充油設(shè)備的DGA分析和診斷

充油設(shè)備的DGA分析和診斷介紹內(nèi)容DGA的基礎(chǔ)知識充油電氣設(shè)備的故障診斷DGA在線監(jiān)測的技術(shù)動態(tài)DGA的基礎(chǔ)知識色譜法名稱由來分類特點流程和分離原理色譜儀的主要部件DGA試驗的全過程名稱由來、分類和特點名稱由來1906年俄國植物學(xué)家茨維持借兩相分配原理而使混合物中各組份獲得分離的技術(shù)，稱為色譜技術(shù)或色譜法。分類色譜法氣相色譜液相色譜氣固色譜氣液色譜液固色譜液液色譜名稱由來、分類和特點特點分離效能高分離速度快樣品用量少使用范圍廣.色譜的流程和分離原理氣相色譜流程方框圖載氣氣路控制系統(tǒng)氣體樣品六通閥液體樣品氣化器色譜柱檢測器輔助氣體放空信號放大記錄儀→↓↓↓↓→→→→︱←←色譜的流程和分離原理混合物樣品在色譜柱中的分離原理圖色譜儀的主要部件---檢測器用于測量色譜流程中柱后流出物組成變化和濃度的裝置。電力系統(tǒng)用色譜儀的檢測器有兩種:熱導(dǎo)檢測器(TCD)和氫焰檢測器(FID)。熱導(dǎo)檢測器(TCD)根據(jù)載氣中混入其他氣態(tài)物質(zhì)時熱導(dǎo)率發(fā)生變化的原理制成.氫焰檢測器(FID)原理:可燃性有機物在氫-氧火焰中發(fā)生電離,在靜電場的作用下形成離子流.DGA試驗的全過程取樣取樣部位取樣容器取樣方法保存和運輸從油樣中脫出溶解氣體樣品分析儀器標定試樣分析取樣部位一般在下部取樣閥如遇突發(fā)故障時，產(chǎn)氣量較大，可在不同部位同時取樣；考察輔助設(shè)備時，可就近取樣；避免取循環(huán)不暢的死油；應(yīng)在設(shè)備運行中取樣。取樣容器---玻璃注射器特點:容器壁不透氣或吸附氣體,透明,便于觀察樣品狀況;器內(nèi)無死角,不殘存氣泡;嚴密性好,取樣時能完全隔絕空氣,取樣后不向外跑氣或吸入空氣;能自由補償由于油樣隨溫度熱脹冷縮造成的體積變化,容器內(nèi)不產(chǎn)生負壓空腔而析出氣泡;材質(zhì)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定且不宜破損,便于保存和運輸.取樣方法注意事項:取樣閥中的殘存油應(yīng)盡量排除,閥體周圍污物擦拭干凈;取樣連接方式可靠,連接系統(tǒng)無漏油或漏氣缺陷;取樣時應(yīng)設(shè)法將取樣容器和連接系統(tǒng)中的空氣排盡;取樣過程中,油樣應(yīng)平緩流入容器,不產(chǎn)生沖擊\飛濺或起泡沫;對密封設(shè)備在負壓狀態(tài)下取油樣時,應(yīng)防止負壓進氣;注射器取油樣時,特別注意保持注射器芯干凈,防止卡澀.取樣方法---全密封取樣樣品的保存和運輸樣品應(yīng)盡快分析。油樣保存期不得超過4天；樣品的保存必須避光、防塵，確保注射器芯干凈、不卡澀；運輸過程中應(yīng)盡量避免劇烈振動?？者\時避免氣壓變化。從油樣中脫出溶解氣體調(diào)節(jié)油樣體積。將100ml油樣推出部分，準確調(diào)整為40ml油樣；加平衡載氣，注入5ml的N2氣；振蕩脫氣。油樣放入恒溫定時振蕩器內(nèi)，恒溫50°C，連續(xù)振蕩20min,靜止10min；轉(zhuǎn)移平衡氣。將油樣取出，立即用雙頭針頭將平衡氣體轉(zhuǎn)移的另一注射器A中，室溫下放置2min，準確讀取其體積。樣品分析儀器標定外標法，準確抽取1ml標氣，注入色譜儀，測取峰面積，并取兩次平均值。試樣分析從注射器A中準確抽取1ml試樣，注入色譜儀，測取峰面積。將試樣的峰面積與標氣的峰面積進行比較，得到試樣的濃度。充油電氣設(shè)備的故障診斷充油設(shè)備油中溶解氣體的來源油紙絕緣材料熱分解產(chǎn)氣的機理變壓器等設(shè)備內(nèi)部故障類型及其油中氣體的特征變壓器等設(shè)備內(nèi)部故障判斷的步驟故障實例說明充油設(shè)備油中溶解氣體的來源空氣的溶解正常運行下產(chǎn)生的氣體故障運行下產(chǎn)生的氣體其他原因引入的氣體油紙絕緣材料熱分解產(chǎn)氣的機理有關(guān)鍵能IEC三比值法編碼規(guī)則氣體比值范圍比值范圍的編碼C2H2/C2H4CH4/H2C2H4/C2H6﹤0.1010≥0.1～﹤1100≥1～﹤3121≥3222編碼組合故障類型C2H2/C2H4CH4/H2C2H4/C2H6001低溫過熱（低于150℃）20低溫過熱（150℃～300℃）21中溫過熱（300℃～700℃）0，1，22高溫過熱（高于700℃）10局部放電10，10，1，2低能放電20，1，2低能放電兼過熱20.10，1，2電弧放電20，1，2電弧放電兼過熱故障類型判斷方法過熱性缺陷--產(chǎn)氣特征熱點不涉及固體絕緣時，產(chǎn)生的氣體主要是低分子烴類氣體，其中甲烷乙烯是特征氣體。當(dāng)故障點溫度較低時，甲烷占的比例大，隨著熱點溫度的升高，乙烯和氫組份急劇增加，比例增大。當(dāng)嚴重過熱時，會產(chǎn)生少量乙炔。較高溫度過熱涉及固體絕緣材料時,另外還產(chǎn)生CO和CO2。過熱性缺陷—分類導(dǎo)電回路載流導(dǎo)線和接頭不良引起分接開關(guān)動靜觸頭接觸不良；引線接頭虛焊；股間短路；引線過長或包扎絕緣損傷引起導(dǎo)體間相接產(chǎn)生環(huán)流發(fā)熱；線圈絕緣膨脹油道堵塞引起散熱不良。過熱性缺陷—分類導(dǎo)磁回路鐵心多點接鐵芯短路漏磁引起局部過熱局部放電性缺陷局部放電是指油和固體絕緣中的氣泡和尖端，因耐壓強度低，電場集中產(chǎn)生的?；ジ衅骱碗娙萏坠艿碾娙菪纠@包工藝不良或真空干燥工藝不良等，都會造成局部放電。氣體特征為氫組份最多，其次是甲烷，當(dāng)放電能量密度高時，會產(chǎn)生少量的乙炔。絕緣紙層中間有明顯可見的X-蠟或放電痕跡。低能放電（又稱火花放電）不同電位的導(dǎo)體與導(dǎo)體、絕緣體與絕緣體以及不固定電位的懸浮體，在電場極不均勻或畸變以及感應(yīng)電位下造成。如鐵芯片間、鐵芯接地片接觸不良造成的懸浮放電，無載分接開關(guān)操作桿撥叉懸浮放電，套管均壓球、壓碗等松動后懸浮放電，套管末屏接觸不良放電，電流互感器L1端子放電、磁屏蔽懸浮放電等。特征氣體：主要是乙炔和氫，其次是甲烷和乙烯。電弧放電原因：匝層間絕緣擊穿，過電壓引起內(nèi)部閃絡(luò)，引線斷裂引起的閃弧，分接開關(guān)飛弧和電容屏擊穿等。特點：多是突發(fā)性的，故障氣體產(chǎn)生劇烈，產(chǎn)氣量大，故障氣體往往來不及溶解于油而聚集到氣體繼電器引起瓦斯動作。氣體特征：總烴很高，乙炔和氫占主要部分，其次是乙烯和甲烷，如果涉及固體絕緣，瓦斯氣和油中氣的CO含量都比較高。遼陽供電公司首山變電所2#主變（SFP3-120000/220）—高溫過熱朝陽電力修造廠80年3月產(chǎn)品，81年2月投入運行；驗收試驗中空載損耗和空載電流與設(shè)計值和出廠值相差很大；85年1月7日在系統(tǒng)無任何異常情況下，突發(fā)匝間短路；95年5月發(fā)現(xiàn)了鐵芯多點接地，采取串聯(lián)電阻的方法限制其鐵芯電流，總烴維持在500μL/L；1999年5月采用電容充電法打開鐵芯懸浮接地點，總烴呈逐年下降趨勢，乙炔為0μL/L；2002年7月1日21時30分，早期變壓器故障監(jiān)測裝置顯示值突變，總烴由前一天的100μL/L增長為300μL/L遼陽供電公司首山變電所2#主變（SFP3-120000/220）—高溫過熱首山變電所2#主變色譜跟蹤試驗數(shù)據(jù)

時間CH4C2H6C2H4C2H2ΣCHH2COCO2備注6.1744.134.495.6--174.209047416月檢7.01188.9105.8445.82.4743.0571248228697在線報警后色譜跟蹤7.03198.898.1456.12.0755.07513438997

7.05249.1112.9503.32.4867.891181610513鐵芯過熱退出運行遼陽供電公司首山變電所2#主變（SFP3-120000/220）—高溫過熱現(xiàn)場排油檢查發(fā)現(xiàn)：高低壓線圈所有壓釘全部松動；高壓側(cè)C相有一個反壓釘上部螺帽有放電痕跡，高壓側(cè)A相取下一個壓釘帽，沒有墊片，帽內(nèi)有碳泥；從高壓側(cè)看到A、B、C相間下鐵軛隔板上均有金屬粉末、電鍍螺絲皮、硅膠、焊接殘余物等；鐵芯上部拉桿較緊，鐵芯中部膨脹，高壓包隔板內(nèi)有金屬屑；B相分接開關(guān)觸指（共5個）上數(shù)第三個有一個輕微燒灼麻點。遼陽供電公司首山變電所2#主變（SFP3-120000/220）—高溫過熱8月中旬返廠解體，發(fā)現(xiàn)鐵芯多處嚴重過熱并伴有燒傷痕跡。

矽鋼片接縫處燒損圖片矽鋼片絕緣燒損圖片沈變1999年12月產(chǎn)品，型號為LB3-500（W）

2001年春檢時發(fā)現(xiàn)氫氣含量接近注意值，為134L/L，2002年春檢氫氣含量基本無變化，但02年9月秋檢復(fù)試發(fā)現(xiàn)氫氣含量大幅度增加，達到9467L/L，甲烷達到300.6L/L，局部放電型缺陷；返廠解體檢查發(fā)現(xiàn)互感器存在包扎性缺陷，使得一次電容屏間絕緣出現(xiàn)局部空隙，在長期高電壓作用下，產(chǎn)生局部放電。哈爾濱超高壓局永源站方永甲線B相CT永源站方永甲線B相CT試驗日期出廠01/11/3002/04/1502/04/3002/09/10組分含量H21.465.27133.9122.449644.5CH40.2903.77.78300.6C2H400.210.30.560.75C2H60.290.370.25.2317.98C2H200.1500.100.14CO010.6323.332.5353.74CO2144205.23225.8163.5182.1總烴0.290.734.213.67319.47解體檢查：在一次線圈L2端內(nèi)測的第三主屏第一端屏絕緣層表面上，有一處直徑約Φ75mm的糊痕區(qū)域，且此處糊痕區(qū)域向內(nèi)部逐漸深入，隨著線圈絕緣直徑縮小，其糊痕區(qū)域逐漸縮小并消失，最后在第二主屏第二端屏絕緣層處糊痕徹底消失，其絕緣包軋表面恢復(fù)正常狀態(tài)。經(jīng)過現(xiàn)場實測糊痕區(qū)域周邊包扎紙與設(shè)計圖紙要求相差3∽4mm，其他絕緣包扎狀況未見異常。沈陽電業(yè)局虎石臺2#變壓器(SFPS3-120000/220)該變壓器為沈陽變壓器廠1983年5月產(chǎn)品，有高壓、中壓和低壓三個繞組，為三芯三柱式結(jié)構(gòu)，1998年7月因受短路電流沖擊絕緣損傷后，由沈陽電業(yè)局修造廠大修，更換C相中、低壓繞組，1998年8月重新投入運行。2000年5月色譜成績出現(xiàn)異常，乙烯、乙炔出現(xiàn)明顯增長（色譜成績詳見表2），初步分析診斷為高溫過熱兼輕微放電性缺陷，于是縮短試驗周期，對其進行了將近一年的監(jiān)視，色譜成績較為穩(wěn)定，2001年4月5日，虎新東西線發(fā)生三相短路，沈陽電業(yè)局虎石臺2#變壓器(SFPS3-120000/220)虎石臺2#主變色譜分析數(shù)據(jù)時間CH4C2H4C2H6C2H2ΣCHH2COCO200.04.16292140.053.45500336900.05.1687174157.0282.051887583300.11.0273135121.7241.751887583301.03.20107161152.2285.2581317670401.04.1293159122.1266.154789421801.05.134709989414.01576.02611114621701.05.13483110310015.51702.530512166743沈陽電業(yè)局虎石臺2#變壓器(SFPS3-120000/220)2001年5月13日主變月檢中發(fā)現(xiàn)特征氣體含量急劇增加，分析判斷為電弧放電性缺陷，建議變壓器退出運行。5月14日變壓器停運，高壓試驗（包括絕緣電阻、直阻、泄漏和單相空載試驗）無異常，進行變壓器繞組變形試驗，判斷變壓器中低壓繞組發(fā)生形變。返沈變廠吊芯檢查，發(fā)現(xiàn)C相中、低壓繞組從頂端向下數(shù)52段起發(fā)生向內(nèi)的形變，中壓引出線右數(shù)1、2、5、6條發(fā)生凹陷，最深為67cm,3、4、7、8條發(fā)生凸起，最高處為7cm。該變壓器改造后于11月投入于洪一次變電所掛網(wǎng)運行。鞍山電業(yè)局紅一變2#變壓器(SFDS-7500/220)

2001年3月19日紅一變2#主變壓器在油色譜月檢分析中發(fā)現(xiàn)乙炔、氫氣和總烴含量急劇增加（詳見表3），根據(jù)三比值法，診斷設(shè)備內(nèi)部存在放電性缺陷。3月21日停運，變壓器進行絕緣試驗，無異常；3月24日投入運行，5月17日主變輕瓦斯動作，取氣樣分析，乙炔含量為19280L/L，氫氣含量為92120L/L；鞍山電業(yè)局紅一變2#變壓器(SFDS-7500/220)5月17日9時取變壓器油樣分析乙炔含量為390L/L，氫氣含量為537L/L，11時乙炔含量則上升到410L/L，氫氣含量上升到711L/L，乙炔絕對產(chǎn)氣速率高達284mL/h。當(dāng)即變壓器退出運行，進行絕緣電阻、介損、直流電阻、空載試驗無異常；5月19日進行局部放電測量，高壓B、C繞組放電量達10000pC,其他各繞組放電量皆為數(shù)百pC。鞍山電業(yè)局紅一變2#變壓器(SFDS-7500/220)5月22日變壓器進行吊芯檢查，發(fā)現(xiàn)B、C相第一層圍屏在B、C相間的支撐長墊塊處有放電痕跡，嚴重者燒成孔洞（多達10余個），最大直徑達到50mm,第二層圍屏有明顯的樹枝狀爬電現(xiàn)象，第三層圍屏內(nèi)側(cè)也有痕跡；更換圍屏和長墊塊后，變壓器重新投入運行。色譜跟蹤試驗結(jié)果見表。鞍山新開一次變2號主變（SFP3-63000/220）--鼓型（DW型）分接開關(guān)接觸不良故障過程：2003年4月14日，鞍山新開一次變2號主變正常春檢停電預(yù)試后，14時53分先后合上變壓器主一、二次開關(guān)，變壓器空載運行。14時57分拉開66kV母聯(lián)開關(guān)，變壓器帶負荷，15時0分19秒，2號主變重瓦斯保護動作，一、二次開關(guān)跳閘。

鞍山新開一次變2號主變（SFP3-63000/220）試驗情況：該變壓器進行高壓繞組直流電阻測試時，發(fā)現(xiàn)C相電阻大，三相互差為1.4%（2002年4月預(yù)試三相互差為0.23%），經(jīng)過多次切換，三相電阻互差降為0.57%，變壓器投入運行。事故后，進行C相直流電組測量時發(fā)現(xiàn)為開路狀態(tài)。事故后油的色譜值：乙炔由事故前0μL/L增長為196.1μL/L，總烴由事故前33.2μL/L增長為322.3μL/L。判斷為C相無勵磁分接開關(guān)接觸不良燒損。

撫順供電公司和平5號主變壓器（SFPS7—120000／220）

--楔型分接開關(guān)接觸不良朝陽電力設(shè)備制造廠1997年12月產(chǎn)品，1998年4月25日在撫順河北變投入運行。2002年4月移至和平變5號變壓器位置。經(jīng)現(xiàn)場吊罩檢查正常，絕緣、直流電阻及局放等試驗均合格后，于2002年9月16日投入運行。但運行一個月后色譜分析發(fā)現(xiàn)乙炔，連續(xù)跟蹤，乙炔基本在1.6～1.8μL/L范圍內(nèi)變化，總烴在245298μL/L間變化，后對該變壓器再次做了局放試驗，未發(fā)現(xiàn)異常。經(jīng)對變壓器油進行脫氣處理，于2002年12月13日再次投入運行，帶負荷為70MVA左右，色譜跟蹤監(jiān)視，至2003年1月16日，色譜依然比較穩(wěn)定，乙炔未超過2μL/L。試驗日期CH4C2H6C2H4C2H2C1+C2H2COCO20206191.592.970.805.34152460209171.270.621.503.397674610209236.018.6210.2024.9106168502102149.0827.9883.90160.9208383002102276.3724.63142.61.63245.2318975402102499.4929.71170.21.83301.3519887202111392.3727.01160.31.48281.2431076940212097.8217.6377.30.48103.315265202121623.9222.631031.08156.6181373103010642.8625.67123.50.97193.11939165303010947.7529.7140.61.19219.3195271503011653.9533.39154.51.22243.13054719030119179521685462151410936876630919305

撫順供電公司和平5號主變壓器（SFPS7—120000／220）事故過程：2003年1月19日0時32分37秒，撫順和平變5號主變輕、重瓦斯、兩套微機差動保護動作，經(jīng)68ms變壓器一次開關(guān)跳閘，二次開關(guān)拒動，主變著火。經(jīng)3分30秒，同站的2號主變復(fù)合過流保護動作，一、二次開關(guān)跳閘。0時36分21秒，運行人員手動拉開5號主變二次開關(guān)。事故前，5號主變帶有功負荷70MW，一次電流為240A。撫順供電公司和平5號主變壓器（SFPS7—120000／220現(xiàn)場檢查變壓器及附件損壞情況：變壓器外部及油箱內(nèi)上部著火；一、二、三次套管外瓷套炸碎；壓力釋放伐動作噴油；B相一、二次引流線（鋼芯鋁絞線）燒斷落下，其余相導(dǎo)線只剩鋼芯；變壓器門型構(gòu)架橫梁因高溫變形；變壓器至冷卻器控制箱的控制電纜全部燒損。撫順供電公司和平5號主變壓器（SFPS7—120000／220）返廠解體檢查發(fā)現(xiàn)：

高壓B相繞組發(fā)生大范圍短路，導(dǎo)線大量燒斷股。

A相分接開關(guān)動觸頭沒合到位。C相位置基本正常。

B相分接開關(guān)操動桿插口已經(jīng)燒毀，開關(guān)絕緣筒2／3以上已經(jīng)完全燒成碳黑色，上部筒壁已經(jīng)燒損出現(xiàn)孔洞。開關(guān)內(nèi)部靜觸柱嚴重?zé)龘p，其中2個接觸柱的截面已經(jīng)燒成橢圓、4個未接觸柱燒斷并缺損，動觸頭（楔形）明顯接觸位置不正確并有一定程度的燒傷，開關(guān)上部分接引線已經(jīng)與開關(guān)靜觸柱分離。

撫順供電公司和平5號主變壓器（SFPS7—120000／220）箱壁檢查發(fā)現(xiàn)與高壓側(cè)B相分接開關(guān)筒相應(yīng)位置有大片的放電燒痕。高壓、中壓套管上節(jié)瓷件全部破碎，電容屏已經(jīng)露出或表面燒傷，中壓b相燒損情況最為嚴重。中壓b、c相套管下節(jié)瓷件已經(jīng)破碎，其它套管下節(jié)瓷件仍然完整。撫順供電公司和平5號主變壓器（SFPS7—120000／220）原因分析：直接起因是B相分接開關(guān)調(diào)整不到位，接觸不良產(chǎn)生過熱，在一定負荷下，接觸面產(chǎn)生放電灼傷，惡性循環(huán)，產(chǎn)生電弧，導(dǎo)致高壓對地短路引起變壓器事故；擴大原因是二次開關(guān)拒動，沒有及時切除66kV電源，使得變壓器嚴重?zé)龘p并發(fā)生著火；根本原因在于DWP楔型分接開關(guān)存在操作到位手感不明顯、現(xiàn)場人員操作經(jīng)驗不足。

DGA在線監(jiān)測的技術(shù)動態(tài)實驗室DGA的不足基本原理關(guān)鍵技術(shù)實驗室DGA的不足運輸過程中導(dǎo)致油樣變化檢測周期長無法響應(yīng)突發(fā)事件需要專業(yè)人員、工作量大重復(fù)性不高DGA在線監(jiān)測的基本原理變壓器油油氣分離混合氣體分離和檢測數(shù)據(jù)采集和處理軟件分析判斷油氣混合物混合氣體DGA在線監(jiān)測的關(guān)鍵技術(shù)油氣分離技術(shù)混合氣體檢測技術(shù)油氣分離技術(shù)溶解平衡法變徑活塞泵脫氣法離線脫氣高分子透氣膜法真空脫氣法頂空脫氣法在線脫氣在線檢測高分子透氣膜的要求能快速滲透油中溶解氣體化學(xué)穩(wěn)定性好，耐油、耐高溫有一定機械強度，運行中無蠕動形變和破損，機械壽命長真空脫氣法波紋管法真空泵法混合氣體檢測技術(shù)分類單氫氣檢測法總可燃氣體法烴類氣體檢測法全組分氣體檢測法單氫氣檢測法原理：單氫氣測量實際上只是氫氣占100%，其他氣體占不同的比例。特點：由于各種氣體被賦予了不同的加權(quán)值，因此單氫氣檢測法并不能真實地反映變壓器內(nèi)部的實際狀況。總可燃氣體檢測法原理：總可燃氣體包括一氧化碳、氫氣和烴類氣體。特點：由于總可燃氣體中包括一氧化碳，而一氧化碳含量往往高于其它烴類氣體因此，烴類氣體的變化根本反映不出來。烴類氣體檢測法原理：烴類氣體在線監(jiān)測可以將烴類氣體的每一組份檢測出來。將單氫焰的氣相色譜儀應(yīng)用到在線監(jiān)測中，由于需要很多的輔助設(shè)備，因此，可靠性差，維護量較大，很難推廣開。全組分氣體檢測技術(shù)分類熱導(dǎo)檢測器半導(dǎo)體氣敏傳感器紅外光譜技術(shù)光聲光譜技術(shù)熱導(dǎo)檢測器

TCD是一種結(jié)構(gòu)簡單、性能穩(wěn)定、線性范圍寬、對所有物質(zhì)均有響應(yīng)的廣譜型氣體檢測器。TCD原理是基于不同物質(zhì)具有不同的熱導(dǎo)系數(shù)，通過發(fā)熱電阻絲時熱量損失的比率，即可用來量度氣體的組分和質(zhì)量。因此，利用熱導(dǎo)檢測器檢測混和氣體時，需要先利用色譜柱將混和氣體組分進行分離.熱導(dǎo)檢測器油中溶解氣體測量范圍和測量精度特征氣體

油中濃度

（PPM）測量精度

氫氣

(H2)10-2,000±10%乙炔(C2H2)1-500±1PPM或±10%乙烯

(C2H4)7-2,000±1PPM

或±10%一氧化碳

(CO)5-2,000±1PPM

或±10%甲烷(CH4)70-2,000±10%乙烷

(C2H6)10-2,000±10%氧氣

(O2)10-1,400±10%二氧化碳(C02)5-7,000±1PPM

或

±10%半導(dǎo)體氣敏傳感器

半導(dǎo)體氣敏傳感器是利用待測氣體與半導(dǎo)體（主要是金屬氧化物）表面接觸時，產(chǎn)生的電導(dǎo)率等物性變化來檢測氣體。半導(dǎo)體氣敏傳感器半導(dǎo)體氣敏傳感器的共同缺點是氣體選擇性差，存在交叉敏感問題，這種非單一選擇性是由其敏感機理所決定的，特別是有些性質(zhì)相近的氣體，如H2和C2H4，CH4和C2H6，交叉敏感程度較深，表現(xiàn)在傳感器的輸出值不只決定于一個參量，當(dāng)其他參量變化時輸出值也要發(fā)生變化。氣敏傳感器在氣體含量高時，容易發(fā)生中毒，其恢復(fù)程度有限，使得其穩(wěn)定性很難保證。半導(dǎo)體氣敏傳感器當(dāng)氣敏傳感器用于檢測混和型氣體時，必須克服交叉敏感問題，解決的辦法是采用傳感器陣列技術(shù)。陣列技術(shù)包括兩個方面內(nèi)容：其一是以微制造、微機械加工技術(shù)為工具，研制集成型氣體傳感器陣列；其二是采用多傳感器信息融合技術(shù)，就是通過對多個參數(shù)的監(jiān)測并采用一定的信息處理方法達到提高每一個參量測量準確度的目的。模糊理論的應(yīng)用和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法的采用，進一步增強了傳感器的智能化程度，能較為有效地克服自身交叉靈敏度、時漂老化等問題，但用于氣體含量的準確定量還沒有達到實用化的水平。傅立葉紅外光