標準解讀

GB/T 14602-1993 是一項中華人民共和國國家標準，全稱為《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》。該標準規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氯化氫氣體的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保氯化氫氣體的質量滿足電子工業(yè)生產(chǎn)中的特定需求。

標準內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了本標準適用于電子工業(yè)生產(chǎn)中作為原料或工藝氣體使用的氯化氫氣體。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了實施本標準時所直接引用或參考的其他標準文件，這些文件對于理解和執(zhí)行本標準的具體要求至關重要。

  3. 術語和定義：對標準中涉及的專業(yè)術語進行了解釋，幫助讀者準確理解各項要求。

  4. 技術要求：

    • 純度：規(guī)定了氯化氫氣體的最低純度要求，以確保其在電子元件制造過程中的高純度應用。
    • 雜質含量：詳細列出了可能存在的雜質元素及其最大允許含量，如水、氧、氮、砷、磷等，以防止這些雜質影響半導體材料的性能和成品率。
    • 物理狀態(tài)：包括氣體的壓力、溫度條件下的物理狀態(tài)要求，確保氣體的穩(wěn)定性和安全性。

  5. 試驗方法：詳細描述了如何通過化學分析、氣相色譜等方法檢測氯化氫氣體的純度及雜質含量，確保測試結果的準確性和可重復性。

  6. 檢驗規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、判定規(guī)則等，確保每批次產(chǎn)品的質量符合標準要求。

  7. 包裝、標志、運輸和儲存：

    • 包裝：要求使用耐腐蝕材料的容器進行密封包裝，以防止氣體泄漏和外界污染。
    • 標志：需明確標注產(chǎn)品名稱、規(guī)格、批號、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)廠家等信息，便于追溯和安全使用。
    • 運輸：提供了運輸過程中應遵循的安全措施，以防泄漏和事故。
    • 儲存：指明了儲存條件，如溫度、壓力限制及避光、干燥等環(huán)境要求，以保持氣體品質。

實施意義：

該標準的制定與執(zhí)行，對提升我國電子工業(yè)用氯化氫氣體的質量控制水平、保障電子元器件的高性能生產(chǎn)、促進電子行業(yè)技術進步具有重要意義。它為生產(chǎn)商、用戶及檢測機構提供了一套統(tǒng)一的標準依據(jù)，有利于維護市場秩序和產(chǎn)品質量安全。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 14602-2014
  • 1993-08-26 頒布
  • 1994-07-01 實施
?正版授權
GB/T 14602-1993電子工業(yè)用氣體氯化氫_第1頁
GB/T 14602-1993電子工業(yè)用氣體氯化氫_第2頁
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UDC661G86中華人民共和國國家標準GB/T14602-—93電子工業(yè)用氣體氯化氫Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride1993-08-26發(fā)布1994-07-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國國家標準GB/r14602-93電子工業(yè)用氣體氯化氫Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride主題內(nèi)客與適用范圍本標準規(guī)定了氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸、財存和安全要求。本標準適用于以氫、氯為原料合成的氯化氫和以工業(yè)氯化氫為原料經(jīng)凈化制得的瓶裝液態(tài)氯化氫。氯化氫主要用于電子工業(yè)，在集成電路生產(chǎn)中用于蝕刻、鈍化、外延等工藝。也可用于金屬治煉、光導通訊和科學研究等領域。分子式：HCI相對分子質量：36.461(按1989年國際相對原子質量）2引用標準GB190危險貨物包裝標志GB4845氮氣檢驗方法GB7144氣瓶顏色標記GB7445氫氣氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定GB8984氣相色譜法3技術要求氯化氫的質量應符合下表的技術要求。氯化氫純度，10-99.9944二氧化碳含量,10-復含量,10-氧+氬含量,10-經(jīng)類含量,10-水合量,10-·S復含量，10-10：本指標系瓶裝產(chǎn)品的氣體質量指標，保證期6個月。表中純度和含量系體積分數(shù).4檢驗方法4.1氯化氫純度

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