防靜電知識介紹

1、防靜電知識介紹1第1頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四自然界的ESD現(xiàn)象現(xiàn)象A：閃電，每一次閃光都是一次巨大的靜電釋放，靜電從聚集的雷雨云傳向地球。現(xiàn)象B：洗衣機洗完衣物后，用手取出衣物時，發(fā)出噼啪聲和火花?，F(xiàn)象C：走過地毯后觸摸門的把手，會感覺電擊。據(jù)日本80年代統(tǒng)計,失效的半導體器件中,45%是靜電造成的.2第2頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電和靜電放電的定義和特點 靜電釋放（ESD）的定義：電荷從一個物體突然傳遞到另一個物體的過程。什么是靜電？靜電是由于物質表面的正負電荷分離所造成的電位；靜電的高低與材料的特性、環(huán)境溫度、濕度等密

2、切相關。3第3頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四對靜電和靜電危害的認識 靜電(Electrostatic )是物體表面過?；虿蛔愕撵o止電荷。是一種電能，它存留于物體表面；是正負電荷在局部范圍內失去平衡的結果，是通過電子或離子的轉換而形成的。靜電現(xiàn)象是電荷在產生和消失過程中產生的電現(xiàn)象的總稱。隨著科技發(fā)展，靜電現(xiàn)象已在靜電噴涂、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等領域得到廣泛應用。但在另一方面，靜電在許多領域帶來重大危害和損失。在電子工業(yè)中,靜電位達1.5-35KV,足以使元器件受損,硬擊穿或軟擊穿,形成永久性或暫時性失效.4第4頁，共100頁，2022年，5月20日，14點

3、23分，星期四靜電基礎知識靜電現(xiàn)象（electrostatic phenomenon) 由于帶電體的靜電場作用而引起的靜電放電、靜電感應、介質極化及靜電力作用等物理現(xiàn)象的統(tǒng)稱。 靜電的高低與材料特性、環(huán)境溫度、濕度等密切相關5第5頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電放電（ESD）無任何感覺： 1000V聽到放電聲音：20003000V能夠感覺到： 30004000V能夠看到： 5000V6第6頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電的產生（一）傳導帶電摩擦生電感應生電7第7頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電的產生

4、（二）地板：尤其是塑料地板或地毯椅子：木質、塑料或化學材質衣服：化纖及一般布料工作臺面：磨光、油漆及上蠟其它：塑料墊、文件夾等任何產生摩擦的地方8第8頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電是否可不產生是自然現(xiàn)象，沒法杜絕只能消除或減小想法泄放9第9頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四所能產生的電位根源溫度1020%濕度6590%在地毯上行走35000V1500V在帆布上行走12000V250V在工作臺上工作6000V100V從塑料管中取元件2000V200V拿起一只塑料袋200000V1200V在布套椅上工作18000V1500V10第10頁，

5、共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 靜電放電危害的幾種模式1.引發(fā)火災和爆炸事故2.造成人體電擊3.造成產品損害4.造成對電子設備正常運行的干擾.11第11頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 靜電感應危害 靜電感應是使物體帶電的一種方式可在器件引線、工具、包裝容器上產生高的靜電壓，并對半成品等造成靜電損害12第12頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 環(huán)境濕度對靜電的影響在干燥的季節(jié)產生靜電的幾率大在濕度較大的環(huán)境中產生靜電的幾率小在工廠廠房內,增加濕度,減小靜電的產生.最好:濕度RH在45%-75%內形成機理是介質物體表

6、面電導率提高 13第13頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 關于電子產品靜電防護 電子產品的靜電防護工作，具有下述明顯特點:1/ 超細、超薄的加工工藝和產品細微結構 ,即使20V下也可能造成損害2/ 對靜電敏感的產品，如半導體分立器件、集成電路、厚薄膜電路等3/ 靜電防護工作是一項系統(tǒng)工程，它涉及敏感電子產品的制造、裝配、處理、檢查、試驗、維修、包裝、運輸、貯存、使用等各個環(huán)節(jié)，而且是一種串聯(lián)模式，任一環(huán)節(jié)上的失誤，都將導致整個防護工作的失?。?14第14頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 ESD在工業(yè)領域的危害 電子產品靜電放電損害的特點:

7、隱蔽性失效分析的復雜性損傷具有潛在性損傷的隨機性15第15頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 電子元器件靜電損傷的失效類型 1/ 突發(fā)性完全失效，ESD造成電子元器件鋁條燒斷、硅片局部融化、PN結邊緣損傷等,是硬性損傷，約占總數(shù)10%2/ 潛在性緩慢失效，靜電能量低，對元器件造成輕度損傷，難以預先檢測，只能在工作過程中發(fā)生，是軟損傷，約占90%，危害最大。16第16頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 靜電對器件和產品的破壞機理 熱擊穿 金屬導電層熔化 介質擊穿 氣體電弧放電 表面擊穿 體擊穿17第17頁，共100頁，2022年，5月20日，1

8、4點23分，星期四部分元件對靜電的敏感程度元件類型損壞電壓元件類型損壞電壓RF-FETS（MICRO WAVE）15VEPROM100VMR-HEADS5VJ.FET140VPENTIUM5V運算放大器190VV.MOS30VCMOS250VMOSFET100V18第18頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電對元器件的損傷程度對P-N結造成軟擊穿，產品可靠性下降19第19頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電對元器件的損傷程度芯片內單晶硅金屬鍍膜擊穿產品廢品率上升20第20頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電對元器

9、件的損傷程度芯片內引線擊穿使產品廢品率上升21第21頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電防護的重要性電子行業(yè)除ESD損傷外，靜電還會導致 ESA (Electro-Static Attraction) EML(Electro-Magnetic Interference)對凈化間最具有威脅的是ESA導致的表面污染物22第22頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四（ESD）靜電放電所造成的損失環(huán)境場合最小最大平均元件制造4%97%1622%分銷商3%70%915%承銷商2%35%814%最終用戶5%70%2733%23第23頁，共100頁，2022

10、年，5月20日，14點23分，星期四 電子產品制造中的靜電源 (1) 人體靜電(2)工作服 (3)工作鞋 (4)樹脂、漆膜、塑料膜封裝的器件放入包裝中運輸時 (5)用PP（聚丙烯）、PE (6) 普通工作臺面，磨光、油漆及上蠟； (7) 地板； (8) 電子生產設備和工具方面：24第24頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 靜電防護的有關標記和符號 標記和符號是一種無聲語言,按國際標準規(guī)定，如：靜電敏感器件、接地點符號等推薦使用黃色和黑色 靜電敏感基本符號25第25頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 靜電防護原理、目的和總的原則 對可能產生靜電

11、的地方要防止靜電積聚。采取措施，使靜電邊產生，邊泄放，并將靜電電壓控制在安全范圍內。對已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，即時釋放。 靜電防護的核心是“靜電消除”。26第26頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 對人體的ESD的控制 (1)管理上： 在ESD安全區(qū)域張貼標志，在ESD敏感器件上粘貼標簽，并對員工進行這方面的培訓。(2)工程上： 控制空氣濕度，采用離子發(fā)生器，安裝可以消散靜電的地板、工作臺。(3)員工： 由于人是損壞ESD器件的罪魁禍首，只有每一 位員工的參與與配合，所有這些方法才能起到 真正的作用。必須對人進行ESD控制。27第27頁，共100頁，2022年，

12、5月20日，14點23分，星期四上衣與褲子摩擦后脫下時人體帶電情況純棉布 毛料丙烯聚酯尼龍維尼綸純棉布12000V900V14700V14700V1500V1800V維尼綸/棉600V4500V12300V12300V4800V300V聚酯/人造絲4200V8400V17100V17100V4800V1200V聚酯/棉14100V15300V7500V7500V14700V13800V褲料人體電位工作服質料28第28頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 具體的ESD方法 具體思路是： (1)將電荷到達器件之前，將其有控制的排除 ,進入工作區(qū)前穿戴靜電保護服裝器具,門禁檢

13、測等系統(tǒng)(2)隨時監(jiān)控,消除產生的靜電,采用離子風消除;用腕帶或腳接地帶隨時泄放;接地監(jiān)控;(3)還有一些其他方式將電荷安全接地。 29第29頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 工作臺面的ESD控制工作臺面鋪設防靜電橡塑膠板，同時有效接地，隨時泄放靜電。 與接地監(jiān)控系統(tǒng)連接在一起，實時監(jiān)控。30第30頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 防靜電材料的特性和分類 抗靜電材料的定義， IEC801-2規(guī)定為表面電阻率為105 .cm1011 .cm歐姆每方； DoDHDBK263的規(guī)定是把材料分為“靜電耗散材料”（表面電阻率為105.cm109 .

14、cm。歐姆每方）和“抗靜電材料”(表面電阻率為109.cm1014.cm歐姆每方)；IECTC47(co)1330則規(guī)定“抗靜電材料”屬于不能按電阻率分類的材料，只能定性為“當相對摩擦或從相同的或其他類似的材料分離時，呈現(xiàn)最少電荷生成特性的材料”。 實際上，各個標準規(guī)定的大致范圍差不太多，對于我們工廠來說，沒有深究的必要，只要夠用即可。31第31頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四表面電阻率導 電 體 表 面 電 阻 率 低 于105歐 姆 /平 方放 電 體 表 面 電 阻 率 在 106 _ 109歐 姆 /平 方絕 緣 體 表 面 電 阻 率 大 于109歐 姆

15、/平 方32第32頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 靜電防護器材和耗材 (1) 人體防靜電系統(tǒng)包括防靜電腕帶、工作服、帽、手套、鞋、襪等(2) 防靜電地面包括防靜電水磨石地面、防靜電橡膠地面、PVC防靜電塑料地板、防靜電地毯、防靜電活動地板等。(3) 防靜電操作系列包括防靜電工作臺墊、防靜電包裝代、防靜電、物流小車、防靜電烙鐵及工具等(4) 防靜電監(jiān)控、接地、離子化系統(tǒng)，包括聯(lián)網(wǎng)靜電監(jiān)控。 33第33頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 包裝材料技術防護包裝材料是實現(xiàn)產品靜電防護包裝的基礎，只有合適的材料才能勝任一般意義上的包裝功能和防靜電功

16、能需要，要同時具備是不易的。 材料的防靜電能力與其自身的摩擦起電特性、電導率、衰減時間有關。34第34頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 接地材料技術 接地技術是任何電子設備與設施中的一項重要技術 接地是靜電防護中最有效的最基本的技術措施 各接地系統(tǒng)有不同的接地電阻要求35第35頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四人體靜電防護接地系統(tǒng) 因為人體是一個最重要的靜電源安全限流電阻的數(shù)值選用避免人體不慎觸電時，形成一個通路，原則：流經(jīng)人體電流小于5 mA;(工頻線電壓380V)人體靜電荷能通過該電阻較快釋放，即人體皮膚靜電在0.1s內衰減至100V的

17、敏感產品靜電安全閾值以下： 綜合上述兩因素，取為7.51051107為宜。實際常用 1M 36第36頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 工作臺面 / 地板材料技術 工作臺面應該鋪設防靜電膠板，表面是泄放層，下面是導電層，下層一定接地。地面/地板一般都是防靜電的自流平或防靜電地板。37第37頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 工作服 / 手套 / 手指套材料技術工作服也易產生放電工作服防靜電的機理是泄放與中和 接地時,經(jīng)導電纖維向大地泄放 不接地時,借助導電纖維的微弱電暈放電而消電38第38頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，

18、星期四 離子發(fā)生器技術在工作臺區(qū)間形成離子化環(huán)境，使得工件上、服裝上等隨時產生的靜電荷能夠被中和。 39第39頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 防靜電檢測的作用和意義 熟悉靜電檢測很重要，只有知道靜電是怎么回事，具體的技術數(shù)值，才能知道怎么樣針對解決它。 40第40頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 靜電測量參數(shù)和測量方法 測量參數(shù)一般包括： 靜電電位 電阻與電阻率 接地電阻 人體靜電參數(shù)等測量儀器都是接觸式或非接觸式靜電電壓表等采用場強計來測量。電阻的測量，按國標GB1410-89采用高阻計。 41第41頁，共100頁，2022年，5月2

19、0日，14點23分，星期四 測量靜電所面對的難點 對測量儀器的絕緣程度要求高靜電測量受各種環(huán)境條件影響顯著靜電測量結果的復現(xiàn)性差42第42頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 測量儀器的種類和原理 靜電測量儀器 (1) 靜電場測試儀用于測量臺面、地面等表面電阻值。平面結構場合和非平面場合要選擇不同規(guī)格的測量儀。 (2) 腕帶測試儀測量腕帶是否有效。 (3) 人體靜電測試儀用于測量人體攜帶的靜電量，人體雙腳之間的阻抗，測量人體之間的靜電差，腕帶、接地插頭、工作服等是否防護有效。還可以作為入門放電，把人體靜電隔在車間之外。 (4) 兆歐表用于測量所有導電型、抗靜電型及靜電

20、泄放型表面的阻抗或電阻。43第43頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 測量的應用例子 正常工作時隨時測量靜電位的數(shù)值 定期測量，包括接地電阻的測量、靜電位的測量 44第44頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 如何控制ESD 防靜電的基本要求: 防止靜電的產生 減少和消除靜電荷 減少靜電的危害 嚴格防靜電管理45第45頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電的消除方式安全對地釋放（對放電體而言）離子中和（對絕緣體而言）46第46頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電控制的幾個方面防止靜電菏積聚（

21、Prevention）建立安全的泄放通路（Grounding）設立良好的離子中和設備確認并有效的監(jiān)測措施控制靜電的生成環(huán)境47第47頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電的全面控制如圖所示,靜電 的全面控制48第48頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四靜電防護方法 使用防靜電材料 泄漏與接地 靜電防護材料的使用方法49第49頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 對非導體帶靜電的消除方法 非導體帶靜電的消除不能用接地的方法 對于絕緣體上的靜電，由于電荷不能在絕緣體上流動，因此不能用接地的方法消除靜電?？刹捎靡韵麓胧?(a

22、) 使用離子風機離子風機產生正、負離子，可以中和靜電 源的靜電?？稍O置在空間和貼裝機貼片頭附近。 (b) 使用靜電消除劑靜電消除劑屬于表面活性劑?？捎渺o電 消除劑檫洗儀器和物體表面，能迅速消除物體表面的靜電。 (c) 控制環(huán)境濕度增加濕度可提高非導體材料的表面電導率, 使物體表面不易積聚靜電。例如北方干燥環(huán)境可采取加濕通 風措施。 (d) 采用靜電屏蔽對易產生靜電的設備可采用屏蔽罩 （籠），并將屏蔽罩（籠）有效接地。50第50頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 對人體的ESD的控制 按階段隨時保證人體的接地措施的完整和正常； 在進入工作區(qū)前檢測其防靜電措施是否完整？到

23、位？ 進入工作狀態(tài)和區(qū)域后，實時監(jiān)控其接地措施的正常工作？不會出現(xiàn)故障，一方面靠人的自覺；另一方面靠儀器、技術保證；51第51頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 工作臺面的ESD控制 保證工作臺接地的完整和正常，包括工裝設備也要有完好的接地。以下圖是一些公司的防靜電工作臺的常用接地方法52第52頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四工裝夾具 在工作場地或流水線上的工裝夾具，也要保證接地確保接地的完好53第53頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四設備 物料 確保設備的接地物料運輸過程中，采用防靜電包裝 54第54頁，共100

24、頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 設計階段即要考慮防靜電措施 為了在電子產品制造中盡量少的產生靜電，控制靜電荷積聚，對已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，即時釋放，應從廠房設計、設備安裝、操作、管理制度等方面采取有效措施。 55第55頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 現(xiàn)場的工藝控制 生產設備必須接地良好防靜電要求設置防靜電區(qū)域，并有明顯的防靜電警示標志 :定期測量地面、桌面、周轉箱等表面電阻值 靜電安全區(qū)（點）的工作臺上禁止放置非生產物品 工作人員進入防靜電區(qū)域，需放電。操作人員進行操作時，必須穿防靜電工作服、鞋 操作時要戴防靜電腕帶，每天測量腕帶是否有效

25、 測試SSD時應從包裝盒、管、盤中取一塊，測一塊，放一塊，不要堆在桌子上。經(jīng)測試不合格器件應退庫 加電測試時必須遵循加電和去電順序。加電順序：低電壓高 電壓信號電壓的順序進行。去電順序與此相反。同時注意電 源極性不可顛倒，電源電壓不得超過額定值 檢驗人員應熟悉SSD的型號、品種、測試知識，了解靜電保護 的基本知識 56第56頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 防靜電設備產品的分類及技術原理 在工作中，防靜電設備很多，在每個環(huán)節(jié)都可用到，而且其作用范圍不一，效果也不一樣，使用的領域也不一樣，在電子工業(yè)我們大家比較熟悉，就可按以下分許多類。按使用階段分：在工作前準備、預備

26、、預防階段 按工作原理分：采用靜電正負電荷中和或接地泄放的 方法57第57頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四ESD設備（一)基本的ESD設備（離子泄放技術） 單線路靜電腕帶 雙線路靜電腕帶 放靜電腕帶監(jiān)控系統(tǒng)中級的ESD設備（離子中和技術） 交流靜電消除器高級的ESD設備（離子中和技術） 直流靜電消除器（穩(wěn)態(tài)直流） 58第58頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四ESD設備（二）交流靜電消除器 自感應式靜電消除器 交流型靜電消除器 工頻高壓 高頻高壓直流靜電消除器 穩(wěn)態(tài)直流靜電消除器 脈沖直流靜電消除器同位素靜電消除器59第59頁，共100頁，2

27、022年，5月20日，14點23分，星期四ESD設備性能比較（一）a-穩(wěn)態(tài)直流靜電消除器 b-感應式靜電消除器c-工頻高壓靜電消除器 d-高頻高壓靜電消除器e-同位素靜電消除器 f-脈沖直流靜電消除器60第60頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四ESD設備性能比較（二）類型離子產生原理消電能力消電對象自感方式導電纖維低薄膜、布、粉體交流型工頻高壓較強造紙、印刷、電子高頻高壓低造紙、印刷、電子穩(wěn)態(tài)直流直流高壓最強電子加工脈沖直流正負直流脈沖電壓強電子加工同位素射線最弱密閉空間61第61頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 防靜電接地電阻的技術要求

28、應該對防靜電的一些基本要求或計算了解一些，接地電阻是一個很常見的題目，做工作中常遇到。要求腕帶放電速度與人體上產生靜電荷的速度相同，不要因為靜電積聚形成高電位。因此要求防靜電腕帶接地電阻必須保證操作者在任何情況下（包括移動時）人體電位都能在0.1s內降至100V以下。通過公式Ut=U0e-t/RC計算得到結論： 腕帶接地電阻應在105108之間。為了獲得最佳靜電安全和對人體保護，腕帶接地電阻取1M62第62頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 防靜電技術要求的參數(shù)計算 防靜電過程中通過人體安全電流和上限和下限電阻的計算導體上的靜電可以用接地的方法使靜電泄漏到大地。63第

29、63頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 預防靜電危害的產品 目前，常用到的就是防靜電門禁系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：身份確認、靜電檢測、門禁放行等過程，主要作用就是在工作人進入工作區(qū)域前，確保防靜電和接地措施的完好。防靜電門禁檢測系統(tǒng)工作原理64第64頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 預防靜電危害的產品防靜電門禁檢測系統(tǒng)工作原理,就是檢測人體接地電阻的大小: 通常 R1M , 1 M R 10M ( OR 35M) 10M 人體放電通路檢測記錄器65第65頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 預防靜電危害的產品防靜電門禁檢測系

30、統(tǒng)工作原理,就是檢測人體接地電阻的大小: 通常 R1M , 1 M R 10M ( OR 35M) 10M 人體放電通路檢測器66第66頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 預防靜電危害的產品防靜電門禁檢測系統(tǒng)工作原理,就是檢測人體接地電阻的大小: 通常 R1M , 1 M R 10M ( OR 35M) 10M I D 鍵盤67第67頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 消除靜電危害的產品 IONIZTION 比較常用的就是靜電消除器（離子風機）系列，在工廠的各個環(huán)節(jié)都可使用，隨時消除各個工序產生的靜電，特別是非導體的生產線和機殼，PCB等，例

31、如在插件，貼片。波峰焊后都可能產生靜電，為了下到工序的正常，就要把它去掉，沒辦法接地泄放，只有通過靜電消除器（離子風機）系列來中和它。靜電消除器（離子風機）系統(tǒng)工作原理： 就是利用高壓電離空氣分子，產生正負離子，通過正負離子來中和非導體上的靜電荷；但正負離子發(fā)生量的多寡 是不一樣的，有多種方式來實現(xiàn) 68第68頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四空氣電離化將中性的空氣分子電離成帶正電或負電的離子常見方法 Alpha輻射法（鈽210） 高壓放電法 X射線法碰撞法69第69頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四高壓放電法（一）99.9%純鎢70第70頁

32、，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四高壓放電法（二）交流式（AC）高壓尖端放電 離子重結合率高，故需強風吹送 針尖附近產生EMI穩(wěn)態(tài)直流式高壓尖端放電（Steady-State DC） 離子重結合率低 易產生離子團脈沖（pulsed DC）直流高壓尖端放電 離子重結合率不高，不需強風吹送 出現(xiàn)周期性偏移電位，調校不易 不易自動平衡71第71頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四交流式高壓尖端放電 需高速輸送離子 HVAC 極性變換： 每秒100/120次 - - - - - + - - - - - - - - - - - + -+-+-+-+-+-+

33、-+-+-+-+-+-+-+-+- +-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+- 快速的極性改變造成正負離子易于再度結合 72第72頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四穩(wěn)態(tài)直流式高壓尖端放電 HV+ HV- HV+ HV- + - + - + - - - - + - - - - + - - - - - - - + - - - - - - - - +-+-+- - - - +-+-+-+-+- - - - - - - -+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+ 直流電可產生穩(wěn)定的正、

34、負離子云73第73頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四脈沖直流式高壓尖端放電 HV+ HV- + + - - - - - - - - - - - - - - - - - + + - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 全區(qū)布滿團狀的正、負離子云74第74頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的使用方式（一）按使用環(huán)境不同而采用不同離子風扇使用環(huán)境可分： 房間式離子化 工作臺離子化 工作區(qū)表面離子化 特定點離子化75第75頁，共100頁，20

35、22年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的使用方式（二）房間式離子化 可以混合使用各種離子化系統(tǒng) 須配合考慮天花板的高度與空氣流向工作臺離子化 適用于控制微塵污染的工作區(qū)域 可以混合使用各種離子化系統(tǒng)，尤其是離子風扇工作區(qū)表面離子化 依區(qū)域 表面大小與所需風量而決定適用離子化系統(tǒng)特定點離子化 范圍較小或有限定 76第76頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的選擇（一）選擇適用的離子化系統(tǒng)，確定合適的規(guī)格，應考慮： 靜電問題的本質 產品對靜電的敏感度 使用的環(huán)境 離子化系統(tǒng)的使用特性常見的選擇項目 電荷中和、操作、環(huán)境考慮、成本、安裝方式77第77頁，

36、共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的選擇（二）電荷中和 中和時間、平衡度、產品敏感性、靜電的解決方法操作 維修要求、可靠性、設備檢修、臭氧/EMI/微塵釋放安裝考量 安規(guī)、電源分配與控制，是否須濃縮氣體、擴展性、凈房相容性環(huán)境考量 氣流、體積大小成本 儀器成本、安裝成本、操作與維護成本78第78頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的選擇（三）實際上，離子風扇應具備的如下特點： 當正負離子不平衡超出范圍時，應立刻自動發(fā)出警告 離子風扇本身應會自我監(jiān)測離子不平衡度 放射針端的組成及接頭材質應為低污染性 清潔和校驗的步驟應簡易明了 應

37、有配合性高且專業(yè)的人員為您提供教育訓練與售后服務79第79頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的安裝一般考慮 須符合相關安全法規(guī)，如NEC、NFPA、UL 應先妥善設計、不可干擾現(xiàn)行生產活動空氣流量考慮 以充分供應所需離子為主分區(qū)及修改的彈性監(jiān)測及回收控制 有效的監(jiān)測可以降低維修次數(shù)80第80頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的測試(一)可參考之工業(yè)標準:美規(guī)ESD STM3.1 或國際標準IEC15D/47/CD-1995測量離子風扇的效能（Performance Testing） 靜電消除效能：離子量夠嗎？能夠平衡嗎？

38、靜電消除時間合格嗎? 現(xiàn)場測試 使用充電板監(jiān)視器或選適當?shù)墓ぞ吲c方法 確認制造過程有否改善？是否消除或減少靜電問題？ 收集并分析統(tǒng)計資料 檢查產品良率、粉塵數(shù)或當機時間81第81頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的測試（二）合格與驗收測試(Qualification&Acceptance) 建立一組測試內容 標準化的測試儀器定期性的驗證測試(Verification) 測試周期依需要而異，除排訂維修時程外也須每季、每半年或每年重新驗證一次 離子平衡與靜電消除時間 詳細記錄測試條件、位置與結果 82第82頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星

39、期四離子化系統(tǒng)的測試（三）臺式離子風扇中和時間及離子平衡標準測試法：俯視圖83第83頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的測試（四）臺式離子風扇中和時間和離子平衡標準測試法84第84頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的維護與清潔(一)須建立合適的(routine)維護規(guī)程高壓尖端放電式 針尖須定期清潔或更換 定期檢查離子平衡度及離子消除時間 校驗85第85頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四離子化系統(tǒng)的維護與清潔（二）核子式 測試有無輻射泄露 定期檢查離子平衡度及離子消除時間 核料回收及更新X光式 X

40、光管換新 定期檢查離子平衡度及離子消除時間86第86頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四其他重要的考慮因素溫度、濕度、防靜電液或化學噴劑（污染）氧化/腐蝕、易燃、易爆環(huán)境安全性考慮 避免接觸高壓針尖 針尖須裝限流電阻 核子及X光式離子系統(tǒng)須遵守相關安全管制規(guī)定EMI、臭氧及微塵釋放的顧慮 OSHA規(guī)定安全臭氧量：8小時內0.1ppm87第87頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四 工作過程中防止靜電危害的產品 MONITOR 工作過程中，除了產品、生產線上的靜電外，還有工作人本身和工作臺上的靜電了，我們知道在人的動作過程中隨時會產生靜電，那么怎么來

41、保證進門之前的防靜電措施的完好可靠呢，只有隨時監(jiān)控接地系統(tǒng)了，它能實時監(jiān)控工作人、臺面、夾具接地的完好。防靜電接地監(jiān)控系列工作原理: 通過電路來監(jiān)測人體與接地間的電阻、電容、電壓等物理量的變化，以此來判斷工作人接地是否正常？一旦出現(xiàn)變化，CPU會自動判斷，并發(fā)出報警；同時通訊傳給計算機,在終端上有所顯示 88第88頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四連續(xù)實時監(jiān)控設備 MONITOR連續(xù)的 接 地 電 阻 閉 環(huán) 監(jiān) 測 技 術高、 低 阻 全 缺 陷 檢 測可 同 時 監(jiān) 控 二 個 手 腕 帶 和 二 個 工 作 臺 面安 裝 快 捷 方 便。 89第89頁，共100

42、頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四連續(xù)實時監(jiān)控設備的分類 MONITORESD腕帶監(jiān)測器ESD腳帶監(jiān)測器Connected Devices實時數(shù)據(jù)采集單回路雙回路Monitoring監(jiān)測系統(tǒng)Capacitive電容式Voltage 電壓式Resistive 電阻式90第90頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四連續(xù)實時監(jiān)控設備的分類 MONITORMonitorHuman BodyICapacitive Monitor(電容式)測量通過人體到地的電流Advantages (優(yōu)點)采用單回路, 便宜Problems (問題) 1. 測量不準確, 腕帶套在袖子外

43、,仍顯示對地接通 2. 系統(tǒng)需要校準, 因每個使用者的電容值的差異91第91頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四連續(xù)實時監(jiān)控設備的分類 MONITOR接地線人體Service WireVoltage Monitor(電壓)采用雙回路, 一路將使用者接地, 另一路用于檢測使用者所帶電壓Advantages(優(yōu)點)使用者自身電壓值超過設定值, 系統(tǒng)會報警Problems如果使用者帶電值低于設定電壓, 而接地線斷開, 系統(tǒng)不報警. 問題, 報警發(fā)生在接地通路斷開后.92第92頁，共100頁，2022年，5月20日，14點23分，星期四連續(xù)實時監(jiān)控設備的分類 MONITORResistive Monitor(電阻回路式)采用雙回路,將使用者用雙回路接地, 同時連續(xù)監(jiān)測對地電阻Advantages(優(yōu)點) 1.