù)姆椒ǎＫ羞@些測(cè)試都旨在保證產(chǎn)品質(zhì)量符合規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)。

此外，標(biāo)準(zhǔn)還指定了抽樣規(guī)則，明確了從批量生產(chǎn)的產(chǎn)品中如何正確地選取樣品進(jìn)行質(zhì)量檢查；同時(shí)也規(guī)范了產(chǎn)品的包裝方式，要求使用不會(huì)與磷酸發(fā)生反應(yīng)且能有效防止污染的容器來盛裝，并且對(duì)外包裝上的標(biāo)識(shí)信息做出了具體要求，以確保安全運(yùn)輸并便于識(shí)別。


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....

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  • 2011-12-30 頒布
  • 2012-07-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS31030

L90.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T28159—2011

電子級(jí)磷酸

Electronicgradephosphoricacid

2011-12-30發(fā)布2012-07-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T28159—2011

目次

前言…………………………

Ⅲ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

產(chǎn)品分類…………………

31

要求………………………

41

試驗(yàn)方法…………………

52

安全提示……………

5.12

一般規(guī)定……………

5.23

外觀…………………

5.33

磷酸含量……………

5.43

易氧化物含量………………………

5.53

金屬離子含量………………………

5.64

陰離子含量…………………………

5.75

顆粒測(cè)定……………

5.89

檢驗(yàn)規(guī)則…………………

69

組批與抽樣…………………………

6.19

檢驗(yàn)項(xiàng)目……………

6.29

標(biāo)志標(biāo)簽…………………

7、9

包裝運(yùn)輸貯存操作……………………

8、、、9

附錄資料性附錄儀器工作條件……………………

A()11

附錄資料性附錄離子色譜圖………………………

B()13

Ⅰ

GB/T28159—2011

前言

本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)提出并歸口

(TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位四川成洪磷化工有限責(zé)任公司江蘇江陰市潤(rùn)瑪電子材料有限公司湖北興

:、、

發(fā)化工集團(tuán)股份有限公司蘇州電子材料廠有限公司蘇州晶瑞化學(xué)有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李全東肖遙王文武戈士勇何珂李少平鐘尉尤家棟劉兵

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T28159—2011

電子級(jí)磷酸

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)磷酸的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存等

、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)用磷酸

。

本標(biāo)準(zhǔn)不涉及使用安全性問題本標(biāo)準(zhǔn)的使用人應(yīng)負(fù)責(zé)建立適當(dāng)?shù)陌踩】禇l款及使用范圍的

,

限制

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

化學(xué)試劑磷酸

GB/T1282—1996

食品添加劑磷酸

GB3149—2004

化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6678

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

電子級(jí)水

GB/T11446.1

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50472

3產(chǎn)品分類

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的電子級(jí)磷酸分為兩種規(guī)格為普通電子級(jí)磷酸為高純電子級(jí)磷酸

:E1,E2。

4要求

41外觀無(wú)色無(wú)臭黏稠狀液體

.:、、。

42電子級(jí)磷酸應(yīng)符合表要求

.1。

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